Te tukanga taipitopito o te hangahanga semiconductor wafer silicon

640

Tuatahi, makahia te polycrystalline silicon me te dopants ki roto i te quartz crucible i roto i te oumu karaihe kotahi, whakaarahia te pāmahana ki te neke atu i te 1000 nga nekehanga, ka whiwhi i te polycrystalline silicon i roto i te ahua whakarewa.

640 (1)

Ko te tipu o te ingot Silicon he tukanga ki te hanga i te kirika polycrystalline ki te kirika karaihe kotahi. I muri i te whakamahana o te polycrystalline silicon ki roto i te wai, ka tino whakahaeretia te taiao waiariki ki te tipu hei tioata kotahi te kounga teitei.

Ngā ariā e pā ana:
Tupu karaihe kotahi:I muri i te pumau o te whakamahana o te wairewa polycrystalline silicon, ka ata whakahekehia te karaihe kakano ki roto i te rewa silicon (ka rewa ano te karaihe kakano i roto i te rewa silicon), katahi ka hiki te karaihe kakano ki runga i tetahi tere mo te rui. tukanga. Na, ka whakakorehia nga wehenga i puta i te wa o te mahi rui ma te mahi kaki. Ka whakahekehia te kaki ki te roa rawaka, ka whakanuia te diameter o te silicon karaihe kotahi ki te uara o te whaainga ma te whakatika i te tere toia me te pāmahana, katahi ka mau tonu te diameter rite ki te tipu ki te roa o te whaainga. Ka mutu, kia kore ai e huri whakamuri te dislocation, ka oti te ingot karaihe kotahi ki te whiwhi i te ingot karaihe kotahi kua oti, katahi ka tangohia i muri i te whakamahana o te pāmahana.

Nga tikanga mo te whakarite i te kirikiri karaihe kotahi:Tikanga CZ me te tikanga FZ. Ko te tikanga CZ ka whakapotohia ko te tikanga CZ. Ko te ahuatanga o te tikanga CZ ko te whakarāpopotohia i roto i te punaha waiariki totika-rango, ma te whakamahi i te whakamahana aukati graphite ki te whakarewa i te silicon polycrystalline i roto i te parapara quartz parakore teitei, katahi ka whakauruhia te karaihe kakano ki roto i te mata whakarewa mo te whakapiri, i te wa ano. ka huri i te karaihe kakano, ka huri i te ipu. Ko te karaehe kakano ka hikina ake ki runga, a, i muri i nga tukanga o te rui, te whakanui, te hurihanga o te pakihiwi, te tipu o te diameter rite, me te hiku, ka riro mai he kirikiri karaihe kotahi.

Ko te tikanga rewa rohe he tikanga mo te whakamahi i nga ingots polycrystalline ki te rewa me te whakakoi i nga tioata semiconductor i nga waahi rereke. Ka whakamahia te hau wera ki te whakaputa i te rohe rewa i tetahi pito o te rakau hikoi, katahi ka paiherea he karaihe kakano karaihe kotahi. Ka whakatikatikahia te pāmahana kia tere haere te rohe rewa ki tera pito o te rakau, a, puta noa i te rakau katoa, ka tupu te karaihe kotahi, a, he rite te takotoranga o te karaihe ki to te karaihe kakano. Kua wehea te tikanga rewa rohe ki nga momo e rua: te tikanga whakarewa rohe whakapae me te tikanga whakarewa rohe whakarewa poutū. Ko te mea o mua ka whakamahia mo te purenga me te tipu karaihe kotahi o nga rawa penei i te germanium me te GaAs. Ko te mea whakamutunga ko te whakamahi i te porowhita teitei i roto i te hau, i te oumu korehau ranei hei whakaputa i tetahi rohe whakarewa i te patanga i waenga i te karaihe kakano karaihe kotahi me te rakau kirikiri polycrystalline e whakairihia ana ki runga ake, katahi ka nekehia te rohe whakarewa ki runga ki te tipu kotahi. tioata.

Tata ki te 85% o nga wafers silicon e hangaia ana e te tikanga Czochralski, me te 15% o nga wafers silicon e hangaia ana e te tikanga whakarewa rohe. E ai ki te tono, ko te kirikiri karaihe kotahi i whakatipuhia e te tikanga Czochralski te nuinga o te waa ki te whakaputa i nga waahanga hiko whakauru, i te mea ko te kirikiri karaihe kotahi i whakatipuhia e te tikanga whakarewa rohe e whakamahia ana mo te hiko hiko. Ko te tikanga Czochralski he tukanga pakeke, he ngawari ake ki te whakatipu nui-diameter kotahi kirika karaihe; Ko te tikanga whakarewa rohe kaore e pa ki te ipu, kaore i te ngawari ki te poke, he pai ake te ma, he pai mo te hanga i nga taputapu hiko teitei, engari he uaua ake ki te whakatipu i te nui-diameter kotahi karaihe silicon, a ka whakamahia noa mo te 8 inihi iti iho ranei te whanui. Ko te ataata e whakaatu ana i te tikanga Czochralski.

640 (2)

Na te uaua ki te whakahaere i te diameter o te rakau silicon karaihe kotahi i roto i te tukanga o te kukume i te karaihe kotahi, kia whiwhi ai i nga rakau silicon o nga diameter paerewa, penei i te 6 inihi, 8 inihi, 12 inihi, me etahi atu. tioata, ka hurihia te diameter o te ingot silicon ka hurihia. He maeneene te mata o te rakau silicon i muri i te hurihuri, he iti ake te hapa o te rahi.

640 (3)

Ma te whakamahi i te hangarau tapahi waea matatau, ka tapahia te ingot karaihe kotahi ki nga angiangi silicon e tika ana te matotoru ma nga taputapu tapahi.

640 (4)

Na te iti o te matotoru o te angiangi silicon, he tino koi te taha o te angiangi silicon i muri i te tapahi. Ko te kaupapa o te huri o te mata he hanga i te mata maeneene, a, ehara i te mea ngawari ki te pakaru i roto i nga mahi hanga maramara e heke mai nei.

640 (6)

Ko te LAPPING he taapiri i te angiangi ki waenga i te pereti whiriwhiri taumaha me te pereti karaihe o raro, ka pehia te pehanga me te huri ki te abrasive kia papatahi te angiangi.

640 (5)

Ko te tarai he tukanga ki te tango i te kino o te mata o te angiangi, a ko te paparanga mata i pakaru i te tukatuka tinana ka memeha e te otinga matū.

640 (8)

Ko te huri taha-rua he tikanga kia pai ake te angiangi me te tango i nga pire iti i runga i te mata.

640 (7)

Ko te RTP he tukanga o te whakawera tere i te angiangi i roto i etahi hēkona, kia rite nga hapa o roto o te angiangi, ka pehia nga poke whakarewa, ka aukatihia te mahi rerekee o te semiconductor.

640 (11)

Ko te whakakoi he tukanga e whakapumau ana i te maeneene o te mata ma te miihini tika o te mata. Ko te whakamahi i te slurry oro me te kakahu oro, ngā ki te pāmahana e tika ana, te pēhanga me te tere hurihuri, ka taea te whakakore i te paparanga kino kino i mahue i te tukanga o mua, me te whiwhi angiangi silicon ki te papatahi mata pai.

640 (9)

Ko te kaupapa o te horoi ko te tango i nga mea pararopi, nga matūriki, nga konganuku, me etahi atu e toe ana i runga i te mata o te angiangi silicon i muri i te whakakorikori, kia pai ai te ma o te mata o te wafer silicon me te whakatutuki i nga whakaritenga o te kounga o te tukanga e whai ake nei.

640 (10)

Ka kitea e te kaitirotiro papatahi me te parenga te angiangi silicon i muri i te whakakorikori me te horoi kia pai ai te matotoru, te papatahi, te papatahi o te rohe, te kopikopiko, te warpage, te parenga, me etahi atu o te angiangi silicon kua orohia ki te whakatutuki i nga hiahia o nga kaihoko.

640 (12)

Ko te tatau matūriki he tukanga mo te tirotiro tika i te mata o te angiangi, a ko nga hapa o te mata me te rahinga ka whakatauhia e te whakamararatanga laser.

640 (14)

Ko te EPI GROWING he tikanga mo te whakatipu kiriata kirikiri kotahi te kounga teitei ki runga i nga angiangi hiraka kua whakakoihia e te waipara matū wahanga kohu.

Ngā ariā e pā ana:Te tipu o te Epitaxial: e pa ana ki te tipu o te paparanga karaihe kotahi me etahi whakaritenga me te ahua o te karaihe rite ki te tïpako i runga i te tïpako karaihe kotahi (te tïpako), rite tonu ki te karaihe taketake e toro atu ana ki waho mo te wahanga. I whakawhanakehia te hangarau tipu epitaxial i te mutunga o te 1950s me te timatanga o te 1960s. I taua wa, ki te hanga i nga taputapu auau-nui me te kaha-nui, he mea tika ki te whakaiti i te aukati raupapa kaikohi, a ka hiahiatia nga rauemi ki te tu atu i te ngaohiko teitei me te teitei o te waa, na reira i tika ai te tipu i te kikokore teitei- paparanga epitaxial parenga i runga i te tïpako whakaatete iti. Ko te paparanga karaihe kotahi hou i whakatipuhia epitaxially ka rereke mai i te tïpako i runga i te momo kawe, parenga, me era atu, ka taea hoki te whakatipu i nga kiripiri kotahi papa-maha o nga momo matotoru me nga whakaritenga, na reira ka pai ake te ngawari o te hoahoa taputapu me te mahi o te taputapu.

640 (13)

Ko te kohinga ko te kohinga o nga hua whai tohu whakamutunga.


Wā tuku: Nov-05-2024