I roto i te hangahanga semiconductor, he tikanga e kiia ana ko te "etching" i te wa e tukatuka ana i te tïpako he kiriata angiangi ranei i hangaia i runga i te tïpako. Ko te whakawhanaketanga o te hangarau whakairo kua whai waahi ki te mohio ki te matapae a te kaiwhakarewa Intel Gordon Moore i te tau 1965 "ka rua te kiato whakauru o nga transistors i roto i te 1.5 ki te 2 tau" (e mohiotia ana ko "Moore's Law").
Ehara i te mea he mahi "whakapiri" penei i te tukunga, te hono ranei, engari he mahi "tango". I tua atu, i runga i nga tikanga rereke rereke, ka wehewehea ki nga waahanga e rua, ko te "weti makuku" me te "kirikiri maroke". Ki te whakamaarama, he tikanga whakarewa te tikanga o mua, he tikanga keri te tikanga o muri.
I roto i tenei tuhinga, ka whakamaarama poto i nga ahuatanga me nga rereketanga o ia hangarau tarai, te maku me te maroke maroke, me nga waahi tono e tika ana mo ia.
Tirohanga o te tukanga tarai
E ai ki te korero i ahu mai te hangarau tarai i Uropi i waenganui o te rau tau 1500. I taua wa, ka ringihia te waikawa ki roto i te pereti parahi kua oti te whakairo hei waikura i te parahi kore, ka hanga he intaglio. Ko nga tikanga maimoatanga mata e whakamahi ana i nga paanga o te waikura e mohiotia whanuitia ana ko te "etching."
Ko te kaupapa o te tukanga etching i roto i te hanga semiconductor he tapahi i te tïpako kiriata ranei i runga i te tïpako rite ki te tuhi. Ma te whakahoki ano i nga takahanga whakarite o te hanga kiriata, te whakaahua whakaahua, me te tarai, ka tukatukahia te hanganga mahere ki te hanganga e toru-ahu.
Te rereketanga i waenga i te tarai maku me te tarai maroke
I muri i te tukanga whakaahua whakaahua, ka makuku, ka maroke ranei te taputapu kua kitea i roto i te tukanga tarai.
Ka whakamahia te wairewa mākū hei tarai me te waruwaru i te mata. Ahakoa ka taea te tukatuka tere me te iti o tenei tikanga, ko tona kino ko te iti o te tika o te tukatuka. No reira, i whanau mai te waiu maroke i te takiwa o te tau 1970. Karekau te wairewa maroke e whakamahi otinga, engari ka whakamahia te hau ki te patu i te mata o te tïpako ki te rakuraku, e tohuhia ana e te tino tika o te tukatuka.
"Isotropy" me "Anisotropy"
I te wa e whakaatu ana i te rereketanga i waenga i te tarai maku me te tarai maroke, ko nga kupu matua ko te "isotropic" me te "anisotropic". Ko te tikanga o te Isotropy ko nga ahuatanga o te matū me te mokowhiti kaore e rereke ki te ahunga, me te anisotropy he rereke nga ahuatanga o te matū me te waahi ki te ahunga.
Ko te tikanga o te tuhi isotropic he rite te nui o te hua o te weri ki tetahi waahi, a ko te tikanga o te hakihaki anisotropic ka puta i nga huarahi rereke huri noa i tetahi waahi. Hei tauira, i roto i te whakairo i te wa e mahi ana i te mahi semiconductor, he maha nga wa ka kowhiria te weriweri anisotropic kia waruhia te aronga i whainga, ka noho tonu etahi atu ahunga.
Whakaahua o "Isotropic Etch" me "Anisotropic Etch"
Te tarai makuku ma te whakamahi matū.
Ko te wet etching ka whakamahi i te tauhohenga matū i waenga i te matū me te tïpako. Ma tenei tikanga, kaore e taea te tarai anisotropic, engari he uaua ake i te tarai isotropic. He maha nga here mo te whakakotahitanga o nga otinga me nga rawa, me tino whakahaere nga tikanga penei i te pāmahana tïpako, te kukū o te otinga, me te nui o te taapiri.
Ahakoa he aha te pai o te whakatikatika i nga tikanga, he uaua ki te whakatutuki i te tukatuka pai i raro i te 1 μm te tarai maku. Ko tetahi take mo tenei ko te hiahia ki te whakahaere i te tarai taha.
Ko te whakaheke he ahuatanga e mohiotia ana ko te whakaheke. Ahakoa ko te tumanako ka memeha noa nga rauemi i te ahunga poutū (te ahunga hohonu) ma te waiu makuku, kaore e taea te aukati i te otinga kia kore e pa ki nga taha, na reira ka haere tonu te whakakorenga o te rauemi i te ahunga whakarara. . Na tenei ahuatanga, ka puta matapōkeretia te weriweri mākū i ngā wāhanga he whāiti ake i te whanui o te whaainga. I tenei ara, i te wa e tukatuka ana i nga hua e hiahia ana kia tika te whakahaere o naianei, he iti te reproducibility, he kore pono te tika.
Tauira o Rahunga pea i roto i te Wet Etching
He aha te take e pai ai te tarai maroke mo te miihini miihini
Whakamaramatanga o te Toi e pa ana ki te tarai maroke e tika ana mo te whakamaroke anisotropic ka whakamahia i roto i nga mahi hangahanga semiconductor e hiahia ana ki te tukatuka tino tika. He maha nga wa e kiia ana ko te hopu katote reactive (RIE), ka uru pea ki te whakamaarama plasma me te tarai katote i roto i te tikanga whanui, engari ka aro tenei tuhinga ki te RIE.
Hei whakamaarama he aha te mea he maamaa ake te tarai anisotropic me te tarai maroke, me ata titiro ki te mahi RIE. He ngawari ki te mohio ma te wehewehe i te tukanga o te tarai maroke me te tango i te taputapu ki nga momo e rua: "te matū matū" me te "ahua tinana".
E toru nga kaupae ka mahia te mahi matū. Tuatahi, ko nga hau tauhohenga ka uru ki runga i te mata. Ko nga hua tauhohenga ka hangaia mai i te hau tauhohenga me nga rawa tïpako, ka mutu ka whakakorehia nga hua tauhohenga. I roto i te waro tinana ka whai ake, ka tarai poutū te tïpako whakararo ma te tono hau argon poutū ki te tïpako.
Ka puta te wetewete matū, engari ka taea te mahi anisotropics ma te whakahaere i te ahunga o te tono hau. Na tenei mahi whakairo tinana, ka taea e te tarai maroke te mana whakahaere i te ahunga o te tarai i te maaku.
He rite ano nga tikanga ki te whakairo makuku me te maaku, engari he nui ake te whakahoki mai i te makuku me te maha o nga mea ngawari ki te whakahaere. No reira, karekau he whakaaro he pai ake te tarai i te maroke ki te hanga ahumahi.
He aha te take e matea tonutia ana te Waiwai Maku
Kia mohio koe ki te ahua o te kaha o te whakamaroke maroke, ka whakaaro pea koe he aha te take i mau tonu ai te whakamaroke maku. Heoi, he ngawari noa te take: ko te makuku makuku ka iti ake te utu.
Ko te rereketanga nui i waenga i te tarai maroke me te tarai maku ko te utu. Ko nga matū e whakamahia ana ki te tarai maku ehara i te mea utu nui, a ko te utu mo nga taputapu ake e kiia ana he 1/10 pea o nga taputapu tarai maroke. I tua atu, he poto te wa tukatuka, ka taea te tukatuka i nga taputapu maha i te wa ano, ka whakaiti i nga utu whakaputa. Ko te mutunga, ka taea e tatou te pupuri i nga utu hua kia iti, ka whai painga ki a tatou i o taatau whakataetae. Mena kaore i te teitei nga whakaritenga mo te tika o te tukatuka, he maha nga kamupene ka whiriwhiri i te tarai maku mo te hanga papatipu taratara.
I whakauruhia te tukanga tarai hei tukanga e whai waahi ana ki te hangarau miihini. Ka wehea rawatia te mahinga o te tarai ki roto ki te tarai makuku me te kirikiri maroke. Mena he mea nui te utu, he pai ake te mea o mua, a, ki te hiahiatia te microprocessing i raro iho i te 1 μm, he pai ake te mea whakamutunga. Ko te mea pai, ka taea te whiriwhiri i tetahi tukanga i runga i te hua ka mahia me te utu, kaore i te pai ake.
Te wa tuku: Apr-16-2024