Kei te mohio tatou, i roto i te mara semiconductor, ko te kirikiri kiriata kotahi (Si) te mea tino whakamahia me te nui rawa atu o nga rauemi semiconductor i te ao. I tenei wa, neke atu i te 90% o nga hua semiconductor e hangaia ana ma te whakamahi i nga rauemi hanga-silicon. Na te piki haere o te hiahia mo nga taputapu hiko me te ngaohiko teitei i roto i te mara hiko hou, kua tukuna atu nga whakaritenga kaha mo nga tawhā matua o nga rauemi semiconductor penei i te whanui bandgap, te pakaru o te kaha o te mara hiko, te tere o te haunga irahiko, me te kawe wera. I raro i tenei ahuatanga, ko nga rauemi semiconductor whanui bandgap e tohuhia ana ecarbide silicon(SiC) kua puta ake ko te tino aroha o nga tono kiato mana nui.
Ka rite ki te semiconductor pūhui,carbide siliconhe tino onge te ahua me te ahua o te kohuke moissanite. I tenei wa, tata ki te katoa o te carbide silicon e hokona ana i te ao he mea whakahiatohia. Ko te Silicon carbide nga painga o te pakeke teitei, te kawe waiariki teitei, te pai o te waiariki, me te waahi hiko pakaru nui. He rauemi tino pai mo te hanga ngaohiko teitei me nga taputapu semiconductor teitei.
Na, me pehea e hangaia ai nga taputapu semiconductor hiko carbide hiko?
He aha te rereketanga i waenga i te mahi hanga taputapu carbide silicon me te tikanga hanga hangahanga mai i te kirika? Ka timata mai i tenei putanga, “Nga mea moPūrere Silicon CarbideManufacturing” ka whakaatu takitahi nga mea ngaro.
I
Tukatuka rere o te hanga taputapu carbide silicon
Ko te tikanga hanga o nga taputapu carbide silicon he rite tonu ki tera o nga taputapu hanga-silicon, te nuinga tae atu ki te whakaahua whakaahua, te horoi, te doping, te etching, te hanga kiriata, te angiangi me etahi atu tikanga. He maha nga kaihanga taputapu hiko ka taea te whakatutuki i nga hiahia whakangao o nga taputapu carbide silicon ma te whakahou i o raatau raina whakaputa i runga i te mahi hangahanga-a-silicon. Heoi, ko nga ahuatanga motuhake o nga rawa silicon carbide e whakatau ana me whakawhirinaki etahi o nga tukanga i roto i tana hanga taputapu ki nga taputapu motuhake mo te whakawhanaketanga motuhake kia taea ai e nga taputapu carbide silicon te tu ki te ngaohiko teitei me te teitei o te waa.
II
He kupu whakataki ki nga waahanga tukanga motuhake o te carbide silicon
Ko nga waahanga tukanga motuhake o te karbida silicon ka kapi te nuinga o te werohanga doping, te hanga o te kuaha, te hanga o te morphology, te whakarewa, me nga mahi angiangi.
(1) Te werohanga doping: Na te nui o te kaha here waro-siliconi i roto i te carbide silicon, he uaua ki te tihorea nga ngota poke i roto i te carbide silicon. I te wa e whakareri ana i nga taputapu carbide silicon, ka taea anake te whakatutuki i te doping o nga hononga PN ma te whakaurunga katote i te pāmahana teitei.
Ko te doping te nuinga o te mahi ki nga katote poke penei i te boron me te ūkuikui, ko te hohonutanga o te doping ko te nuinga o te 0.1μm~3μm. Ko te whakaurunga katote kaha nui ka whakangaro i te hanganga kupenga o te rawa carbide silicon. Ko te whakamaarama i te pāmahana teitei e hiahiatia ana hei whakatika i te kino o te kurupae na te whakaurunga o te katote me te whakahaere i te paanga o te whakaene ki runga i te taratara o te mata. Ko nga mahinga matua ko te whakaurunga katote teitei-te wera me te whakahiato-nui.
Whakaahua 1 Te hoahoa hoahoa o te whakaurunga katote me nga paanga o te wera-nui
(2) Te hanganga o te kuwaha: Ko te kounga o te atanga SiC / SiO2 he nui te awe ki te heke o te hongere me te pono o te kuwaha o MOSFET. He mea tika ki te whakawhanake i nga tikanga whakamaarama i muri mai i te whakamaaramatanga o te keeti hei utu mo nga here e tarewa ana i te atanga SiC/SiO2 me nga ngota motuhake (penei i nga ngota hauota) ki te whakatutuki i nga whakaritenga mahi o te atanga SiC/SiO2 kounga teitei me te teitei. te hekenga o nga taputapu. Ko nga tukanga matua ko te waikura o te kuaha te waikura teitei-te wera, te LPCVD, me te PECVD.
Whakaahua 2 Te hoahoa hoahoa o te waikura kiriata waikura noa me te werawera teitei
(3) Morphology etching: Ko nga rauemi Silicon carbide kei roto i nga whakarewa matū, ka taea anake te whakatutuki i te mana morphology ma roto i nga tikanga tarai maroke; Ko nga rauemi mata, ko te kowhiringa o te maataki kanohi, ko te hau whakauru, ko te whakahaere i te taha taha, ko te tere o te tarai, ko te taratara o te taha taha, me era atu mea me whakawhanake i runga i nga ahuatanga o nga rawa carbide silicon. Ko nga mahinga matua ko te waipara kiriata angiangi, te whakaahua whakaahua, te waikura kiriata dielectric, me nga tukanga tarai maroke.
Whakaahua 3 Te hoahoa hoahoa o te mahi hiri waro warowaiha
(4) Metallization: Ko te hiko puna o te taputapu e hiahia ana ki te whakarewa hei hanga i te whakapiri ohmic iti-atete ki te carbide silicon. Ehara i te mea ko te whakarite i te tikanga whakangao whakarewa me te whakahaere i te ahua atanga o te whakapiri whakarewa-haahiko, engari me hiahia ano hoki te whakamaarama teitei ki te whakaheke i te teitei arai Schottky me te whakatutuki i te whakapiri ohmic carbide whakarewa-silicon. Ko nga mahinga matua ko te pupuhi magnetron konganuku, te whakaetonga kurupae irahiko, me te whakamaarama tere.
Whakaatu 4 Hoahoa hoahoa o te maataapono pupuhi magnetron me te awe whakarewatanga
(5) Tukatuka Angiangi: Ko nga taonga Silicon carbide nga ahuatanga o te pakeke teitei, te pakaruhanga teitei me te uaua pakaru iti. Ko tana mahi huri ka pakaru te pakaru o nga rawa, ka pakaru te mata angiangi me te mata o raro. Me whakawhanake nga mahi huri huri hou hei whakatutuki i nga hiahia whakangao o nga taputapu carbide silicon. Ko nga mahinga matua ko te whakakikorua o te huri i nga kōpae, te piri kiriata me te tihorea, aha atu.
Whakaatu 5 Te hoahoa hoahoa o te maataapono oro angiangi/te angiangi
Te wa tuku: Oketopa-22-2024