Tikanga takahanga o nga waahanga kauwhata whakakikorua TaC noa

WAHANGA/1
Aratuka CVD (Matū Kohu Kohu):
I te 900-2300 ℃, ma te whakamahi i te TaCl₅me CnHm hei puna tantalum me te waro, H₂ hei hau whakaheke, hau kawe Ar₂as, kiriata waipara tauhohenga. Ko te paninga kua oti te whakarite he paku, he rite me te tino ma. Heoi ano, he raruraru penei i te tukanga uaua, te utu utu nui, te uaua ki te whakahaere i te rere o te hau me te iti o te pai o te whakatakoto.
WAHANGA/2
Tikanga slurry sintering:
Ko te slurry kei roto te puna waro, te puna tantalum, te dispersant me te binder ka pania ki runga i te kauwhata, ka sintered ki te pāmahana teitei i muri i te whakamaroketanga. Ko te whakakikorua kua rite te tipu me te kore he whakatakotoranga i nga wa katoa, he iti te utu me te pai mo te hanga nui. Ka tuhurahia kia eke ki te whakakakahu me te kapi katoa i runga i te kauwhata nui, te whakakore i nga ngoikoretanga tautoko me te whakarei ake i te kaha hononga paninga.
WAHANGA/3
Tikanga rehu plasma:
Ko te paura TaC ka whakarewahia e te plasma arc i te teitei o te pāmahana, ka ngotahia ki roto i nga topata wera teitei e te jet tere-tere, ka maputia ki te mata o te papanga graphite. He ngawari ki te hanga i te paparanga waikura i raro i te korehau kore, a he nui te whakapau kaha.

 

Whakaahua . Pae angiangi i muri i te whakamahi i te taputapu MOCVD whakatipu epitaxial GaN (Veeco P75). Ko te taha maui ka pania ki te TaC, ko te taha matau ki te SiC.

TaC paniame whakaoti nga waahanga kauwhata

WAHANGA/1
Te kaha here:
He rereke te whakareatanga whakawhänui o te waiariki me etahi atu mea tinana i waenga i te TaC me nga rawa waro, he iti te kaha o te hono o te paninga, he uaua ki te karo i nga kapiti, pores me te ahotea waiariki, a he ngawari ki te tihorea te paninga i roto i te hau tūturu kei roto i te pirau. te ara ake me te whakamatao.
WAHANGA/2
Pure:
paninga TaCMe tino maamaa kia kore ai e poke me te parahanga i raro i nga ahuatanga o te pāmahana teitei, me whakaae nga paerewa whai hua me nga paerewa tohu o te waro kore utu me nga poke o roto i te mata me roto o te paninga katoa.
WAHANGA/3
Pūmautanga:
Ko te parenga teitei o te pāmahana me te aukati hau matū kei runga ake i te 2300 ℃ nga tohu tino nui hei whakamatautau i te pumau o te paninga. Ko nga kohao, ko nga kapiti, ko nga kokonga kua ngaro, me nga rohenga o te witi kotahi he ngawari ki te whakauru i nga hau kino ki te kuhu ki roto ki te kauwhata, na te korenga o te whakamarumaru o te paninga.
WAHANGA/4
Ātete hāora:
Ka timata a TaC ki te oxidize ki te Ta2O5 i te mea kei runga ake i te 500 ℃, a ka piki te tere o te waikura ki te piki o te pāmahana me te kukū hāora. Ko te waikura o te mata ka timata mai i nga rohe o te witi me nga kakano iti, ka hanga i nga tioata poupou me nga tioata pakaru, ka puta he maha o nga waahi me nga rua, ka kaha ake te whakauru o te hāora tae noa ki te whakakore i te paninga. Ko te paparanga waikura ka puta he ngoikore te kawe wera me te maha o nga tae o te ahua.
WAHANGA/5
Te rite me te taratara:
Ko te tohatoha kore o te mata paninga ka arahi ki te kukū o te ahotea waiariki o te rohe, ka piki ake te tupono o te pakaru me te pakaru. I tua atu, ko te taratara o te mata ka pa tika ki te pahekoheko i waenga i te paninga me te taiao o waho, a, ko te taratara teitei ka ngawari ki te piki ake o te waku ki te papa angiangi me te papa waiariki.
WAHANGA/6
Rahi witi:
Ko te rahi o te witi rite ka awhina i te pumau o te paninga. Mena he iti te rahi o te witi, kaore i te piri te here, a he ngawari ki te oxidized me te waikura, ka puta he maha o nga kapiti me nga rua i te taha o te witi, ka whakaiti i te mahi tiaki o te paninga. Mena he nui rawa te rahi o te witi, he ahua taratara, a he ngawari te whakamarumaru o te paninga i raro i te ahotea.