E hia rau nga tukanga e hiahiatia ana kia huri aangiangiki roto i te semiconductor. Ko tetahi o nga tukanga tino nuiwhakairo- ara, te whakairo tauira taiawhio pai ki runga i teangiangi. Ko te angitu o tewhakairoKo te tukanga e whakawhirinaki ana ki te whakahaere i nga momo rereke i roto i te awhe tohatoha kua whakaritea, a me rite ia taputapu tarai ki te mahi i raro i nga tikanga tino pai. Ka whakamahia e a maatau miihini miihini nga mahi hangarau tino pai ki te whakaoti i tenei mahi taipitopito.
I uiui a SK Hynix News Center ki nga mema o te Icheon DRAM Front Etch, Middle Etch, me End Etch kapa hangarau ki te ako atu mo a raatau mahi.
Etch: He Haerenga ki te Whakapai i te Hua
I roto i te hanga semiconductor, e tohu ana te whakairo ki nga tauira whakairo ki nga kiriata kikokore. Ka rehuhia nga tauira ma te whakamahi i te plasma hei hanga i te whakahuahua whakamutunga o ia taahiraa tukanga. Ko tana kaupapa matua ko te whakaatu i nga tauira tika kia rite ki te whakatakotoranga me te pupuri i nga hua rite i raro i nga tikanga katoa.
Mēnā ka puta ngā raru i roto i te hātepe waipara, whakaahua whakaahua rānei, ka taea te whakatau mā te hangarau wetewete (Etch). Heoi, ki te hee tetahi mea i te wa o te mahi tarai, kaore e taea te whakahuri. Ko tenei na te mea kaore e taea te whakakii i nga mea kotahi ki te waahi whakairo. Na reira, i roto i te mahi hangahanga semiconductor, he mea nui te tarai ki te whakatau i te hua me te kounga o te hua.
E waru nga kaupae i roto i te tukanga tuhi: ISO, BG, BLC, GBL, SNC, M0, SN me MLM.
Tuatahi, ko te atamira ISO (Isolation) ka werohia (Etch) silicon (Si) i runga i te angiangi hei hanga i te waahi putau hohe. Ko te atamira BG (Buried Gate) te rarangi wahitau rarangi (Word Raina) 1 me te keeti hei hanga hongere hiko. I muri mai, ka hangaia e te BLC (Bit Line Contact) te hononga i waenga i te ISO me te rarangi wahitau tīwae (Raina Moka) 2 i roto i te waahi pūtau. Ko te atamira GBL (Peri Gate+Cell Bit Raina) ka hanga i te wa kotahi te raina wahitau poutau me te keeti kei te taha 3.
Ko te waahi SNC (Storage Node Contract) kei te hanga tonu i te hononga i waenga i te waahi kaha me te waahi rokiroki 4. I muri mai, ka hangaia e te waahi M0 (Metal0) nga waahi hononga o te S/D peripheral (Storage Node) 5 me nga tohu hononga. i waenganui i te raina wāhitau tīwae me te kōpuku rokiroki. Ko te atamira SN (Storage Node) e whakapumau ana i te kaha o te waeine, a ko te wahanga MLM (Multi Layer Metal) o muri mai ka hangaia te hiko o waho me nga waea waea o roto, ka oti te mahi miihini katoa (Etch).
I te mea ko nga kaitoi etching (Etch) te nuinga o te kawenga mo te tauira o nga semiconductors, ka wehewehea te tari DRAM ki nga roopu e toru: Front Etch (ISO, BG, BLC); Waenga Etch (GBL, SNC, M0); Whakamutunga Etch (SN, MLM). Ka wehewehea ano enei roopu i runga i nga waahi hangahanga me nga waahi taputapu.
Ko nga tuunga hangahanga te kawenga mo te whakahaere me te whakapai ake i nga tikanga whakaputa waahanga. Ko nga waahi hangahanga he waahi nui ki te whakapai ake i nga hua me te kounga o nga hua ma te mana rereke me etahi atu tikanga arotautanga whakaputa.
Ko nga tuunga taputapu te kawenga mo te whakahaere me te whakapakari i nga taputapu hanga hei karo i nga raru ka puta mai i te wa o te mahi tarai. Ko te kawenga matua o nga waahi taputapu ko te whakarite i te mahi tino pai o nga taputapu.
Ahakoa he marama nga kawenga, ka mahi nga roopu katoa ki te whainga kotahi - ara, ki te whakahaere me te whakapai ake i nga tikanga whakaputa me nga taputapu e pa ana ki te whakapai ake i te hua. Mo tenei kaupapa, ka tohatohahia e ia roopu a raatau ake whakatutukitanga me nga waahanga hei whakapai ake, me te mahi tahi ki te whakapai ake i nga mahi pakihi.
Me pehea te whakatutuki i nga wero o te hangarau iti
I timata a SK Hynix ki te whakaputa papatipu o nga hua 8Gb LPDDR4 DRAM mo te tukanga akomanga 10nm (1a) i te Hūrae 2021.
Ko nga tauira ara iahiko mahara Semiconductor kua uru ki te waa 10nm, a, i muri i nga whakapainga, ka taea e te DRAM kotahi te whakauru mo te 10,000 nga pūtau. No reira, ahakoa i roto i te tukanga etching, he iti te tawhē tukanga.
Mena he iti rawa te kohao i hangaia (Kohanga) 6, ka ahua "kaore i tuwhera" ka aukati i te waahanga o raro o te maramara. I tua atu, mehemea he nui rawa te poka i hangaia, ka puta pea te "piringa". Ki te kore e ranea te aputa i waenga i nga rua e rua, ka puta te "piringa", ka puta he raruraru piri tahi i roto i nga waahanga o muri. I te mea ka kaha haere nga semiconductors, ka iti haere te whānuitanga o nga uara rahi o te kohao, a ka whakakorea enei raru.
Hei whakaoti i nga raruraru o runga ake nei, kei te whakapai tonu nga tohunga hangarau weriweri i te mahi, tae atu ki te whakarereke i te tunu tunu me te APC7 algorithm, me te whakauru i nga hangarau whakairo hou penei i te ADCC8 me te LSR9.
I te mea ka rere ke te hiahia o nga kaihoko, kua ara ake ano tetahi wero - ko te ahua o te whakaputa hua maha. Hei whakatutuki i nga hiahia o nga kaihoko, me whakarite motuhake nga tikanga whakahaere mo ia hua. He wero motuhake tenei mo nga miihini na te mea me hanga e ratou nga hangarau whakangao papatipu kia tutuki nga hiahia o nga ahuatanga kua whakaritea me nga ahuatanga rereke.
I tenei mutunga, i whakauruhia e nga miihini Etch te hangarau "APC offset" 10 ki te whakahaere i nga momo pärönaki i runga i nga hua matua (Core Products), me te whakarite me te whakamahi i te "T-index system" ki te whakahaere whanui i nga momo hua. Na enei mahi, kua whakapai tonu te punaha ki te whakatutuki i nga hiahia o te whakaputa hua maha.
Wā tuku: Hūrae-16-2024