1. Tirohanga
Ko te whakamahana, e mohiotia ana ko te tukatuka waiariki, e pa ana ki nga tikanga whakangao e mahi ana i nga wera nui, i te nuinga o te waa teitei ake i te rewa o te konumohe.
Ko te tikanga whakamahana ka mahia i roto i te oumu teitei-te wera me te whakauru i nga tikanga nui penei i te waikura, te whakamaaramatanga parakore, me te whakamaarama mo te whakatikatika i nga koha karaihe i roto i te hanga semiconductor.
Haoraora: He tukanga e tuu ai he angiangi silicon ki roto i te hau o te waikura penei i te hāora, te kohu wai ranei mo te maimoatanga wera wera nui, ka puta he tauhohenga matū i runga i te mata o te angiangi silicon hei hanga i te kiriata waikura.
Te whakamaoritanga poke: e pa ana ki te whakamahi i nga tikanga whakamaarama waiariki i raro i nga ahuatanga o te pāmahana teitei ki te whakauru i nga huānga poke ki roto i te taputapu silicon kia rite ki nga whakaritenga o te tukanga, kia whai tohatoha kukū motuhake, na reira ka huri i nga ahuatanga hiko o te rauemi silicon.
E tohu ana te Annealing ki te mahi whakamahana i te angiangi silicon i muri i te whakaurunga katote ki te whakatika i nga hapa o te kurupae na te whakaurunga katote.
E toru nga momo taputapu e whakamahia ana mo te whakapouritanga/whakawhanaungatanga:
- Umu whakapae;
- Umu poutū;
- Umu whakawera tere: taputapu maimoatanga wera tere
Ko nga tikanga maimoatanga wera tuku iho ko te nuinga o te waa roa ki te whakakore i te kino i puta mai i te whakaurunga o te katote, engari ko ona ngoikoretanga ko te tango i nga hapa kaore i oti me te iti o te kaha o te whakahohenga o nga poke kua whakauruhia.
I tua atu, na te nui o te wera me te roa o te wa, ka puta ano te tohatoha o te poke, ka pakaru te nui o nga poke me te kore e tutuki i nga whakaritenga o nga hononga papaku me te tohatoha paru kuiti.
Ko te whakamaarama tere o te waiariki o nga katote-whakatoo angiangi ma te whakamahi i nga taputapu tukatuka waiariki tere (RTP) he tikanga maimoatanga wera e whakamahana ana i te katoa o te angiangi ki tetahi pāmahana (te tikanga 400-1300°C) i roto i te wa poto rawa.
Ka whakatauritea ki te whakamahana whakamahana o te oumu, he iti ake te tahua waiariki, he iti ake te awhe o nga nekehanga poke i roto i te waahi doping, he iti ake te parahanga me te wa poto o te tukatuka.
Ka taea e te tukanga whakamaarama wera tere te whakamahi i nga momo puna hiko, a he tino whanui te awhe o te wa whakahiato (mai i te 100 ki te 10-9s, penei i te rama rama, te whakahiato laser, me etahi atu). Ka taea e ia te whakahohe i nga poke i te wa e peehi pai ana te tohatoha o te poke. I tenei wa e whakamahia nuitia ana i roto i nga mahi whakangao ara iahiko whakauru teitei me nga diameter wafer nui atu i te 200mm.
2. Te tukanga whakamahana tuarua
2.1 Te hātepe hāora
I roto i te tukanga whakahiato ara iahiko, e rua nga tikanga mo te hanga kiriata waikura silicon: te waiariki waiariki me te waipara.
Ko te hātepe hāoratanga e pā ana ki te hātepe o te hanga SiO2 i runga i te mata o te angiangi silicon mā te waiariki hāora. Ko te kiriata SiO2 i hangaia e te waiariki waiariki e whakamahia nuitia ana i roto i nga mahi whakangao ara iahiko na te mea he pai ake nga ahuatanga o te whakamaarama hiko me te whai waahi ki te mahi.
Ko ona tono tino nui e whai ake nei:
- Tiakihia nga taputapu mai i te pakaru me te poke;
- Te whakaiti i te wehenga mara o nga kaikawe kua utaina (te paahitanga o te mata);
- Ko nga taonga dielectric i roto i te kuaha waikura, i nga hanganga pūtau rokiroki ranei;
- Te whakakikorua i roto i te doping;
- He paparanga dielectric i waenga i nga papa whakarewa whakarewa.
(1)Te whakamarumaru o te taputapu me te wehe
Ko te SiO2 i tupu i runga i te mata o te angiangi (te angiangi angiangi) ka noho hei paparanga arai whai hua hei wehe me te tiaki i nga taputapu tairongo i roto i te silicon.
Na te mea ko te SiO2 he mea uaua me te kore-porous (matotoru), ka taea te whakamahi hei wehe i nga taputapu kaha i runga i te mata silicon. Ko te paparanga SiO2 pakeke ka tiaki i te wafer silicon mai i nga pakaru me nga kino ka puta i te wa o te mahi hangahanga.
(2)Te hianga o te mata
Te ngongo o te mata Ko te painga nui o te SiO2 kua whakatipuhia i te waiariki ka taea e ia te whakaiti i te kiato o te mata o te silicon ma te aukati i ona here tarewa, he paanga e kiia nei ko te ngongo mata.
Ka aukati i te paheketanga o te hiko me te whakaiti i te huarahi mo te rerenga rerenga na te makuku, nga katote me etahi atu parakino o waho. Ko te paparanga SiO2 pakeke e tiaki i a Si mai i nga pakaru me nga mahi kino ka puta pea i muri i te whakaputanga.
Ko te paparanga SiO2 i tupu i runga i te mata Si ka taea te here i nga pokenga hiko hiko (te poke katote pūkoro) i runga i te mata Si. He mea nui ano te passivation mo te whakahaere i te rerenga rerenga o nga taputapu honohono me te whakatipu waikura kuaha pumau.
I te mea he paparanga passivation-kounga teitei, ko te paparanga waikura he whakaritenga kounga penei i te matotoru rite, kahore he kohao me te kore.
Ko tetahi atu take mo te whakamahi i te paparanga waikura hei paparanga paheketanga mata Si ko te matotoru o te paparanga waikura. Me tino matotoru te paparanga waikura kia kore ai e utu te paparanga whakarewa na te whakaemi utu i runga i te mata silicon, he rite ki te penapena utu me nga ahuatanga pakaru o nga punga hiko.
He rite ano te whakarea o te roha waiariki ki te SiO2. Ka whakawhānui ake nga angiangi Silicon i roto i nga tukanga pāmahana teitei me te kirimana i te wa e whakamahana ana.
Ko te SiO2 ka whakawhānui, ka kirimana ranei i te reiti e tata ana ki tera o Si, e whakaiti ana i te paheketanga o te wafer silicon i te wa o te waariki. Ka karo ano tenei i te wehenga o te kiriata waikura mai i te mata silicon na te taumaha o te kiriata.
(3)Te keti waikura dielectric
Mo te hanganga waikura o te kuaha e whakamahia nuitia ana i roto i te hangarau MOS, ka whakamahia he papanga waikura tino kikokore hei rauemi dielectric. I te mea ko te paparanga waikura o te kuaha me te Si kei raro nei nga ahuatanga o te kounga teitei me te pumau, ko te paparanga waikura kuaha te tikanga ka whiwhi i te tipu waiariki.
Ko te SiO2 he kaha dielectric teitei (107V/m) me te parenga teitei (mo te 1017Ω·cm).
Ko te matua ki te pono o nga taputapu MOS ko te tika o te paparanga waikura kuaha. Ko te hanganga kuaha i roto i nga taputapu MOS e whakahaere ana i te rere o naianei. Na te mea ko tenei waikura te putake mo te mahi o nga miihini miihini i runga i te hangarau-a-marae,
Na reira, ko te kounga teitei, ko te pai o te ahua o te matotoru o te kiriata me te kore o nga poke ko ona whakaritenga taketake. Ko nga mea poke ka whakaheke i te mahi o te hanganga waikura kuaha me tino whakahaere.
(4)Arai doping
Ka taea te whakamahi i te SiO2 hei paparanga huna whai hua mo te doping whiriwhiri o te mata silicon. I te wa ka hangahia he paparanga waikura ki runga i te mata silicon, ka taraihia te SiO2 i roto i te waahanga maramara o te kanohi hei hanga i te matapihi e uru ai te taonga doping ki roto i te angiangi silicon.
Ki te kore he matapihi, ka taea e te waikura te tiaki i te mata silicon me te aukati i nga poke kia kore e marara, na reira ka taea te whakaurunga poke.
He puhoi te neke o te Dopants i roto i te SiO2 ki te Si, no reira he paparanga waikura angiangi anake e hiahiatia ana hei aukati i nga dopants (kia mahara ko tenei reiti ka whakawhirinaki ki te pāmahana).
Ka taea hoki te whakamahi i te paparanga waikura angiangi (hei tauira, 150 Å te matotoru) ki nga waahi e hiahiatia ana te whakauru katote, ka taea te whakamahi hei whakaiti i te kino o te mata kirikiri.
Ka taea hoki te pai ake te whakahaere i te hohonutanga o te hononga i te wa e whakatohia ana te poke ma te whakaiti i te paanga o te hongere. Whai muri i te whakatō, ka taea te tango i te waikura ki te waikawa waiwaro hei hanga i te mata silicon kia papatahi ano.
(5)Paparanga dielectric i waenga i nga papa whakarewa
Karekau a SiO2 e whakahaere hiko i raro i nga tikanga noa, na reira he insulator whai hua i waenga i nga papa whakarewa i roto i nga miihiniiti. Ka taea e SiO2 te aukati i nga waahi poto i waenga i te paparanga whakarewa o runga me te paparanga whakarewa o raro, penei ano ko te insulator i runga i te waea ka taea te aukati i nga iahiko poto.
Ko te whakaritenga kounga mo te waikura ko te kore o nga kohao me nga kohao. I te nuinga o te wa ka dopedhia kia pai ake te rere o te wai, ka pai ake te whakaiti i te whakamaaramatanga poke. I te nuinga o te wa ka whiwhi mai i te waiariki matū kaore i te tipu waiariki.
I runga i te hau tauhohenga, ka wehea te tukanga waiora ki:
- Te hāora hāora maroke: Si + O2→SiO2;
- Te hāora hāora mākū: 2H2O (kohu wai) + Si→SiO2+2H2;
- Te waikura-doped chlorine: Ko te hau maaota, penei i te hauwai hauwai (HCl), te dichlorethylene DCE (C2H2Cl2) me ona huanga, ka taapirihia ki te hāora hei whakapai ake i te tere o te waikura me te kounga o te paparanga waikura.
(1)Te tukanga hāora hāora maroke: Ko nga ngota ngota hāora i roto i te hau tauhohenga ka marara ki roto i te paparanga waikura kua oti te hanga, ka tae ki te atanga i waenga i te SiO2 me te Si, ka tauhohe ki te Si, katahi ka hanga he paparanga SiO2.
Ko te SiO2 kua whakaritea e te whakamaroke hāora maroke he hanganga mātotoru, he rite te matotoru, he kaha ki te huna mo te werohanga me te whakamaarama, me te tukurua o te tukanga. Ko tana kino ko te tere o te tipu.
Ko te tikanga ka whakamahia tenei tikanga mo te waikura-kounga teitei, penei i te whakapouritanga dielectric kuaha, te waikura paparanga papaa angiangi, mo te timata ranei i te waikura me te whakamutu i te waikura i te wa o te waikura paparanga paparanga matotoru.
(2)Te hātepe hāora mākū: Ka taea te kawe tika i te kohu wai i roto i te hāora, ka taea ranei ma te tauhohenga o te hauwai me te hāora. Ka taea te whakarereke i te tere o te waikura ma te whakatikatika i te owehenga pehanga wahanga o te hauwai, te kohu wai ranei ki te hāora.
Kia mahara kia noho haumaru, kaua te ōwehenga o te hauwai ki te hāora e neke ake i te 1.88:1. Ko te hāora hāora mākū nā te noho o te hāora me te kohu wai i roto i te hau tauhohenga, ka pirau te kohu wai ki te hauwai waikura (HO) i te pāmahana teitei.
He tere ake te tere o te haukoha hauwai i roto i te waikura silicon oxide i tera o te hāora, no reira ko te reiti whakapouri hāora mākū he tata ki te kotahi te rahinga teitei ake i te tere hāora hāora maroke.
(3)Te hātepe hāora waiora-doped: I tua atu i nga tikanga tuku iho o te hāora hāora maroke me te hāora hāora mākū, ko te hau māota, pērā i te hauwai pūhaumāota (HCl), te dichlorethylene DCE (C2H2Cl2) me ōna pärōnaki, ka taea te tāpiri ki te hāora hei whakapai ake i te tere o te hāora me te kounga o te paparanga waikura. .
Ko te take nui mo te pikinga o te tere o te waikura ko te mea ka taapirihia te maaota mo te waikura, ehara i te mea kei roto noa i te reactant te kohu wai ka taea te whakatere i te waiora, engari ka whakaemi ano hoki te maaota ki te taha o te atanga i waenga i a Si me SiO2. I te aroaro o te hāora, ka ngawari te huri i nga pūhui chlorosilicon ki te waikura silicon, ka taea te whakakorikori i te waikura.
Ko te take nui mo te whakapai ake i te kounga o te paparanga waikura ka taea e nga ngota chlorine i roto i te paparanga waikura te pure i te mahi o nga katote konutai, na reira ka whakaiti i nga hapa o te waikura i whakauruhia e te konutai katote konutai o nga taputapu me te tukatuka i nga rauemi mata. No reira, ka uru te doping chlorine ki te nuinga o nga tukanga whakamaroke hāora maroke.
2.2 Te tukanga tiritiri
Ko te tohatoha tuku iho e pa ana ki te whakawhitinga o nga matū mai i nga waahi teitei ake ki nga waahi iti ake kia tohatoha noa. Ka whai te tukanga tiritiri i te ture a Fick. Ka puta te tiritiritanga i waenganui i nga matū e rua, neke atu ranei, a na te kukū me te rereketanga o te pāmahana i waenga i nga waahi rereke ka akiaki i te tohatoha o nga matū ki te ahua taurite rite.
Ko tetahi o nga mea tino nui o nga rawa semiconductor ka taea te whakarereke i o raatau kawe ma te taapiri i nga momo rereke, i nga kukū ranei o te dopants. I roto i nga mahi hanga taiawhio whakauru, ko te tikanga ka tutuki tenei mahi ma te mahi doping me nga tikanga whakamaarama.
I runga ano i nga whaainga hoahoa, ka taea e nga rauemi semiconductor penei i te silicon, germanium, III-V pūhui ranei te whiwhi i nga momo momo semiconductor e rua, momo-N, momo-P ranei, ma te doping me nga poke o te kaituku, te poke tango ranei.
Ko te doping Semiconductor te nuinga o te whakahaere ma roto i nga tikanga e rua: te whakamaarama, te whakaurunga katote ranei, ia tangata me ona ake ahuatanga:
He iti ake te utu o te doping diffusion, engari ko te kukū me te hohonu o te rauemi doping kaore e taea te whakahaere tika;
Ahakoa he ahua utu nui te whakaurunga katote, ka taea e ia te whakahaere tika i nga whakaaturanga tohanga dopant.
I mua i te tekau tau atu i 1970, ko te rahi o nga whakairoiro ara iahiko whakauru i runga i te ota 10μm, a ko te hangarau whakamaarama waiariki tuku iho i whakamahia mo te doping.
Ko te tikanga whakamaoritanga ka whakamahia te nuinga ki te whakarereke i nga rawa semiconductor. Ma te whakamaarama i nga matū rereke ki roto i nga rauemi semiconductor, ka taea te whakarereke i te kawe me etahi atu ahuatanga o te tinana.
Hei tauira, ma te whakamaarama i te boron huānga tapatoru ki roto i te silicon, ka hangaia he semiconductor momo-P; na roto i te doping huānga pentavalent he ūkuikui, arsenic ranei, ka hangaia he momo-N. I te wa e pa ana tetahi momo hiko-P me te maha atu o nga kohao ki te momo-N me te maha atu o nga irahiko, ka hanga he hononga PN.
Ka iti haere te rahi o nga ahuatanga, ka taea e te tukinga whakamaoritanga isotropic ka taea e nga dopants ki te ruri ki tera taha o te paparanga waikura maru, ka puta he poto i waenga i nga rohe tata.
Haunga mo etahi whakamahinga motuhake (penei i te whakamaaramatanga mo te wa-roa ki te hanga i nga waahi ohaoha-a-te-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-waa.
Heoi, i roto i te whakatipuranga hangarau i raro iho i te 10nm, na te mea he iti rawa te rahi o te Fin i roto i te taputapu transistor (FinFET) e toru-ahu, he iti rawa, ka pakaru te hanganga katote i tana hanganga iti. Ka taea e te whakamahi i te tukanga tohatoha puna totoka te whakaoti rapanga.
2.3 Te tukanga whakaheke
Ka kiia hoki ko te mahi annealing ko te waiariki. Ko te tukanga ko te tuu i te angiangi silicon ki roto i te taiao teitei o te pāmahana mo etahi wa hei whakarereke i te microstructure i runga i te mata, i roto ranei o te angiangi silicon ki te whakatutuki i tetahi kaupapa tukanga motuhake.
Ko nga tawhā tino nui i roto i te tukanga annealing ko te pāmahana me te wa. Ko te teitei ake o te pāmahana me te roa o te wa, ka teitei ake te tahua waiariki.
I roto i nga mahi whakangao iahiko whakauru, ka tino whakahaerehia te tahua waiariki. Mena he maha nga tukanga annealing i roto i te rere o te tukanga, ka taea te whakaatu i te tahua waiariki hei superposition o nga maimoatanga wera maha.
Heoi ano, na te iti o nga pona tukanga, ka iti ake te tahua waiariki e whakaaetia ana i roto i te mahi katoa, ara, ka heke iho te pāmahana o te tukanga waiariki teitei, ka poto ake te wa.
I te nuinga o te waa, ka honoa te mahi whakahiato me te whakaurunga katote, te whakatakotoranga kiriata angiangi, te hanga o te silicide whakarewa me etahi atu tukanga. Ko te mea tino noa ko te waiariki i muri i te whakaurunga katote.
Ko te whakaurunga o te katote ka pa ki nga ngota tïpako, ka mawehe atu i te hanga whakahoahoa taketake, ka pakaru i te mahanga o te tïpako. Ka taea e te weriweri ngaariki te whakatika i te kino o te kurupae na te whakaurunga katote, ka taea hoki te neke i nga ngota poke i whakatohia mai i nga aputa kurupae ki nga waahi maataki, na reira ka whakahohehia.
Ko te pāmahana e hiahiatia ana mo te whakatikatika i te kino o te kurupae he tata ki te 500°C, a ko te pāmahana e hiahiatia ana mo te whakahohenga poke he tata ki te 950°C. I roto i te ariā, ko te roa o te wa whakapouri me te teitei ake o te pāmahana, ka piki ake te tere o te whakahohenga o nga poke, engari he nui rawa te tahua waiariki ka nui te tohatoha o nga poke, ka kore e taea te whakahaere me te mutunga ka paheke te mahi o te taputapu me te ara iahiko.
No reira, na te whanaketanga o te hangarau whakangao, kua whakakapia te whakamaaramatanga o te oumu mo te wa roa ki te whakamaarama wera tere (RTA).
I roto i te mahi whakangao, me uru etahi kiriata motuhake ki te whakamaarama waiariki i muri i te tukunga ki te whakarereke i etahi ahuatanga tinana, matū ranei o te kiriata. Hei tauira, ka matotoru te kiriata wetewete, ka huri i te tere o te tarai maroke, makuku ranei;
Ko tetahi atu mahi whakaeneene e whakamahia nuitia ana ka puta i te wa o te hanganga o te silicide whakarewa. Ko nga kiriata whakarewa penei i te cobalt, nickel, titanium, me etahi atu ka pupuhi ki runga i te mata o te angiangi silicon, a, i muri i te tere o te wera wera i te iti o te pāmahana, ka taea e te whakarewa me te silicon te hanga koranu.
Ko etahi momo konganuku ka hanga i nga wahanga koranu rereke i raro i nga ahuatanga o te pāmahana. I te nuinga o te waa, ko te tumanako ka hanga he wahanga koranu me te iti ake o te parenga whakapā me te aukati tinana i te wa e mahi ana.
E ai ki nga whakaritenga tahua waiariki rereke, ka wehea te tukanga whakahiato ki te wera o te oumu wera me te tere tere.
- High pāmahana umu ngongo annealing:
He tikanga whakapouri tuku iho me te nui o te pāmahana, te wa roa me te nui o te tahua.
I etahi tukanga motuhake, penei i te hangarau wehe i te werohanga o te hāora mo te whakarite i nga taputapu SOI me nga tukanga whakamaarama hohonu-pai, ka whakamahia nuitia. Ko nga tikanga pera me nui ake te tahua waiariki kia whiwhi ai i te reeti tino pai, te tohatoha poke ranei.
- Rapid Thermal Annealing:
Ko te tukanga o te tukatuka i nga wafers silicon ma te tino tere whakawera/te whakamatao me te noho poto i te paemahana kua whakaritea, i etahi wa ka kiia ko te Rapid Thermal Processing (RTP).
I roto i te hanga i nga hononga ultra-papaku, ka tere te whakamaaramatanga o te waiariki ki te arotautanga i waenga i te whakatikatika i te koha reanga, te whakahohenga poke, me te whakaiti i te whakamaaramatanga o te poke, a he mea nui ki te hanga i nga waahanga hangarau matatau.
Ko te tikanga o te pikinga/te hekenga o te pāmahana me te noho poto ki te paemahana kua whakaritea ko te tahua waiariki o te whakahiato tere.
He 1000°C te mahana o te waiariki tere tuku iho, ka roa te roa. I roto i nga tau tata nei, kua kaha haere nga whakaritenga mo te whakamaarama wera tere, a, kua whanake haere te whakamaarama hiko, te whakahiato o te koikoi, me te whakamaarama laser, me nga wa whakangao ka eke ki te milliseconds, me te ahu whakamua ki nga microseconds me te iti-microseconds.
3. E toru nga taputapu tukanga whakamahana
3.1 Nga taputapu whakamaarama me te waikura
Ko te tikanga whakamaoritanga te tikanga o te whakamaarama wera i raro i te pāmahana teitei (te nuinga o te 900-1200 ℃) nga tikanga ki te whakauru i nga mea poke ki roto i te taputapu silicon i te hohonu e hiahiatia ana kia hoatu he tohatoha kukū motuhake, hei whakarereke i nga ahuatanga hiko o te rauemi me te hanga i te hanganga taputapu semiconductor.
I roto i te hangarau hiko hiko hiko, ka whakamahia te tukanga whakamaarama ki te hanga hononga PN me nga waahanga penei i nga parenga, nga puri, nga waea honohono, nga diodes me nga transistors i roto i nga waahanga whakauru, ka whakamahia hoki mo te wehe i waenga i nga waahanga.
Na te kore e kaha ki te whakahaere tika i te tohatoha o te kukū doping, kua whakakapihia te tukanga diffusion e te tukanga doping implantation katote i roto i te hanga i nga waahanga whakauru me nga diameter wafer o te 200 mm me runga ake, engari he iti noa te whakamahi i te taumaha. nga tukanga doping.
Ko nga taputapu whakamaarama tawhito ko te nuinga o nga oumu whakamaarama whakapae, a he iti ano nga oumu whakamaarama poutū.
Umu horahanga whakapae:
He taputapu whakamaarama wera e whakamahia nuitia ana i roto i te mahi whakamaaramatanga o nga iahiko whakauru me te diameter wafer iti iho i te 200mm. Ko ona ahuatanga ko te tinana o te oumu whakawera, te ngongo tauhohenga me te poti kiripaka e mau ana i nga angiangi kua whakatakotoria katoa ki te taha whakapae, na reira kei a ia nga ahuatanga tukanga o te riterite pai i waenga i nga angiangi.
Ehara i te mea ko tetahi o nga taputapu nui o mua i runga i te raina whakaputa ara iahiko whakauru, engari e whakamahia whanuitia ana i roto i te whakamaaramatanga, te waikura, te annealing, te whakakotahi me etahi atu tukanga i roto i nga ahumahi penei i nga taputapu motuhake, nga taputapu hiko hiko, nga taputapu optoelectronic me nga muka whatu. .
Umu turingiringi poutū:
Ko te tikanga e pa ana ki tetahi taputapu maimoatanga wera puranga e whakamahia ana i roto i te tukanga ara iahiko whakauru mo nga angiangi me te diameter o te 200mm me te 300mm, e mohiotia ana ko te oumu poutū.
Ko nga ahuatanga hanganga o te oumu whakamaarama poutū ko te tinana o te oumu whakawera, te ngongo tauhohenga me te poti kiripaka e mau ana i te angiangi kua tuu poutū katoa, ka whakatakotoria te angiangi ki te whakapae. Kei a ia nga ahuatanga o te riterite pai i roto i te angiangi, te tohu teitei o te automation, me te mahinga o te punaha, ka taea te whakatutuki i nga hiahia o nga raina whakaputa ara iahiko whakauru nui.
Ko te oumu diffusion poutū tetahi o nga taputapu nui i roto i te raina whakangao hiko whakauru semiconductor me te whakamahia hoki i roto i nga tikanga e pa ana ki nga waahi o nga taputapu hiko hiko (IGBT) me era atu.
Ko te oumu diffusion poutū e pa ana ki nga tukanga o te waikura penei i te whakamaroke hāora maroke, te whakahiatotanga hauwai-hauora, te hiraka oxynitride oxidation, me nga tukanga tipu kiriata angiangi penei i te hiraka hauhā, te polysilicon, te silicon nitride (Si3N4), me te whakahekenga paparanga ngota.
Kei te whakamahia nuitia i roto i te whakamahana teitei o te pāmahana, te whakahiato parahi me nga tukanga whakauru. Mo nga tikanga whakamaoritanga, ka whakamahia ano nga oumu whakamaarama poutū i etahi wa i roto i nga tukanga doping taumaha.
3.2 Nga taputapu whakaeneene tere
Ko nga taputapu Tukatuka Tukatuka Tere (RTP) he taputapu maimoatanga wera-wafer kotahi ka taea te tere ake i te pāmahana o te angiangi ki te pāmahana e hiahiatia ana e te tukanga (200-1300 ° C) ka tere te whakamatao. Ko te tikanga whakamahana / whakamahana he 20-250°C/s.
I tua atu i te whānuitanga o nga puna hiko me te wa whakangao, he pai rawa atu nga mahinga o nga taputapu RTP, penei i te pai o te whakahaere tahua waiariki me te pai ake o te riterite o te mata (ina koa mo nga wafers rahi-rahi), te whakatika i te kino angiangi na te whakaurunga katote, me Ka taea e nga ruma maha te whakahaere i nga waahanga tukanga rereke i te wa kotahi.
I tua atu, ka taea e nga taputapu RTP te whakarereke me te tere te huri me te whakatika i nga hau tukanga, kia taea ai te whakaoti i nga tukanga maimoatanga wera maha i roto i te tukanga maimoatanga wera ano.
Ko nga taputapu RTP e whakamahia nuitia ana i roto i te whakamaarama wera tere (RTA). Whai muri i te whakaurunga katote, ka hiahiatia nga taputapu RTP ki te whakatika i nga kino i puta mai i te whakaurunga katote, te whakahohe i nga iraoho doped me te aukati i te whakamaaramatanga poke.
I te nuinga o te korero, ko te pāmahana mo te whakatika i nga koha o te kurupae he tata ki te 500°C, ko te 950°C e hiahiatia ana mo te whakahohe i nga ngota doped. Ko te whakahohenga o nga poke e pa ana ki te wa me te pāmahana. Ko te roa o te waa me te teitei ake o te pāmahana, ka kaha ake te whakahoe i nga poke, engari kaore e pai ki te aukati i te tohatoha o nga poke.
Na te mea kei nga taputapu RTP nga ahuatanga o te pikinga tere / hinga me te wa poto, ka taea e te mahi annealing i muri i te whakaurunga o te katote te kowhiringa tawhā tino pai i waenga i te whakatikatika hapa o te kurupae, te whakahohenga poke me te whakakorenga parakore.
Kua wehea te RTA ki nga waahanga e wha e whai ake nei:
(1)Te Whakawhanawhana
Ko tana ahuatanga ko te aro ki te tere whakawera/te whakamatao, engari ko te tikanga karekau he tikanga tiaki wera. He wa poto rawa te mahi a te koikoi ki te waahi teitei o te pāmahana, a ko tana mahi matua ko te whakahohe i nga huānga doping.
I roto i nga tono tuuturu, ka tere te wera o te angiangi mai i tetahi ira pāmahana tutatari pumau, ka whakamatao tonu i muri i te ekenga ki te taumata pāmahana.
I te mea he poto rawa te wa tiaki i te waahi pāmahana whainga (arā, ko te pito teitei o te pāmahana), ka taea e te mahi whakaeneene te whakanui ake i te tohu o te whakahoenga poke me te whakaiti i te tohu o te whakamaaramatanga poke, i te mea he pai nga ahuatanga whakatikatika annealing, ka piki ake. te kounga hononga me te naianei leakage iti.
Kei te whakamahia nuitia te whakahiato tiihi i roto i nga tukanga hononga ultra-papaku i muri i te 65nm. Ko nga tawhā o te tukanga o te whakakorikori koikoi ko te nuinga o te pāmahana teitei, te wa noho teitei, te rereketanga o te pāmahana me te aukati angiangi i muri i te mahi.
Ko te poto ake o te waa noho teitei, ko te pai ake. Ko te nuinga ka whakawhirinaki ki te tere whakawera / whakamatao o te punaha whakahaere pāmahana, engari ko te hau hau o te tukanga kua tohua i etahi wa ka whai paanga ano ki runga.
Hei tauira, he iti te rōrahi ngota me te tere o te tohatoha o te helium, he pai ki te whakawhiti wera tere me te rite, ka taea te whakaiti i te whanui o te tihi, te wa noho teitei ranei. No reira, i etahi wa ka whiriwhiria te helium hei awhina i te whakamahana me te whakamatao.
(2)Rame Whakawhana
Kei te whakamahia nuitia te hangarau whakaene rama. Ka whakamahia nga rama halogen hei puna wera tere. Ko o raatau reiti whakawera / whakamahana me te mana o te pāmahana tika ka taea te whakatutuki i nga whakaritenga o nga mahi whakangao i runga ake i te 65nm.
Engari, kaore e taea e ia te tino whakatutuki i nga whakaritenga kaha o te tukanga 45nm (i muri i te tukanga 45nm, ka puta te whakapiri nickel-silicon o te LSI arorau, me tere te wera o te wafer mai i te 200 ° C ki runga i te 1000 ° C i roto i nga milliseconds, no reira e hiahiatia ana te whakaene taiaho).
(3)Taiaho Annealing
Ko te whakaene taiaho te tikanga o te whakamahi tika i te taiaho kia tere ake ai te mahana o te mata o te angiangi kia ranea ki te whakarewa i te karaihe silicon, ka tino whakahoahohia.
Ko nga painga o te whakamahana laser he tino tere te whakamahana me te mana tairongo. Kaore e hiahiatia te whakamahana kakawaea me te mea kaore he raru mo te takamuri o te pāmahana me te ora o te kakawaea.
Heoi, mai i te tirohanga hangarau, ko te whakaene taiaho he rerenga o naianei me nga toenga koha o nga raru, ka whai paanga ano ki te mahi o te taputapu.
(4)Kohiko Anaaling
Ko te weneweke uira he hangarau whakaeneene e whakamahi ana i te iraruke kaha-nui ki te mahi i te weneweke koikoi i runga i nga wafers i te pāmahana whakamahana.
Ka whakamahanahia te angiangi ki te 600-800°C, katahi ka whakamahia te iraruke kaha-nui mo te wa poto. Ka eke te teitei o te pāmahana o te angiangi ki te pāmahana whakaene e hiahiatia ana, ka weto tonu te iraruke.
Kei te kaha haere nga taputapu RTP i roto i nga mahi hanga ara iahiko whakauru.
I tua atu i te whakamahia nuitia i roto i nga tukanga RTA, kua timata ano nga taputapu RTP ki te whakamahi i roto i te tere o te waiariki o te waiariki, te tere o te waiariki, te tere o te werawera, te tere o te waiariki matū, me te whakangao silicide whakarewa me nga tukanga epitaxial.
——————————————————————————————————————————————— ——
Ka taea e Semicera te whakaratonga waahanga kauwhata,ngawari/mārō te rongo,nga waahanga carbide silicon,Ko nga waahanga carbide silicon CVD, aSiC/TaC nga waahanga kua paniame te tukanga semiconductor katoa i roto i nga ra 30.
Mena kei te pirangi koe ki nga hua semiconductor o runga ake nei,kaua koe e mangere ki te whakapiri mai ki a maatau i te wa tuatahi.
Waea: +86-13373889683
WhatsApp: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Te wa tuku: Akuhata-27-2024