I roto i nga taputapu tarai plasma, he mea nui te waahanga o te raima, tae atu ki temowhiti arotahi.Ko te mowhiti arotahi, ka whakanohoia ki te taha o te angiangi me te whakapiri tika ki a ia, he mea nui mo te arotahi i te plasma ki runga i te angiangi ma te tuku ngaohiko ki te mowhiti. Ma tenei ka whakanui ake i te riterite o te mahi tarai.
Te tono a SiC Arotahi Mowhiti i roto i nga Miihini Etching
Nga waahanga SiC CVDi roto i nga miihini tarai, peneimowhiti arotahi, kaukau hau, nga pereti, me nga mowhiti tapa, he mea pai na te iti o te tauhohenga o te SiC me nga hau maaota me nga haurehu-a-fluorine me ona kawe, he mea pai mo nga taputapu tarai plasma.
Nga Painga o te SiC hei Rauemi Mowhiti Arotahi
Na te puta tika ki te plasma i roto i te ruuma tauhohenga korehau, me hanga nga mowhiti arotahi mai i nga rauemi aukati plasma. Ko nga mowhiti arotahi tuku iho, he mea hanga mai i te silicon, quartz ranei, ka mamae i te ngoikore o te aukati i roto i nga plasmas-fluorine, ka tere te pirau me te whakahekenga o te mahi.
Whakatauritenga i waenga i nga Mowhiti Arotahi Si me CVD SiC:
1. Kiato teitei ake:Ka whakaiti i te rōrahi tarai.
2. Mokowhiti Whanui: Ka whakarato i te whakamaarama pai.
3. Kawenga Weariki Teitei me te Whakarea Whakawhanui Iti: He ātete ki te ru werawera.
4. Elasticity teitei:He pai te atete ki te paanga miihini.
5. Maamaa Teitei: Mau me te waikura-ātete.
Ka tohatohahia e SiC te kawe hiko o te silicon i te wa e whakaekea ana te aukati pai ki te tarai katote. I te wa e haere haere ana te iti o te ara iahiko whakauru, ka piki ake te hiahia mo nga mahi whakairo pai ake. Ko nga taputapu tarai plasma, ina koa ko nga mea e whakamahi ana i te plasma hono capacitive (CCP), me nui te kaha plasma, hangaNga mowhiti arotahi SiCrongonui haere.
Tawhā Mowhiti Arotahi Si me CVD SiC:
| Tawhā | Silicon (Si) | CVD Silicon Carbide (SiC) |
| Kiato (g/cm³) | 2.33 | 3.21 |
| Aputa Band (eV) | 1.12 | 2.3 |
| Te Waawera (W/cm°C) | 1.5 | 5 |
| Whakarea Roha Weariki (x10⁻⁶/°C) | 2.6 | 4 |
| Kōwae Elastic (GPa) | 150 | 440 |
| Te pakeke | Raro | Teitei ake |
Tukanga Hangahanga o nga Mowhiti Arotahi SiC
I roto i nga taputapu semiconductor, ko te CVD (Chemical Vapor Deposition) e whakamahia nuitia ana hei whakaputa i nga waahanga SiC. Ko nga mowhiti arotahi ka hangaia ma te tuku SiC ki roto i nga ahua motuhake ma te whakaheke i te kohu, ka whai i te tukatuka miihini hei hanga i te hua whakamutunga. Ko te ōwehenga rawa mo te waipara kohu ka whakatauhia i muri i nga whakamatautau nui, kia rite tonu nga tawhā penei i te parenga. Heoi, ka hiahia pea nga taputapu taraihi rereke ki nga mowhiti arotahi me te rerekee o te parenga, me whakamatau i nga waahanga hou mo ia tohu, he nui te wa me te utu.
Ma te whiriwhiriNga mowhiti arotahi SiCmaiSemicera Semiconductor, Ka taea e nga kaihoko te whakatutuki i nga painga o nga huringa whakakapinga roa me nga mahi pai ake me te kore e piki ake te utu.
Nga Waahanga Tukatuka Ngawha Tere (RTP).
Ko nga taonga waiariki motuhake a CVD SiC he pai mo nga tono RTP. Ko nga waahanga RTP, tae atu ki nga mowhiti taha me nga pereti, ka whai hua mai i te CVD SiC. I te wa o te RTP, ka tukuna nga pupuhi wera kaha ki nga angiangi takitahi mo te wa poto, ka whai i te whakamatao tere. Ko nga mowhiti tapa CVD SiC, he kikokore, he iti te papatipu waiariki, e kore e mau te wera nui, ka kore e pangia e te tere whakawera me te whakamatao.
Nga Waahanga Etching Plasma
Ko te aukati matū teitei o CVD SiC e pai ana mo nga tono tarai. He maha nga ruma tarai e whakamahi ana i nga pereti tohatoha hau CVD SiC ki te tohatoha hau tarai, kei roto nga mano o nga rua iti mo te whakamararatanga plasma. Ki te whakatauritea ki etahi atu rauemi, he iti ake te tauhohenga o te CVD SiC ki te hauhau maota me te hau. I roto i te tarai maroke, ko nga waahanga CVD SiC penei i nga mowhiti arotahi, nga pereti ICP, nga mowhiti rohe, me nga kaukau ka whakamahia.
Ko nga mowhiti arotahi SiC, me o raatau ngaohiko tono mo te arotahi plasma, me tika te kawe. I te nuinga o te wa ka mahia mai i te hiraka, ka kitea nga mowhiti arotahi ki nga haure hohenga e mau ana i te fluorine me te maota, e arai ana ki te waikura kore. Ko nga mowhiti arotahi a SiC, me o raatau parenga waikura pai ake, he roa ake te roa o te oranga ki nga mowhiti silicon.
Tauritenga Ora:
· Mowhiti Arotahi SiC:Whakakapihia ia 15 ki te 20 ra.
· Mowhiti Arotahi Silicon:Whakakapihia ia 10 ki te 12 ra.
Ahakoa ko nga mowhiti SiC he 2 ki te 3 nga wa te utu nui atu i nga mowhiti silicon, ko te huringa whakakapinga ka whakaitihia nga utu whakakapinga katoa, na te mea ka whakakapihia nga waahanga kakahu katoa i roto i te ruuma i te wa e whakatuwherahia ana te ruuma mo te whakakapi whakakai whakakai.
Nga Mowhiti Arotahi SiC a Semicera Semiconductor
Ka tukuna e Semicera Semiconductor nga mowhiti arotahi SiC i nga utu e tata ana ki era o nga mowhiti silicon, me te wa arahi mo te 30 ra. Ma te whakauru i nga mowhiti arotahi SiC a Semicera ki roto i nga taputapu tarai plasma, ka tino pai ake te pai me te roa o te oranga, ka whakaheke i nga utu tiaki katoa me te whakapiki i te pai o te whakaputa. I tua atu, ka taea e Semicera te whakarite i te parenga o nga mowhiti arotahi ki te whakatutuki i nga whakaritenga a nga kaihoko.
Ma te kowhiri i nga mowhiti arotahi SiC mai i Semicera Semiconductor, ka taea e nga kaihoko te whakatutuki i nga painga o nga huringa whakakapinga roa me nga mahi pai ake me te kore e piki ake te utu.
Wā tuku: Hūrae-10-2024