Ko te pito o mua o te raina whakaputa he rite ki te whakatakoto turanga me te hanga i nga pakitara o te whare. I roto i te whakangao semiconductor, ko tenei waahanga ko te hanga i nga hanganga taketake me nga transistors i runga i te wafer silicon.
Nga Hipanga Matua o FEOL:
1. Te horoi:Tīmatahia ki te angiangi angiangi silicon ka horoi hei tango i nga poke.
2. Hāoratanga:Whakatupuria he apa o te hauhā hauhā ki runga i te angiangi hei wehe i ngā wāhanga rerekē o te maramara.
3. Photolithography:Whakamahia te whakaahua whakaahua hei tarai tauira ki runga i te angiangi, he rite ki te tuhi i nga mahere ma te marama.
4. Te tarai:Whakakorehia te hauhā hauhā e kore e hiahiatia kia kitea nga tauira e hiahiatia ana.
5. Doping:Whakauruhia nga poke ki roto i te silicon ki te whakarereke i ona ahuatanga hiko, te hanga transistors, nga poraka hanga taketake o tetahi maramara.
Waenga Whakamutunga o te Raina (MEOL): Te hono i nga Ira
Ko te pito waenga o te raina whakaputa he rite ki te whakauru waea me te paipa ki roto i te whare. Ko tenei waahanga e arotahi ana ki te whakarite hononga i waenga i nga transistors i hangaia i te atamira FEOL.
Nga Waahi Matua o MEOL:
1. Whakapae Dielectric:Whakatakotoria he papa whakamarumaru (e kiia ana ko te dielectrics) hei tiaki i nga transistors.
2. Hanganga Whakapā:Hangaia nga hoapaki hei hono i nga transistors ki a ratau me te ao o waho.
3. Hononga:Tāpirihia he papa whakarewa hei hanga huarahi mo nga tohu hiko, he rite ki te waea waea ki te whare kia pai ai te hiko me te rere raraunga.
Whakamutunga o te Raina (BEOL): Whakaoti Pa
-
Ko te pito o muri o te raina whakaputa he rite ki te taapiri i nga pa whakamutunga ki te whare—te whakauru i nga taputapu, te peita, me te whakarite kia pai nga mea katoa. I roto i te whakangao semiconductor, ko tenei waahanga ko te taapiri i nga paparanga whakamutunga me te whakarite i te maramara mo te takai.
Nga Hipanga Matua o BEOL:
1. Paparanga Metal Tāpiri:Tāpirihia nga paparanga whakarewa maha hei whakarei ake i te honohono, me te whakarite ka taea e te maramara te whakahaere i nga mahi uaua me nga tere tere.
2. Waahi:Hoatu nga paparanga whakamarumaru hei whakamarumaru i te maramara i te kino o te taiao.
3. Whakamatau:Tukuna te maramara ki nga whakamatautau kaha kia tutuki ai nga whakaritenga katoa.
4. Mataono:Tapahia te angiangi ki nga maramara takitahi, kua rite ia mo te takai me te whakamahi i nga taputapu hiko.
Wā tuku: Hūrae-08-2024