I te nuinga o nga wa e wha nga ahuatanga o te mahi tarai maroke: i mua i te tarai, i te waahanga waahanga, i te tarai noa, me te taapiri. Ko nga ahuatanga matua ko te reeti tarai, te whiriwhiringa, te rahinga nui, te riterite, me te kitenga ira mutunga.
Whakaahua 1 I mua i te tarai
Whakaahua 2 Wehenga wahanga
Whakaahua 3 Te tarai noa
Whakaahua 4 I runga i te tarai
(1) Te tere o te tarai: te hohonu, te matotoru ranei o nga mea tarai i tangohia mo ia wa kotahi.
Whakaahua 5 Hoahoa reeti rewa
(2) Whiriwhiringa: te ōwehenga o nga reiti tarai o nga momo momo momo momo momo.
Whakaatu 6 Hoahoa whiriwhiri
(3) Te taha tino nui: te rahi o te tauira i roto i tetahi waahi motuhake i muri i te otinga o te tarai.
Whakaatu 7 Hoahoa ahu nui
(4) Tauritenga: ki te ine i te tauritenga o te ine weriweri (CD), e tohuhia ana e te mapi katoa o te CD, ko te tauira: U=(Max-Min)/2*AVG.
Whakaatu 8 Hoahoa Arohanga Whakariterite
(5) Te kitenga ira mutunga: I te wa e mahi ana, ka kitea tonu te huringa o te kaha marama. Ka piki ake, ka hinga nui ranei te kaha o te marama, ka mutu te tarai hei tohu i te otinga o tetahi paparanga o te tarai kiriata.
Whakaahua 9 Whakamutunga tohu hoahoa
I roto i te tarai maroke, ka hikaka te hau ma te auau teitei (te nuinga 13.56 MHz, 2.45 GHz ranei). I te pehanga o te 1 ki te 100 Pa, ko te tikanga o te ara kore utu he maha kiromita ki etahi henimita. E toru nga momo matua o te tarai maroke:
•Te kiri maroke o te tinana: ko nga matūriki tere ka mau te mata angiangi
•Hao maroke matū: ka tauhohe matū te hau ki te mata angiangi
•Hao maroke tinana matū: te tukanga tarai tinana me nga ahuatanga matū
1. Te kurupae katote tarai
Ko te whakamau i te kurupae katote (Ion Beam Etching) he tukanga tukatuka maroke tinana e whakamahi ana i te kurupae katote argon kaha-nui me te kaha o te 1 ki te 3 keV hei whakamaarai i te mata o te papanga. Ko te kaha o te kurupae katote ka pa ki a ia me te tango i te papanga mata. He anisotropic te tukanga weriweri i roto i te take o nga kurupae katote tuutuu, titaha ranei. Heoi, na te kore o te whiriwhiringa, karekau he wehewehenga i waenga i nga rauemi i nga taumata rereke. Ko nga hau i hangaia me nga taonga taraihia ka pau i te papu korehau, engari i te mea ehara nga hua tauhohenga i te hau, ka waiho nga matūriki ki runga i te angiangi, i nga pakitara ruma ranei.
Hei aukati i te hanganga o nga matūriki, ka taea te whakauru i te hau tuarua ki roto i te ruma. Ka tauhohe tenei hau ki nga katote argon, ka puta he tukanga haona tinana me te matū. Ko tetahi wahanga o te hau ka tauhohe ki te papanga mata, engari ka tauhohe ano ki nga matūriki kua oro hei hanga i nga hua hau. Tata ki nga momo rauemi katoa ka taea te tarai ma tenei tikanga. Na te irirangi poutū, he iti rawa te kakahu o nga pakitara poutū (anisotropy teitei). Heoi, na te iti o te kowhiri me te tere o te tarai, he uaua te whakamahi i tenei mahi i roto i nga mahi hangahanga hiko o naianei.
2. Te tarai toto
Ko te tarai plasma he tukanga matū matū tonu, e mohiotia ana ko te whakamaroke maroke matū. Ko tana painga ko te kore e kino te katote ki te mata angiangi. I te mea ko nga momo hohe i roto i te hau etching he watea ki te neke me te tukanga etching he isotropic, he pai tenei tikanga mo te tango i te paparanga kiriata katoa (hei tauira, te horoi i te taha o muri i muri i te waiariki hāora).
Ko te reactor whakararo he momo reactor e whakamahia ana mo te tarai plasma. I roto i tenei reactor, ka hangaia te plasma e te ionization paanga i roto i te waahi hiko teitei o te 2.45GHz ka wehea mai i te wafer.
I roto i te waahi tuku hau, he maha nga matūriki ka puta na te paanga me te hihiko, tae atu ki nga rauropi kore utu. Ko nga rauropi kore he ngota ngota, ngota ngota ranei me nga irahiko haunga kore, no reira he tino hohenga. I roto i te tukanga etching plasma, ka whakamahia etahi hau kupapa, penei i te tetrafluoromethane (CF4), ka whakaurua ki roto i te waahi karehu hau ki te whakaputa momo kaha ma te katote, te pirau ranei.
Hei tauira, i roto i te hau CF4, ka whakauruhia ki roto i te waahi tuku hau, ka pirau ki roto i nga rauropi fluorine (F) me nga ngota ngota waro difluoride (CF2). Waihoki, ka taea te pirau (F) mai i te CF4 ma te taapiri i te hāora (O2).
2 CF4 + O2 —> 2 COF2 + 2 F2
Ka taea e te ngota ngota fluorine te wehe ki nga ngota fluorine motuhake e rua i raro i te kaha o te rohe tuku hau, he tuwhena kore utu ia. I te mea ko ia ngota fluorine e whitu nga irahiko valence me te kaha ki te whakatutuki i te whirihoranga hiko o te hau koretake, he tino hoheke katoa. I tua atu i nga rauropi kore utu fluorine, ka tukuna nga matūriki penei i te CF+4, CF+3, CF+2, me etahi atu i roto i te rohe tuku hau. I muri mai, ka whakauruhia enei matūriki katoa me nga rauropi kore utu ki roto i te ruma tarai ma te ngongo uku.
Ka taea te aukati i nga matūriki kua utaina e nga kupenga tangohanga, ka whakakotahihia ranei i roto i te mahi hanga ngota ngota koretake hei whakahaere i o raatau whanonga i roto i te ruma tarai. Ko nga tuwhenawhe kore utu ka uru ano ki te whakakotahi i etahi waahanga, engari he kaha tonu ki te kuhu ki roto i te ruuma tarai, ka tauhohe matū ki runga i te mata angiangi me te tihorea o nga rawa. Ko etahi atu matūriki kūpapa karekau e uru ki roto i te mahi tarai, ka pau me nga hua tauhohenga.
Ko nga tauira o nga kiriata angiangi ka taea te tarai ki te tarai plasma:
• Silicon: Si + 4F—> SiF4
• Silicon hauhā: SiO2 + 4F—> SiF4 + O2
• Silicon nitride: Si3N4 + 12F—> 3SiF4 + 2N2
3.Katote katote tauhohenga (RIE)
Ko te hopu katote tauhohenga he mahinga matū-a-tinana e taea ai te whakahaere tika i te whiriwhiringa, te tohu tuhi, te reeti tarai, te rite me te tukurua. Ka taea e ia te whakatutuki i nga tuhinga tuhi isotropic me te anisotropic na reira ko tetahi o nga tikanga tino nui mo te hanga i nga momo kiriata angiangi i roto i te hanga semiconductor.
I roto i te RIE, ka utaina te angiangi ki runga i te hiko hiko teitei (HF electrode). Na roto i te katote awe, ka hangaia he plasma kei reira nga irahiko kore utu me nga katote utu pai. Mena ka tukuna he ngaohiko pai ki te hiko HF, ka whakaemihia nga irahiko kore utu ki runga i te mata hiko ka kore e taea te waiho ano i te hiko na runga i to raatau hononga irahiko. No reira, ka utaina nga hiko ki te -1000V (te ngaohiko bias) kia kore ai e taea e nga katote puhoi te whai i te papa hiko hurihuri tere ki te hiko hiko kino.
I te wa e werohia ana te katote (RIE), mena he tiketike te ara noa o nga katote, ka pa ki te mata angiangi i roto i te ahunga tata. Ma tenei ara, ka paopao nga katote whakatere i nga rawa ka puta he tauhohenga matū ma te tarai tinana. I te mea karekau nga pakitara taha taha e pa ana, ka noho anisotropic te ahua o te etch me te iti o te kakahu o te mata. Heoi, karekau i te tino teitei te whiriwhiringa na te mea ka puta ano te mahi tarai tinana. I tua atu, ko te whakaterenga o nga katote ka pakaru te mata angiangi, e hiahia ana ki te whakamaarama waiariki hei whakatika.
Ko te wahanga matū o te tukanga tarai ka oti e nga tuwhena kore utu e tauhohe ana ki te mata me nga katote e patu tinana ana i nga rawa kia kore ai e tuku ano ki runga i te angiangi, i nga pakitara ruma ranei, me te karo i te ahuatanga o te redeposition penei i te kurupae katote. I te whakanui ake i te pehanga hau i roto i te ruma tarai, ka whakahekehia te ara noa o nga katote, ka piki ake te maha o nga tukinga i waenga i nga katote me nga ngota ngota hau, ka marara nga katote ki etahi atu huarahi rereke. Ko te hua o tenei ka iti ake te arai o te tarai, ka nui ake te matū o te mahi tarai.
Ka taea te hanga i nga korero a te anisotropic etch ma te whakawhiti i nga pakitara i te wa e tarai ana te silicon. Ka whakaurua te hāora ki roto i te rūma tarai, ki reira tauhohe ai ki te kirikiri maui ki te hanga i te hauhā hauhā, ka waiho ki runga i ngā pakitara poutū. Na te pupuhi katote, ka nekehia te paparanga waikura i runga i nga waahi whakapae, ka taea te haere tonu o te mahi tarai taha. Ka taea e tenei tikanga te whakahaere i te ahua o te kotaha etch me te pari o nga tahataha.
Ko te reiti etch e pa ana ki nga mea penei i te pehanga, te hiko HF generator, te hau mahi, te tere o te rere o te hau me te pāmahana angiangi, a ka pupurihia tona awhe rereke i raro i te 15%. Ka piki te anisotropy me te whakanui ake i te mana HF, te whakaheke i te pehanga me te heke o te pāmahana. Ko te riterite o te tukanga tarai ka whakatauhia e te hau, te mokowhiti hiko me te rauemi hiko. Mena he iti rawa te tawhiti o te hiko, kaore e taea te marara te plasma, ka puta he kore-rite. Ko te whakanui ake i te tawhiti hiko ka whakaitihia te tere o te tarai na te mea ka tohatohahia te plasma i roto i te rahinga nui. Ko te waro te mea pai rawa atu i nga mea hiko na te mea ka whakaputa i te plasma riaka rite kia pa te taha o te angiangi kia rite ki te waenganui o te angiangi.
He mahi nui te hau o te tukanga ki te whiriwhiringa me te tere o te tarai. Mo te haukoko me te konupora, ko te fluorine me te maota ka whakamahia hei whakatutuki i te hopu. Ko te whiriwhiri i te hau e tika ana, te whakatikatika i te rere hau me te pehanga, me te whakahaere i etahi atu tawhā penei i te pāmahana me te mana i roto i te mahi ka taea te whakatutuki i te tere etch e hiahiatia ana, te whiriwhiringa, me te riterite. Ko te arotautanga o enei tawhā ka whakaritea mo nga momo tono me nga rawa.
Ko te tukanga weriweri e kore e whakawhäitihia ki te hau kotahi, te ranunga hau, me nga tawhā tukanga whakarite. Hei tauira, ko te waikura taketake i runga i te polysilicon ka taea te tango i te tuatahi me te reiti etch teitei me te iti o te whiriwhiringa, ka taea te taraihia te polysilicon i muri mai me te whiriwhiringa teitei ake e pa ana ki nga paparanga o raro.
——————————————————————————————————————————————— ———————————
Ka taea e Semicera te whakaratonga waahanga kauwhata, ngawari/mārō te rongo, nga waahanga carbide silicon,Ko nga waahanga carbide silicon CVD,aSiC/TaC nga waahanga kua pania me i roto i nga ra 30.
Mena kei te pirangi koe ki nga hua semiconductor o runga ake nei,kaua koe e mangere ki te whakapiri mai ki a maatau i te wa tuatahi.
Waea: +86-13373889683
WhatsAPP:+86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Te wa tuku: Sep-12-2024