Rangahau papamuri
He mea nui ki te tono mo te carbide silicon (SiC): Hei rauemi semiconductor mokowhiti porowhita whanui, kua aro nui te carbide silicon ki ona taonga hiko (pēnei i te mokowhiti nui, te tere tere o te irahiko me te kawe wera). Ko enei taonga e whakamahia nuitia ana i roto i nga waahanga teitei, teitei-te-mahana me te mana nui o te hanga taputapu, ina koa i roto i nga waahanga hiko hiko.
Te awe o nga koha o te karaihe: Ahakoa enei painga o te SiC, ka noho tonu nga koha o nga tioata hei raru nui e aukati ana i te whakawhanaketanga o nga taputapu mahi teitei. Ko enei hapa ka paheke te mahi o te taputapu, ka pa ki te pono o te taputapu.
Hangarau whakaata topological X-ray: Hei arotau i te tipu o te karaihe me te mohio ki te paanga o nga hapa ki te mahi o te taputapu, me tohu me te tātari i te whirihoranga hapa i roto i nga tioata SiC. Ko te whakaahua topological X-ray (ina koa te whakamahi i nga kurupae iraruke synchrotron) kua noho hei tikanga tohu whakahirahira e taea ai te whakaputa whakaahua taumira teitei o te hanganga o roto o te karaihe.
Rangahau whakaaro
I runga i te hangarau whaihanga hihi hihi: E whakaaro ana te tuhinga ki te whakamahi i te hangarau whaihanga hihi hihi i runga i te tikanga rereke o te whakatakotoranga hei whakatairite i te rereke koha ka kitea i roto i nga whakaahua topological X-ray. Ko tenei tikanga kua whakamatauhia he huarahi whai hua ki te ako i nga ahuatanga o nga koha karaihe i roto i nga momo semiconductors.
Te whakapai ake i te hangarau whaihanga: Kia pai ake ai te whakataurite i nga rereketanga rereke i kitea i roto i nga tioata 4H-SiC me 6H-SiC, i whakapai ake nga kairangahau i te hangarau whakaata hihiko me te whakauru i nga paanga o te whakangā o te mata me te tangohanga whakaahua.
Rangahau ihirangi
Te tātari momo wehenga: Ka arotake nahanaha te tuhinga i nga ahuatanga o nga momo rerekee (penei i te wehenga wiri, te wetewete taha, nga wehenga whakauru, nga wehenga o te waka rererangi me nga momo momo Frank) i roto i nga momo polytypes rereke o SiC (tae atu ki te 4H me te 6H) ma te whakamahi i nga hihi hihi. hangarau whaihanga.
Te whakamahinga o te hangarau whaihanga: Ko te whakamahinga o te hangarau whaihanga hihi hihi i raro i nga ahuatanga kurupae rereke penei i te topology kurupae ngoikore me te topology ngaru rererangi, me pehea hoki te whakatau i te hohonutanga o te urunga whaihua o nga dislocations na roto i te hangarau whaihanga ka akohia.
Whakakotahitanga o nga whakamatautau me nga whaihanga: Ma te whakataurite i nga whakaahua topological X-ray i whakamatauria me nga whakaahua whakatairite, ka whakamanahia te tika o te hangarau whaihanga ki te whakatau i te momo dislocation, Burgers vector me te tohatoha mokowhiti o nga wehenga i roto i te karaihe.
Nga whakatau rangahau
Te whaihuatanga o te hangarau whaihanga: Ko te rangahau e whakaatu ana ko te hangarau whaihanga hihi hihi he tikanga ngawari, kore-kino me te maamaa ki te whakaatu i nga ahuatanga o nga momo rereke i roto i te SiC ka taea te whakatau tika i te hohonutanga o te whakaurunga whai hua o nga wehenga.
Te tātari whirihoranga dislocation 3D: Na roto i te hangarau whaihanga, ka taea te mahi tātari whirihoranga dislocation 3D me te ine kiato, he mea nui kia mohio ki te whanonga me te whanaketanga o nga wehenga i te wa e tipu ana te karaihe.
Nga tono a meake nei: Ko te hangarau whaihanga hianga e tika ana kia whakamahia ano ki te topology hiko-nui tae atu ki te topology-a-taiwhanga X-ray. I tua atu, ka taea hoki tenei hangarau ki te whaihanga o nga ahuatanga koha o etahi atu polytypes (penei i te 15R-SiC) me etahi atu rauemi semiconductor ranei.
Tirohanga Whakaahua
Pikitia 1: Hoahoa hoahoa o te tatūnga whakaahua topological hihi-rorohiko synchrotron radiation, tae atu ki te tuku (Laue) āhuahanga, te whakaata whakamuri (Bragg) āhuahanga, me te āhuahanga pā o te kai. Ka whakamahia te nuinga o enei geometries ki te tuhi whakaahua topological X-ray.
Pikitia 2: Hoahoa hoahoa o te weriweri hihi-X o te waahi kua pahekeheke huri noa i te wehenga wiri. Ko tenei ahua e whakamarama ana i te hononga i waenga i te kurupae maiki (s0) me te kurupae rerekee (sg) me te rererangi rererangi paetata noa (n) me te koki Bragg paetata (θB).
Pikitia 3: Whakaata whakamuri X-ray whakaahua topography o micropipes (MPs) i runga i te angiangi 6H–SiC me te rerekē o te wehenga tīwiri whakataruna (b = 6c) i raro i te tikanga rerekētanga.
Whakaatu 4: He paipa moroiti e takirua ana ki te ahua whakaata whakamuri o te angiangi 6H–SiC. Ko nga whakaahua o nga mema paremata he rereke nga mokowhiti me nga mema paremata i nga huarahi rereke e whakaatuhia ana e te whaihanga hihi.
Whakaahua 5: Ka whakaatuhia nga whakaahua topography X-ray o nga dislocations (TSD) i runga i te angiangi 4H–SiC. Ko nga whakaahua e whakaatu ana i te rereke o te taha.
Pikitia 6: Ko te whaihanga hihiko o te paahitanga o te kahui kai X-ray whakaahua topography o nga ringa maui me te ringa matau 1c TSD kei runga i te angiangi 4H-SiC.
Pikitia 7: E whakaatuhia ana te whaihanga hihi o nga TSD i roto i te 4H–SiC me te 6H–SiC, e whakaatu ana i nga wehenga me nga momo rereke Burgers me nga momo polytypes.
Pikitia 8: Ka whakaatu i nga whakaahua topological X-ray o nga momo momo miro whakawehenga taha (TEDs) i runga i nga angiangi 4H-SiC, me nga whakaahua topological TED i whakatairite ma te whakamahi i te tikanga rapu hihi.
Whakaahua 9: Ka whakaatu i nga whakaahua topological whakamuri-whakaata-X o nga momo TED i runga i nga angiangi 4H-SiC, me te rerekee TED whakatairite.
Pikitia 10: Ka whakaatu i nga whakaahua whaihanga hihi o nga wehenga miro whakauru (TMD) me nga vectors Burgers motuhake, me nga whakaahua topological whakamatautau.
Pikitia 11: Ka whakaatu i nga whakaahua topological whakamuri o nga rerenga rererangi (BPDs) i runga i nga angiangi 4H-SiC, me te hoahoa hoahoa o te whakahiatotanga o te whakahiatotanga o te wehenga rereke.
Pikitia 12: Ka whakaatu i nga whakaahua whaihanga hihi o nga BPD totoro ringa matau ki nga hohonutanga rereke e whakaaro ana ki te whakangā o te mata me nga paanga whakaurunga whakaahua.
Pikitia 13: Ka whakaatu i nga whakaahua whaihanga hihi o nga BPD hiera ringa matau ki nga hohonutanga rereke, me nga whakaahua topological X-ray.
Pikitia 14: Ka whakaatu i te hoahoa hoahoanga o nga wehenga o te papa rererangi i tetahi huarahi i runga i nga angiangi 4H-SiC, me pehea te whakatau i te hohonu o te kuhu ma te ine i te roa o te matapae.
Whakaatu 15: Ko te rereke o nga BPD me nga momo Vectors Burgers me nga ahunga raina i roto i nga whakaahua topological X-ray, me nga hua whaihanga o nga hihi.
Whakaatu 16: Ko te ahua whaihanga hihi o te TSD kua paopao te ringa matau i runga i te angiangi 4H-SiC, ka whakaatuhia te ahua topological X-ray.
Whakaahua 17: Ko te whaihanga hihi hihi me te ahua whakamatautau o te TSD paopao i runga i te 8° offset 4H-SiC wafer e whakaatuhia ana.
Pikitia 18: Ko nga whakaahua whaihanga hihi hihi o nga TSD me nga TMD kua paopao me nga vectors Burgers rereke engari he rite tonu te ahunga raina e whakaatuhia ana.
Pikitia 19: Ko te ahua whaihanga hihi o te momo-Frank dislocations, me te ahua topological X-ray e rite ana.
Pikitia 20: Ko te whakaahua topological X-ray kurupae ma o te micropipe i runga i te angiangi 6H-SiC, ka whakaatuhia te ahua whaihanga hihi.
Pikitia 21: Ko te ahua topological X-ray o te tauira tapatapahi axially o te 6H-SiC, ka whakaatuhia te ahua whaihanga hihi o nga BPD.
Whakaatu 22: e whakaatu ana i nga whakaahua whaihanga hihi o nga BPD i roto i te 6H-SiC tauira tapahi axially i nga koki maiki rereke.
Pikitia 23: e whakaatu ana i nga whakaahua whaihanga hihi o TED, TSD me TMD i roto i nga tauira 6H-SiC tapahia axially i raro i te ahuahanga o te paahitanga.
Whakaahua 24: e whakaatu ana i nga whakaahua topological X-ray o nga TSD kua paopao ki nga taha rereke o te raina isoclinic i runga i te wafer 4H-SiC, me nga whakaahua whaihanga hihi hihi.
Ko tenei tuhinga mo te tiri matauranga anake. Mena he takahi, tena koa whakapiri mai ki a maatau ki te whakakore.
Te wa tuku: Hune-18-2024