O nga tukanga katoa e pa ana ki te hanga maramara, ko te mutunga o teangiangika tapahia ki nga mate takitahi ka kootia ki roto i nga pouaka iti, kootia me etahi titi ka kitea. Ka aromatawaihia te maramara i runga i tona paepae, te aukati, te wa, me nga uara ngaohiko, engari kaore tetahi e whakaaro ki tona ahua. I te wa o te mahi whakangao, he maha nga wa ka whakakoi matou i te angiangi ki te whakatutuki i nga mahere e tika ana, ina koa mo ia taahiraa whakaahua whakaahua. Ko teangiangime tino papatahi te mata na te mea, i te mea ka iti haere te mahi hanga maramara, me eke te arotahi o te miihini whakaahua whakaahua ki te whakatau i te tauine nanometer ma te whakanui ake i te kohao tau (NA) o te arotahi. Heoi, i te wa kotahi ka whakaitihia te hohonutanga o te arotahi (DoF). Ko te hohonutanga o te arotahi e tohu ana ki te hohonutanga o roto e taea ai e te punaha whatu te pupuri i te arotahi. Hei whakarite kia noho marama te ahua whakaahua whakaahua me te arotahi, ko nga rereketanga o te mata o teangiangime taka ki roto i te hohonutanga o te arotahi.
I roto i nga kupu ngawari, ka whakaekehia e te miihini whakaahua whakaahua te kaha ki te whakapai ake i te tika o te whakaahua. Hei tauira, ko nga miihini whakaahua whakaahua EUV hou he 0.55 te kohao, engari ko te hohonutanga poutū o te arotahi ko te 45 nanometer anake, me te iti ake o te awhe atahanga tino pai i te wa o te whakaahua whakaahua. Mena ko teangiangiehara i te papatahi, he koretake te matotoru, he koretake ranei te mata, ka puta he take i te wa whakaahua whakaahua i nga waahi teitei me te iti.
Ehara i te mea ko te Photolithography anake te tukanga e hiahia ana kia maeneeneangiangimata. He maha atu nga mahi hanga maramara e hiahia ana ki te whakakoi angiangi. Hei tauira, i muri i te maku o te wetewete, me whakakorikori hei whakaene i te mata taratara mo te paninga me te tukunga o muri. Whai muri i te wehenga o te awaawa papaku (STI), me whakakorikori hei whakaene i te taikaha hauhā hauhā me te whakakī i te waikeri. I muri i te waipara whakarewa, ka hiahiatia te whakakorikori hei tango i te taikaha o nga papa whakarewa me te aukati i nga ara iahiko poto.
Na reira, ko te whanautanga o te maramara he maha nga hikoi whakakoi hei whakaiti i te taratara o te angiangi me nga rereketanga o te mata me te tango i te taikaha o nga rawa mai i te mata. I tua atu, ko nga hapa o te mata i puta mai i nga tini take o te mahi i runga i te angiangi ka kitea noa i muri i ia taahiraa whakakoi. Na, ko nga miihini e haangai ana ki te whakakorikori he kawenga nui. Ko ratou nga tohu matua i roto i te mahi hanga maramara, a he maha nga wa e mau ai te he i roto i nga huihuinga whakaputa. Me matatau ratou ki nga mahi tarai maaku me te whakaputa tinana, hei tikanga whakakoi matua i roto i te hanga maramara.
He aha nga tikanga whakakoi angiangi?
Ka taea te whakarōpūhia nga mahi whakakoi ki roto i nga waahanga nui e toru i runga i nga tikanga taunekeneke i waenga i te wai whakakoi me te mata angiangi silicon:
1. Tikanga Oro Miihini:
Ko te whakakoi miihini ka tango i nga huanga o te mata kua orohia ma te tapahi me te whakarereketanga kirihou kia pai ai te mata. Ko nga taputapu noa ko nga kohatu hinu, nga wira wūru, me te pepa kirikiri, he mea whakahaere na te ringaringa. Ko nga waahanga motuhake, penei i nga papa o nga tinana hurihuri, ka taea te whakamahi i nga papa hurihuri me etahi atu taputapu awhina. Mo nga papa me nga whakaritenga kounga teitei, ka taea te whakamahi i nga tikanga whakakoi tino pai. Ko te whakakorikori tino pai e whakamahi ana i nga taputapu abrasive i hangaia, i roto i te wai whakakorikori kei roto, ka piri ki te mata o te mea mahi, ka huri i te tere tere. Ka taea e tenei tikanga te whakatutuki i te taratara o te mata o Ra0.008μm, te teitei rawa o nga tikanga whakakoi katoa. Kei te whakamahia tenei tikanga mo nga hangahanga arotahi whatu.
2. Tikanga Oro Maama:
Ko te whakakorikori matū ko te whakakorenga pai o nga moroiti-protrusions i runga i te mata rauemi i roto i te reo matū, ka puta he mata maeneene. Ko nga painga nui o tenei tikanga ko te kore o te hiahia mo nga taputapu uaua, te kaha ki te whakakoi i nga mea mahi uaua-ahua, me te kaha ki te whakakoi i nga taonga mahi maha i te wa kotahi me te tino pai. Ko te take matua o te whakakoi matū ko te hanga o te wai whakakoi. Ko te taratara o te mata ka puta mai i te whakakorikori matū he maha nga tekau moroiti.
3. Tikanga Maama Miihini (CMP):
Kei ia o nga tikanga oro tuatahi e rua ona painga motuhake. Ko te whakakotahi i enei tikanga e rua ka taea te whakatutuki i nga paanga taapiri i roto i te tukanga. Ko te whakakorikori matū he whakakotahi i te waku miihini me nga tukanga waikura matū. I te wa o te CMP, ko nga reagents matū i roto i te wai whakakorikori ka whakapouri i te rauemi tïpako kua orohia, ka hanga he paparanga waikura ngohengohe. Ka tangohia tenei paparanga waikura ma te waku miihini. Ko te tukurua i tenei hātepe hāora me te tango miihini ka tutuki pai te oro.
Nga wero me nga take o naianei i roto i te whakakoi miihini matū (CMP):
He maha nga wero me nga take e pa ana ki a CMP i roto i nga waahanga o te hangarau, ohaoha, me te oranga o te taiao:
1) Tukatuka riterite: Ko te whakatutuki i te riterite teitei i roto i te tukanga CMP he wero tonu. Ahakoa i roto i te raina whakangao kotahi, ko nga rereketanga iti i roto i nga tawhā tukanga i waenga i nga roopu rereke me nga taputapu ka pa ki te rite o te hua whakamutunga.
2) Te Urutau ki nga Rauemi Hou: I te mea ka puta tonu nga rauemi hou, me urutau te hangarau CMP ki o raatau ahuatanga. Ko etahi rawa o mua kaore pea i te hototahi ki nga tikanga CMP tuku iho, e hiahia ana ki te whakawhanake i nga wai whakakoi me te abrasives.
3) Rahi Paanga: I te mea kei te heke haere tonu nga inenga o te taputapu semiconductor, ka nui ake nga take i puta mai i nga paanga rahi. Ko nga waahanga iti ake ka nui ake te papatahi o te mata, me tino tika nga tikanga CMP.
4) Mana Reiti Tango Rawa: I etahi tono, he mea tino nui te whakahaere tika mo te reiti tango rawa mo nga rawa rereke. Ko te whakarite i nga reiti tango rite puta noa i nga paparanga rereke i te wa o te CMP he mea nui mo te hanga taputapu mahi teitei.
5) Te Whakaaetanga Taiao: Ko nga wai whakakoi me nga abrasive e whakamahia ana i roto i te CMP kei roto pea nga waahanga kino o te taiao. He wero nui te rangahau me te whakawhanaketanga o nga tikanga me nga rawa CMP e pai ana ki te taiao me te tauwhiro.
6) Maramatanga me te Aunoatanga: Ahakoa kei te pai haere te taumata mohio me te automation o nga punaha CMP, me aro tonu ratou ki nga taiao whakaputa uaua me te rereke. Ko te whakatutuki i nga taumata teitei o te mahi aunoa me te aro turuki mohio ki te whakapai ake i te pai o te whakaputa he wero me whakatika.
7) Whakahaere Utu: Ko te CMP he nui nga taputapu me nga utu rauemi. Me whakapai ake nga Kaihanga i nga mahi mahi i te wa e tohe ana ki te whakaheke i nga utu whakaputa kia mau tonu ai te whakataetae o te maakete.
Wā tuku: Hune-05-2024