Ko nga tikanga whakakikorua o te photoresist ka wehewehea ki te paninga miro, paninga ruku me te whakakikorua pukapuka, kei roto ko te paninga miro te mea tino whakamahia. Na roto i te paninga miro, ka maturuturu te photoresist ki runga i te tïpako, ka taea te huri i te tïpako i te tere tere ki te tiki i te kiriata photoresist. I muri i tera, ka taea te tiki he kiriata totoka ma te whakamahana i runga i te pereti wera. He pai te paninga hurihuri mo te paninga mai i nga kiriata tino kikokore (mo te 20nm) ki nga kiriata matotoru e tata ana ki te 100um. Ko ona ahuatanga he pai te rite, he rite te matotoru o te kiriata i waenga i nga angiangi, he iti noa nga hapa, me etahi atu, ka taea te whiwhi i tetahi kiriata me te mahi whakakikorua teitei.
Te tukanga whakakikorua
I roto i te paninga miro, ko te tere hurihuri matua o te tïpako e whakatau ana i te matotoru kiriata o te photoresist. Ko te hononga i waenga i te tere hurihanga me te matotoru kiriata e whai ake nei:
Āmio=kTn
I roto i te tauira, ko te Spin te tere hurihuri; Ko T te matotoru kiriata; he taumau te k me te n.
Nga mea e pa ana ki te tukanga whakakikorua miro
Ahakoa ko te matotoru o te kiriata ka whakatauhia e te tere hurihuri matua, e pa ana ki te pāmahana rūma, te haumākū, te pokey photoresist me te momo photoresist. Ko te whakatairite o nga momo momo pihinga whakakikorua photoresist e whakaatuhia ana i te Whakaahua 1.
Whakaahua 1: Te whakatairitenga o nga momo pihinga whakakikorua photoresist
Te awe o te wa hurihuri matua
Ko te poto ake o te wa hurihuri matua, ka nui ake te matotoru o te kiriata. Ka piki ake te wa hurihuri matua, ka angiangi te kiriata. Ka neke ake i te 20s, ka noho tata tonu te matotoru o te kiriata kaore e rereke. Na reira, ko te waa hurihuri matua ka tohua kia neke atu i te 20 hēkona. Ko te hononga i waenga i te wa hurihuri matua me te matotoru kiriata e whakaatuhia ana i te Whakaahua 2.
Whakaatu 2: Te hononga i waenga i te wa hurihuri matua me te matotoru kiriata
I te wa e maturuturu ana te photoresist ki runga i te tïpako, ahakoa he rite te tere hurihanga matua o muri mai, ko te tere hurihanga o te tïpako i te wa o te pupuhi ka pa ki te matotoru kiriata whakamutunga. Ka piki ake te matotoru o te kiriata photoresist ki te piki ake o te tere hurihuri tïpako i roto i te maturuturunga iho, i te mea na te awe o te whakaetonga whakarewa i te wa e tuwhera ana te photoresist i muri i te maturuturu. Ko te ahua 3 e whakaatu ana i te hononga i waenga i te matotoru o te kiriata me te tere hurihuri matua i nga tere hurihuri tïpako rereke i te wa e pupuhi ana te photoresist. Ka kitea mai i te ahua na te pikinga o te tere hurihuri o te taputapu whakaheke, ka tere ake te rereke o te matotoru o te kiriata, a ka kitea te rereketanga i roto i te waahi me te iti o te tere hurihuri matua.
Whakaatu 3: Te hononga i waenga i te matotoru kiriata me te tere hurihuri matua i nga tere hurihuri tïpako rereke i te wa e tukuna ana e te photoresist.
Te paanga o te makuku i te wa o te paninga
Ka heke te haumākū, ka piki te matotoru o te kiriata, no te mea ko te heke o te haumākū e whakatairanga ana i te whakaetonga o te whakarewa. Engari, kaore e tino rerekee te tohatoha matotoru o te kiriata. Ko te ahua 4 e whakaatu ana i te hononga i waenga i te makuku me te tohatoha matotoru o te kiriata i te wa o te paninga.
Whakaatu 4: Te hononga i waenga i te haumākū me te tohatoha matotoru kiriata i te wa o te paninga
Te paanga o te pāmahana i te wa o te paninga
Ka piki ake te pāmahana o roto, ka piki te matotoru o te kiriata. Ka kitea mai i te Whakaahua 5 ka huri te tohatoha matotoru o te kiriata photoresist mai i te convex ki te concave. E whakaatu ana hoki te ānau i te ahua ka whiwhi te taurite teitei ina 26°C te pāmahana o roto me te 21°C te pāmahana photoresist.
Whakaatu 5: Te hononga i waenga i te pāmahana me te tohatoha matotoru kiriata i te wa o te paninga
Te awenga o te tere rewharewha i te wa o te paninga
Ko te Whakaaturanga 6 e whakaatu ana i te hononga i waenga i te tere rewharewha me te tohatoha matotoru kiriata. I te kore o te ngongo, e whakaatu ana ko te pokapū o te angiangi ka kaha ki te matotoru. Ko te whakanui ake i te tere o te whakapau ka pai ake te rite, engari ki te nui rawa te whakanui, ka heke te rite. Ka kitea he uara tino pai mo te tere o te whakapau.
Whakaatu 6: Te hononga i waenga i te tere remu me te tohatoha matotoru kiriata
maimoatanga HMDS
Kia pai ake ai te whakakakahu o te photoresist, me rongoa te wafer ki te hexamethyldisilazane (HMDS). Ina koa ka piri te makuku ki te mata o te kiriata Si oxide, ka hangaia te silanol, ka whakaiti i te piri o te photoresist. Hei tango i te makuku me te whakapohehe i te silanol, ka whakawerahia te angiangi ki te 100-120°C, ka whakauruhia te kohu HMDS ki te puta he tauhohenga matū. Ko te tikanga tauhohenga e whakaatuhia ana i te Whakaahua 7. Na roto i te maimoatanga HMDS, ko te mata hydrophilic me te koki whakapiri iti ka huri hei mata hydrophobic me te koki whakapiri nui. Ka taea e te whakamahana i te angiangi te kaha ake o te whakapiri photoresist.
Whakaatu 7: HMDS tikanga tauhohenga
Ka kitea te painga o te maimoatanga HMDS ma te ine i te koki whakapiri. Ko te ahua 8 e whakaatu ana i te hononga i waenga i te wa maimoatanga HMDS me te koki whakapiri (te mahana maimoatanga 110°C). Ko te tïpako ko Si, ko te wa maimoatanga HMDS he nui atu i te 1min, ko te koki whakapiri he nui atu i te 80 °, a he pumau te painga o te maimoatanga. Ko te ahua 9 e whakaatu ana i te hononga i waenga i te pāmahana maimoatanga HMDS me te koki whakapiri (wa maimoatanga 60s). Ka nui ake te mahana ki te 120 ℃, ka heke te koki whakapiri, e tohu ana ka pirau te HMDS na te wera. Na reira, ka mahia te maimoatanga HMDS i te 100-110 ℃.
Whakaatu 8: Te hononga i waenga i te wa maimoatanga HMDS
me te koki whakapā (mahana maimoatanga 110℃)
Whakaatu 9: Te hononga i waenga i te pāmahana maimoatanga HMDS me te koki whakapiri (wa maimoatanga 60s)
Ka mahia te maimoatanga HMDS i runga i te tïpako silicon me te kiriata waikura hei hanga i te tauira photoresist. Ko te kiriata waikura ka taraihia ki te waikawa hydrofluoric me te taapiri he parepare, a ka kitea i muri i te maimoatanga HMDS, ka taea te pupuri i te tauira photoresist kei taka. Ko te ahua 10 e whakaatu ana i te painga o te maimoatanga HMDS (ko te rahi o te tauira ko te 1um).
Whakaatu 10: Te HMDS maimoatanga awenga (he 1um te rahi o te tauira)
Te tunu i mua
I te tere o te hurihanga, ko te teitei ake o te wera o mua, ko te iti ake o te matotoru o te kiriata, e tohu ana ko te teitei ake o te wera o mua, ko te nui ake o te whakarewa, ka puta te matotoru o te kiriata. Ko te Whakaaturanga 11 e whakaatu ana i te hononga i waenga i te pāmahana i mua i te tunu kai me te tawhā a Dill's A. Ko te tawhā A e tohu ana i te kukū o te kaihoko whakaahua. Ka kitea mai i te ahua, ka piki ake te pāmahana i mua i te tunu kai ki runga ake i te 140°C, ka heke te tawhā A, e tohu ana ka pirau te kaihoko whakaahua i te pāmahana teitei ake i tenei. Ko te Whakaaturanga 12 e whakaatu ana i te tukunga matakite i nga momo mahana i mua i te tunu kai. I te 160 ° C me te 180 ° C, ka kitea te piki o te whakawhiti i roto i te roangaru o te 300-500nm. Ma tenei ka whakapumau ka tunua te kaihoko whakaahua, ka pirau i te wera nui. Ko te pāmahana i mua i te tunu kai he uara tino pai, e whakatauhia ana e nga ahuatanga marama me te maarama.
Whakaahua 11: Te hononga i waenga i te pāmahana i mua i te tunu me te tawhā A a Dill
(te uara ine o OFPR-800/2)
Whakaaturanga 12: Te tuku momotu ki nga momo mahana i mua i te tunu kai
(OFPR-800, 1um te matotoru kiriata)
I roto i te poto, ko te tikanga whakakikorua miro he painga ahurei penei i te mana tika o te matotoru o te kiriata, te utu nui o te utu, nga tikanga ngawari, me te mahi ngawari, na reira ka whai hua nui ki te whakaiti i te parahanga, te penapena kaha, me te whakapai ake i nga mahi utu. I nga tau tata nei, kua kaha te aro o te paninga miro, a kua horapa haere tana tono ki nga momo mara.
Te wa tuku: Noema-27-2024