He aha nga waahanga matua mo te tukatuka o nga taputapu SiC?

Me pehea te whakaputa-tukatuka mo nga taputapu SiC e whai ake nei:

1. Te Takotoranga Tioata: Te whakamahi i te whakamaarama o te hihi X-ray ki te whakatika i te ingot karaihe.I te wa e anga ana te kurupae X-ray ki te mata karaihe e hiahiatia ana, ko te koki o te kurupae rerekee ka whakatau i te takotoranga karaihe.

2. Te Miro Diameter o waho: Ko nga tioata kotahi i tupu i roto i nga parapara kauwhata ka nui ake i nga diameter paerewa.Ko te huri i te diameter o waho ka whakaitihia ki nga rahi paerewa.

Whakamutunga Mata Miro: 4-inihi 4H-SiC tïpako te tikanga e rua nga tapa tuunga, tuatahi me te tuarua.Ko te huri o te kanohi ka whakatuwhera i enei tapa tuunga.

3. Waea Wire Sawing: Waea kani he taahiraa nui i roto i te tukatuka substrates 4H-SiC.Ko nga kapiti me te pakaru o raro-mata i te wa e kani ana waea ka pa kino ki nga mahi ka whai ake, ka roa te wa tukatuka me te ngaro o nga rawa.Ko te tikanga tino noa ko te kani waea-maha me te abrasive taimana.Ka whakamahia te nekehanga tauutuutu o nga waea whakarewa i herea ki te abrasive taimana hei tapahi i te ingot 4H-SiC.

4. Te whakapouri: Hei aukati i te pakaru o te taha me te whakaiti i nga mate ka pau i roto i nga mahi ka whai ake, ka werohia nga taha koi o nga maramara kani waea ki nga ahua kua tohua.

5. He angiangi: He maha nga karawarawa me nga pakaru o raro o te mata o te kani waea.Ka mahia te mahi angiangi ma te whakamahi i nga wira taimana hei tango i enei hapa i te mea ka taea.

6. Miro: Kei roto i tenei tukanga he huri taratara me te huri pai ma te whakamahi i te warowaiwai boron iti-rahi ranei, te taimana abrasives hei tango i nga toenga pakaru me nga pakaru hou i uru mai i te wa angiangi.

7. Te whakakorikori: Ko nga mahi whakamutunga ko te whakakorikori taratara me te whakakorikori pai ma te whakamahi i te konumohe, i te kirikiri waikura abrasives ranei.Ko te wai whakakorikori ka whakangawari i te mata, ka tangohia ma te miihini e te abrasives.Ko tenei taahiraa ka whakarite i te mata maeneene me te kore e pakaru.

8. Te horoi: Te tango i nga matūriki, nga konganuku, nga kiriata waikura, nga toenga pararopi, me etahi atu mea poke i mahue mai i nga waahanga tukatuka.

SiC epitaxy (2) - 副本(1)(1)


Te wa tuku: Mei-15-2024