Semicera Semiconductor Kei te whakaaro ki te whakanui ake i te hanga o nga waahanga matua mo nga taputapu hanga semiconductor puta noa i te ao. Hei te 2027, e whai ana matou ki te whakatu i tetahi wheketere hou 20,000 mita tapawha me te haumi katoa o te 70 miriona USD. Ko tetahi o a maatau waahanga matua, ko tete kaikawe angiangi kawa (SiC)., e mohiotia ana ano he susceptor, kua kite i nga ahunga whakamua nui. Na, he aha tenei paepae e pupuri ana i nga angiangi?
I roto i te mahi angiangi, ka hangaia nga paparanga epitaxial ki runga i etahi taputapu angiangi hei hanga taputapu. Hei tauira, kua rite nga paparanga epitaxial GaAs i runga i nga taputapu silicon mo nga taputapu LED, kua whakatipuhia nga paparanga epitaxial SiC i runga i nga taputapu SiC conductive mo nga tono hiko penei i nga SBD me nga MOSFET, me nga papa epitaxial GaN ka hangaia i runga i nga taputapu SiC semi-insulating mo nga tono RF penei i nga HEMT. . Ko tenei tukanga e tino whakawhirinaki anakohu matū waipara (CVD)taputapu.
I roto i nga taputapu CVD, kaore e taea te whakanoho tika i nga taputapu ki runga whakarewa, ki te turanga ngawari ranei mo te tuunga epitaxial na te maha o nga mea penei i te rere hau (whakapae, poutū), te pāmahana, te pehanga, te pumau, me te poke. Na reira, ka whakamahia he susceptor ki te tuu i te tïpako ki runga, e taea ai te whakatakoto epitaxial ma te hangarau CVD. Ko tenei kaitautoko ko teSiC-pani graphite susceptor.
Ko nga susceptors graphite pania SiC ka whakamahia i roto i nga taputapu Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) hei tautoko me te whakamahana i nga taputapu kirikiri kotahi. Te pūmautanga waiariki me te ōritetanga o Ko nga susceptors graphite pania SiCHe mea nui mo te tipu o te kounga o nga rawa epitaxial, ka waiho hei waahanga matua o nga taputapu MOCVD (te arahi i nga kamupene taputapu MOCVD penei i a Veeco me Aixtron). I tenei wa, kei te whakamahia nuitia te hangarau MOCVD i roto i te tipu epitaxial o nga kiriata GaN mo nga rama puru na tona ngawari, te tere o te tipu ka taea te whakahaere, me te tino ma. Hei waahanga nui o te reactor MOCVD, ko tesusceptor mo te tipu epitaxial kiriata GaNme whai parenga teitei o te pāmahana, te kawe i te waiariki rite, te pumau matū, me te kaha o te wiri waiariki. Ka tutuki pai te graphite i enei whakaritenga.
Hei waahanga matua o nga taputapu MOCVD, ka tautokohia e te kaitautoko graphite me te whakamahana i nga taputapu kirikiri kotahi, e pa ana ki te rite me te ma o nga rawa kiriata. Ko tana kounga e pa ana ki te whakaritenga o nga angiangi epitaxial. Heoi, na te nui haere o te whakamahinga me te rerekee o nga tikanga mahi, ka ngenge noa nga kaitapa kawhata, ka kiia he kai pau.
Ko nga kaiwhaiwhai MOCVDMe whai etahi ahuatanga whakakikorua ki te whakatutuki i nga whakaritenga e whai ake nei:
- -He pai te kapinga:Ko te paninga me hipoki rawa te susceptor graphite ki te kiato teitei kia kore ai te waikura i roto i te taiao hau pirau.
- -Ko te kaha hononga teitei:Ko te paninga me kaha te hono ki te kaitao graphite, ka mau ki nga huringa teitei-teitei me te iti-te wera me te kore e tihorea.
- -Te pumau matū:Me noho matū te paninga kia kore ai e taka i roto i nga hau wera me te hau kino.
Ko te SiC, me tona parenga waikura, teitei te kawe i te waiariki, te awangawanga waiariki, me te tino pumau matū, he pai te mahi i roto i te taiao epitaxial GaN. Hei taapiri atu, he rite te whakareatanga whakawhaariki o te SiC ki te kauwhata, na reira ko te SiC te mea tino pai mo nga whakakikorua graphite susceptor.
I tenei wa, ko nga momo SiC noa ko te 3C, 4H, me te 6H, he pai mo ia momo tono rereke. Hei tauira, ka taea e 4H-SiC te whakaputa i nga taputapu hiko teitei, 6H-SiC he pumau me te whakamahi mo nga taputapu optoelectronic, i te mea he rite te hanganga o te 3C-SiC ki a GaN, he pai mo te hanga paparanga epitaxial GaN me nga taputapu SiC-GaN RF. Ko te 3C-SiC, e mohiotia ana ko te β-SiC, ko te nuinga o te waa e whakamahia ana hei kiriata me nga mea whakakikorua, ka waiho hei taonga tuatahi mo nga whakakikorua.
He maha nga tikanga hei whakariteNga paninga SiC, tae atu ki te sol-gel, te whakauru, te parai, te rehu plasma, te tauhohenga kohu matū (CVR), me te whakahekenga kohu matū (CVD).
I roto i enei, ko te tikanga whakauru he tukanga whakahiato-waa-maamaa teitei. Ma te whakatakoto i te tïpako kauwhata ki roto i te paura whakauru kei roto i te paura Si me te C me te whakakorikori i roto i te taiao hau korekore, ka puta he paninga SiC ki runga i te tïpako kauwhata. He ngawari tenei tikanga, he pai te hono o te paninga ki te tïpako. Heoi, karekau he riterite te matotoru o te paninga me te whai pores pea, ka kore e pai te aukati i te waikura.
Tikanga paninga Rehu
Ko te tikanga paninga rehu ko te rehu i nga rauemi mata wai ki runga i te mata tïpako kauwhata me te rongoa i te pāmahana motuhake hei paninga. He ngawari tenei tikanga me te utu-whai hua engari ka hua te hononga ngoikore i waenga i te paninga me te tïpako, te pai o te whakakotahitanga o te whakakikorua, me te paninga angiangi me te iti o te aukati waiora, me whai tikanga awhina.
Tikanga Mapu Ion Beam
Ko te rehu kurupae katote ka whakamahi i te pu kurupae katote ki te rehu i nga mea whakarewa, etahi waahanga whakarewa ranei ki runga i te mata tïpako kauwhata, ka hanga he paninga i runga i te pakaritanga. He ngawari tenei tikanga me te whakaputa i nga paninga SiC kiato. Heoi, ko nga paninga angiangi he ngoikore te aukati waiora, he maha nga wa e whakamahia ana mo nga paninga hiato SiC hei whakapai ake i te kounga.
Tikanga Sol-Gel
Ko te tikanga sol-gel ko te whakarite i tetahi otinga sol maramara, ka hipoki i te mata o te tïpako, me te whiwhi i te paninga i muri i te whakamaroketanga me te sintering. He ngawari tenei tikanga me te utu-whai hua engari ka puta he paninga he iti te parenga waiariki me te whakaraerae ki te kapiti, ka whakawhāiti i tana tono whanui.
Tauhohenga Kohu matū (CVR)
Ka whakamahia e te CVR te paura Si me te SiO2 i nga wera nui hei whakaputa i te kohu SiO, ka tauhohe ki te taputapu waro hei hanga paninga SiC. Ko te hua o te paninga SiC ka piri piri ki te tïpako, engari me nui te pāmahana tauhohenga me nga utu mo te tukanga.
Te Whakapae Kohu Matū (CVD)
Ko te CVD te tikanga tuatahi mo te whakarite paninga SiC. Kei roto i nga tauhohenga hau-waahanga i runga i te mata tïpako kauwhata, kei reira nga tauhohenga tinana me nga tauhohenga matū, ka waiho hei paninga SiC. Ka whakaputahia e te CVD nga paninga SiC tino herea hei whakarei ake i te waioratanga me te aukati ablation. Heoi, he roa te wa o te CVD, ka uru pea ki nga hau paitini.
Turanga Maakete
I roto i te maakete graphite susceptor kua pania a SiC, he nui te kaiarahi o nga kaihanga kee me te nui o te wahanga maakete. Kua hinga a Semicera i nga hangarau matua mo te tipu whakakikorua o te SiC i runga i nga taputapu kauwhata, e whakarato ana i nga otinga e aro ana ki te kawe i te waiariki, te whakanekehanga rapa, te pakari, te koha o te kupenga, me etahi atu take kounga, ka tutuki katoa nga whakaritenga taputapu MOCVD.
Tirohanga a meake nei
Kei te whanake tere te ahumahi semiconductor o Haina, me te piki haere o te waahi o nga taputapu epitaxial MOCVD me te whakawhānui i nga tono. Ko te maakete susceptor graphite whakakikorua SiC e tika ana kia tere te tipu.
Whakamutunga
Hei waahanga nui i roto i nga taputapu semiconductor, ko te mohio ki te hangarau whakangao matua me te whakauru i nga susceptors graphite pania SiC he mea rautaki nui mo te umanga semiconductor o Haina. Kei te tipu haere te mara susceptor graphite kua pania a SiC, me te kounga o nga hua ka eke ki nga taumata o te ao.Semicerakei te ngana ki te noho hei kaiwhakarato matua mo tenei mara.
Wā tuku: Hūrae-17-2024