Ko nga taputapu hiko Semiconductor te waahi nui i roto i nga punaha hiko hiko, ina koa i roto i te horopaki o te whanaketanga tere o nga hangarau penei i te mohio mohio, nga korero 5G me nga waka hiko hou, kua pai ake nga whakaritenga mahi mo ratou.
Silicon carbideKo te (4H-SiC) he mea tino pai mo te hanga i nga taputapu hiko semiconductor mahi nui na ona painga penei i te whanui whanui, te kaha o te waiariki, te kaha o te waahi pakaru, te tere tere o te hau, te pumau matū me te aukati radiation. Engari, he nui te pakeke o te 4H-SiC, he pakaruhanga teitei, he kaha te matū matū, me te uaua ki te tukatuka. Ko te kounga o te mata o tana angiangi tïpako he mea nui mo nga tono taputapu-nui.
Na reira, ko te whakapai ake i te kounga o te mata o te 4H-SiC substrate wafers, ina koa ko te tango i te paparanga pakaru i runga i te mata tukatuka angiangi, ko te matua ki te whakatutuki pai, iti-ngaro me te kounga teitei 4H-SiC substrate tukatuka angiangi.
Whakamatau
Ko te whakamatautau e whakamahi ana i te 4-inihi N-momo 4H-SiC ingot i whakatipuhia e te tikanga kawe kohu tinana, ka tukatukahia ma te tapahi waea, te huri, te huri taratara, te miro pai me te whakakorikori, me te tuhi i te matotoru tangohanga o te mata C me te mata Si me te matotoru angiangi whakamutunga i ia tukanga.
Whakaahua 1 Te hoahoa hoahoa o te hanganga karaihe 4H-SiC
Whakaahua 2 Ko te matotoru kua tangohia mai i te taha C me te taha Si o 4H-Angiangi SiCi muri i nga waahanga tukatuka rereke me te matotoru o te angiangi i muri i te tukatuka
Ko te matotoru, te ahua o te mata, te taratara me nga ahuatanga miihini o te angiangi i tino tohuhia e te angiangi te kaitirotiro tawhā ahuahanga, te karu wawaotanga rereke, te karu hiko ngota, te taputapu ine ine me te nanoindenter. I tua atu, i whakamahia te diffractometer X-ray teitei hei aromatawai i te kounga o te karaihe o te angiangi.
Ko enei waahanga whakamatautau me nga tikanga whakamatautau e whakarato ana i te tautoko hangarau taipitopito mo te ako i te tere tango rauemi me te kounga o te mata i te wa e tukatuka ana i te 4H-Nga angiangi SiC.
Na roto i nga whakamatautau, i tātarihia e nga kairangahau nga huringa o te tere tango rauemi (MRR), te ahua o te mata me te taratara, tae atu ki nga ahuatanga miihini me te kounga karaihe o te 4H-Nga angiangi SiCi roto i nga waahanga tukatuka rereke (te tapahi waea, te huri, te huri taratara, te huri pai, te whakakorikori).
Whakaahua 3 Reiti tango rawa o C-mata me Si-mata o 4H-Angiangi SiCi nga waahanga tukatuka rereke
I kitea e te rangahau na te anisotropy o nga taonga miihini o nga mata karaihe rereke o te 4H-SiC, he rereke te rereketanga o te MRR i waenga i te C-kanohi me te Si-kanohi i raro i te tukanga kotahi, a ko te MRR o te kanohi C he tino teitei ake i te. ko te Si-kanohi. Na te ahunga whakamua o nga mahi tukatuka, ka pai haere te ahua o te mata me te taratara o nga angiangi 4H-SiC. I muri i te whakakoi, ko te Ra o C-mata he 0.24nm, a ko te Ra o Si-kanohi ka tae ki te 0.14nm, ka taea te whakatutuki i nga hiahia o te tipu epitaxial.
Whakaahua 4 Ko nga whakaahua karu whatu o te mata C (a~e) me te mata Si (f~j) o te angiangi 4H-SiC i muri i nga waahanga tukatuka rereke.
Whakaahua 5 Ko nga whakaahua karuiti kaha ngota o te mata C (a~c) me te mata Si (d~f) o te angiangi 4H-SiC i muri i nga taahiraa tukatuka CLP, FLP me CMP
Whakaatu 6 (a) te whakakorikori elastic me te (b) te pakeke o te mata C me te mata Si o te angiangi 4H-SiC i muri i nga waahanga tukatuka rereke.
Ko te whakamatautau taonga miihini e whakaatu ana he iti ake te uaua o te mata C o te angiangi i te papanga mata Si, he nui ake te pakaru o te pakaru i te wa e tukatuka ana, he tere ake te tango i nga rawa, me te ahua kino o te ahua o te mata me te taratara. Ko te tango i te paparanga pakaru i runga i te mata kua tukatukahia ko te matua ki te whakapai ake i te kounga o te mata o te angiangi. Ko te haurua teitei o te whanui o te 4H-SiC (0004) ka taea te whakamahi ki te mohio me te tika te tohu me te tātari i te paparanga kino o te angiangi.
Whakaaturanga 7 (0004) kopikopiko te haurua-whanui o te C-kanohi me te Si-mata o te angiangi 4H-SiC i muri i nga waahanga tukatuka rereke.
Ko nga hua rangahau e whakaatu ana ka taea te tango i te paparanga kino o te angiangi i muri i te tukatuka angiangi 4H-SiC, e pai ake ai te kounga o te mata o te angiangi me te whakarato tohutoro hangarau mo te pai-nui, iti-ngaro me te kounga teitei. o 4H-SiC tïpako angiangi.
I tukatukahia e nga kairangahau nga angiangi 4H-SiC na roto i nga waahanga tukatuka rereke penei i te tapahi waea, te huri, te huri taratara, te miro pai me te whakakorikori, me te ako i nga paanga o enei tukanga ki te kounga o te mata o te angiangi.
Ko nga hua e whakaatu ana i te ahu whakamua o nga mahi tukatuka, ka tino arotauhia te ahua o te mata me te taratara o te angiangi. I muri i te whakakoi, ka tae te taratara o te C-kanohi me te Si-kanohi ki te 0.24nm me te 0.14nm, e tutuki ana i nga whakaritenga o te tipu epitaxial. Ko te C-mata o te angiangi he iti ake te uaua i te papanga Si-kanohi, he pai ake ki te pakaru pakaru i te wa e tukatuka ana, na te ahua kino o te ahua o te mata me te taratara. Ko te tango i te paparanga kino o te mata o te mata kua tukatukahia ko te matua ki te whakapai ake i te kounga o te mata o te angiangi. Ka taea e te haurua-whanui o te 4H-SiC (0004) te piupiu ki te whakaatu i te paparanga kino o te angiangi.
Ko nga rangahau e whakaatu ana ko te paparanga pakaru i runga i te mata o te 4H-SiC wafers ka taea te neke haere i roto i te tukatuka angiangi 4H-SiC, ka pai ake te whakapai ake i te kounga o te mata o te angiangi, e whakarato ana i te tohutoro hangarau mo te tino pai, te iti-mate, me te teitei- tukatuka kounga o 4H-SiC tïpako angiangi.
Wā tuku: Hūrae-08-2024