Ko nga pito o mua, waenga me muri o nga raina whakangao semiconductor
Ko te tukanga hangahanga semiconductor ka taea te wehewehe ki nga waahanga e toru:
1) Whakamutunga o mua o te raina
2) Te mutunga o waenganui o te raina
3) Whakamutunga o te raina
Ka taea e tatou te whakamahi i tetahi whakataurite ngawari penei i te hanga whare ki te tuhura i te tukanga uaua o te hanga maramara:
Ko te pito o mua o te raina whakaputa he rite ki te whakatakoto turanga me te hanga i nga pakitara o te whare. I roto i te whakangao semiconductor, ko tenei waahanga ko te hanga i nga hanganga taketake me nga transistors i runga i te wafer silicon.
Nga Hipanga Matua o FEOL:
1.Cleaning: Tīmata ki te angiangi angiangi silicon ka horoi ki te tango i nga poke.
2.Oxidation: Whakatipuhia he paparanga o te hiako hauhā ki runga i te angiangi hei wehe i nga wahanga rereke o te maramara.
3.Photolithography: Whakamahia he whakaahua whakaahua hei tarai tauira ki runga i te angiangi, he rite ki te tuhi i nga mahere ma te marama.
4.Etching: Werohia te hauhā silicon e kore e hiahiatia kia kitea nga tauira e hiahiatia ana.
5.Doping: Whakauruhia nga poke ki roto i te silicon ki te whakarereke i ona ahuatanga hiko, te hanga transistors, nga poraka hanga taketake o tetahi maramara.
Waenga Whakamutunga o te Raina (MEOL): Te hono i nga Ira
Ko te pito waenga o te raina whakaputa he rite ki te whakauru waea me te paipa ki roto i te whare. Ko tenei waahanga e arotahi ana ki te whakarite hononga i waenga i nga transistors i hangaia i te atamira FEOL.
Nga Waahi Matua o MEOL:
1.Dielectric Deposition: Whakatakotohia nga paparanga whakamarumaru (e kiia ana ko te dielectrics) hei tiaki i nga transistors.
2.Whakaahua Hoapapa: Puka hoapaki hei hono i nga transistors ki a ratau me te ao o waho.
3.Interconnect: Tāpirihia nga paparanga whakarewa hei hanga huarahi mo nga tohu hiko, he rite ki te waea waea ki te whare kia pai ai te hiko me te rere raraunga.
Whakamutunga o te Raina (BEOL): Whakaoti Pa
Ko te pito o muri o te raina whakaputa he rite ki te taapiri i nga pa whakamutunga ki te whare—te whakauru i nga taputapu, te peita, me te whakarite kia pai nga mea katoa. I roto i te hangahanga semiconductor, ko tenei waahanga ko te taapiri i nga paparanga whakamutunga me te whakarite i te maramara mo te takai.
Nga Hipanga Matua o BEOL:
1.Additional Metal Layers: Tāpirihia nga paparanga whakarewa maha hei whakarei ake i te honohono, me te whakarite ka taea e te maramara te whakahaere i nga mahi uaua me nga tere tere.
2.Passivation: Whakamahia nga paparanga whakamarumaru hei whakamarumaru i te maramara mai i te kino o te taiao.
3.Whakamatau: Whakatauhia te maramara ki te whakamatautau kaha ki te whakarite kia tutuki nga whakaritenga katoa.
4.Dicing: Tapahia te angiangi ki nga maramara takitahi, kua rite ia mo te takai me te whakamahi i nga taputapu hiko.
Ko Semicera he kaihanga OEM rongonui i Haina, i whakatapua ki te whakarato uara nui ki o taatau kaihoko. Ka whakaekea e matou te whānuitanga o nga hua me nga ratonga kounga teitei, tae atu ki:
1.Whakakikorua CVD SiC(Epitaxy, nga waahanga whakakikorua CVD ritenga, nga paninga mahi teitei mo nga tono semiconductor, me etahi atu)
2.Nga waahanga nui o te CVD SiC(Nga mowhiti, nga mowhiti arotahi, nga waahanga SiC ritenga mo nga taputapu semiconductor, me etahi atu)
3.Nga Waahanga Whakakikorua CVD TaC(Epitaxy, SiC tipu angiangi, tono pāmahana-teitei, me te ake)
4.Nga Waahanga Kauwhata(Nga poti kauwhata, nga waahanga graphite ritenga mo te tukatuka i te pāmahana teitei, me etahi atu)
5.Nga waahanga SiC(Nga poti SiC, ngongo oumu SiC, nga waahanga SiC ritenga mo te tukatuka rauemi matatau, me etahi atu)
6.Nga Waahanga Quartz(Nga poti koata, nga waahanga kiripaka ritenga mo nga ahumahi hiko me te ra, me etahi atu)
Ko ta matou piripono ki te hiranga e whakarite ana ka tukuna e matou he otinga hou me te pono mo nga momo ahumahi, tae atu ki te hanga semiconductor, te tukatuka rauemi matatau, me nga tono hangarau tiketike. Ma te arotahi ki te tika me te kounga, ka whakatapua matou ki te whakatutuki i nga hiahia ahurei o ia kaihoko.
Wā tuku: Tihema-09-2024