Ko te ma o temata angiangika tino pa ki te reiti tohu o nga tikanga me nga hua o muri mai. Tae atu ki te 50% o nga hua katoa ka ngaro na temata angiangipoke.
Ko nga mea ka taea te whakarereke i nga mahi hiko o te taputapu, te mahi hanga taputapu ranei, ka kiia ko nga mea poke. Ka puta mai pea nga mea poke i te angiangi tonu, i te ruma ma, i nga taputapu tukatuka, i nga matū tukatuka, i te wai ranei.WaferI te nuinga o te wa ka kitea te poke ma te tirohanga tirohanga, te tirotiro i nga mahi, te whakamahi ranei i nga taputapu tātari matatini i roto i te whakamatautau taputapu whakamutunga.
▲Ko nga mea poke i runga i te mata o nga angiangi silicon | Whatunga puna whakaahua
Ka taea te whakamahi i nga hua o te wetewetenga poke ki te whakaata i te tohu me te momo poke i pa ki teangiangii roto i tetahi taahiraa tukanga, he miihini motuhake, he mahinga katoa ranei. E ai ki te whakarōpūtanga o nga tikanga kitenga,mata angiangiKa taea te wehewehea te poke ki nga momo e whai ake nei.
Te poke whakarewa
Ko te poke i puta mai i nga konganuku ka raru pea nga taputapu semiconductor he rereke nga nekehanga.
Ko nga konganuku alkali, ko nga konganuku whenua kawakore ranei (Li, Na, K, Ca, Mg, Ba, me etahi atu) ka puta te rerenga rerenga i roto i te hanganga pn, ka puta ki te ngaohiko pakaru o te waikura; te whakarewa whakawhiti me te whakarewa taimaha (Fe, Cr, Ni, Cu, Au, Mn, Pb, me etahi atu) ka taea e te poke te whakaiti i te huringa ora o te kaikawe, te whakaiti i te oranga o te waahanga, te whakanui ake ranei i te waahi pouri i te wa e mahi ana te waahanga.
Ko nga tikanga noa mo te kite i te poke konganuku ko te whakaatanga katoa o te hihi X-ray fluorescence, te spectroscopy absorption atomic me te inductively connected plasma mass spectrometry (ICP-MS).
▲ Te paru angiangi mata | ResearchGate
Ko te poke whakarewa pea ka puta mai i nga reagents e whakamahia ana ki te horoi, ki te tarai, ki te lithography, ki te whakatakoto, me era atu, mai i nga miihini e whakamahia ana i roto i te mahi, penei i te oumu, te reactors, te whakaurunga katote, me etahi atu, na te mahi angiangi koretake ranei.
Te poke matūriki
I te nuinga o te wa ka kitea nga putunga rawa ma te kite i te marama i marara mai i nga koha o te mata. Na reira, ko te ingoa putaiao tika mo te poke matūriki ko te koha ira marama. Ka taea e te poke matūriki te arai, te huna ranei i nga paanga i roto i nga tukanga tarai me te tuhi tuhi.
I te wa o te tipu o te kiriata, te tukunga ranei, ka hangaia nga kohao me nga moroiti, a mena he nui nga matūriki me te kawe, ka puta he ara iahiko poto.
▲ Te hanga o te poke matūriki | Whatunga puna whakaahua
Ko te poke matūriki iti ka puta he atarangi ki runga i te mata, penei i te wa whakaahua whakaahua. Mena kei te noho nga matūriki nui i waenganui i te whakaahua me te paparanga photoresist, ka taea e ratou te whakaiti i te whakataunga o te whakapiri.
I tua atu, ka taea e ratou te aukati i nga katote whakatere i te wa e whakatohia ana te katote, te whakamaroke ranei. Ko nga matūriki ano pea ka kopakihia e te kiriata, kia puta ai he pupuhi me te pupuhi. Ka pakaru, ka whakahēhia ranei e nga paparanga tuku iho ki enei waahi, ka raru pea i te wa e kitea ana.
Te poke pararopi
Ko nga mea poke e mau ana i te waro, me nga hanganga honohono e hono ana ki te C, ka kiia ko te poke waro. Ko nga mea poke pararopi pea ka puta mai nga ahuatanga hydrophobic ohorere i runga i temata angiangi, whakanuia te taratara o te mata, ka puta he mata kohu, ka whakararu i te tipu o te paparanga epitaxial, ka pa ki te painga horoi o te poke whakarewa ki te kore e tangohia nga poke i te tuatahi.
Ka kitea te poke o te mata e nga taputapu penei i te waiariki MS, X-ray photoelectron spectroscopy, me te Auger electron spectroscopy.
▲Kupenga puna whakaahua
Te parahanga hau me te poke wai
Ko nga ngota ngota hau me te poke o te wai me te rahi ngota karekau e tangohia e te hau matūriki tino pai (HEPA) me nga whiriwhiringa hau-iti-iti (ULPA). Ko te nuinga o nga wa ka aro turukihia e te katote papatipu spectrometry me te electrophoresis capillary.
Ko etahi o nga parakino kei roto pea i nga waahanga maha, hei tauira, ko nga matūriki he mea hanga mai i nga mea pararopi, i nga mea konganuku ranei, i nga mea e rua ranei, no reira ka whakarōpūtia ano tenei momo poke ki etahi atu momo.
▲Pongoi ngota ngota hau | IONA
I tua atu, ka taea hoki te whakarōpūtia te poke angiangi hei poke ngota, te poke matūriki, me te poke o te otaota i ahu mai i te tukanga e ai ki te rahi o te puna poke. Ko te iti o te rahi o te matūriki poke, ka uaua ake te tango. I roto i nga waahanga hiko o enei ra, ko nga tikanga horoi angiangi mo te 30% - 40% o nga mahi whakaputa katoa.
▲Ko nga mea poke i runga i te mata o nga angiangi silicon | Whatunga puna whakaahua
Te wa tuku: Nov-18-2024