Me pehea te whakaputa-tukatuka mo nga taputapu SiC e whai ake nei:
1. Takotoranga Crystal:
Te whakamahi i te whakamaoritanga hihi-X ki te whakahoa i te ingot karaihe. I te wa e anga ana te kurupae X-ray ki te mata karaihe e hiahiatia ana, ko te koki o te kurupae rerekee ka whakatau i te takotoranga karaihe.
2. Te Miro Diamita o waho:
Ko nga tioata kotahi e tupu ana i roto i nga graphite crucibles ka nui ake i nga diameter paerewa. Ko te huri i te diameter o waho ka whakaitihia ki nga rahi paerewa.
3.Whakamutunga Mata huri:
4-inihi 4H-SiC substrates te tikanga e rua nga tapa tuunga, tuatahi me te tuarua. Ko te huri o te kanohi ka whakatuwhera i enei tapa tuunga.
4. Wire kani:
Ko te kani waea he mahi nui ki te tukatuka i nga taputapu 4H-SiC. Ko nga kapiti me te pakaru o raro-mata i te wa e kani ana waea ka pa kino ki nga mahi ka whai ake, ka roa te wa tukatuka me te ngaro o nga rawa. Ko te tikanga tino noa ko te kani waea-maha me te abrasive taimana. Ka whakamahia te nekehanga tauutuutu o nga waea whakarewa i herea ki te abrasive taimana hei tapahi i te ingot 4H-SiC.
5. Whakahau:
Hei aukati i te pakaru o te mata me te whakaiti i nga mate ka pau i roto i nga mahi ka whai ake, ka werohia nga taha koi o nga maramara kani waea ki nga ahua kua tohua.
6. Te angiangi:
He maha nga rakuraku me nga pakaru o raro o te mata o te kani waea. Ka mahia te mahi angiangi ma te whakamahi i nga wira taimana hei tango i enei hapa i te mea ka taea.
7. Miro:
Kei roto i tenei tukanga he huri taratara me te huri pai ma te whakamahi i te warowaiha boron iti te rahi, te taimana taimana ranei hei tango i nga toenga pakaru me nga pakaru hou i uru mai i te wa angiangi.
8. Orooro:
Ko nga mahi whakamutunga ko te whakakorikori taratara me te whakakorikori pai ma te whakamahi i te konumohe, i te waikura waikura ranei. Ko te wai whakakorikori ka whakangawari i te mata, ka tangohia ma te miihini e te abrasives. Ko tenei taahiraa ka whakarite i te mata maeneene me te kore e pakaru.
9. Te horoi:
Te tango i nga matūriki, nga konganuku, nga kiriata waikura, nga toenga pararopi, me etahi atu mea poke i mahue mai i nga mahi tukatuka.
Te wa tuku: Mei-15-2024