Ko te ahumahi semiconductor e whakawhirinaki ana ki nga taputapu tino motuhake hei whakaputa i nga taputapu hiko kounga teitei. Ko tetahi o enei waahanga nui i roto i te tukanga tipu epitaxial ko te kawe epi pan. Ka whai waahi nui tenei taputapu ki te tuku i nga paparanga epitaxial i runga i nga angiangi semiconductor, e whakarite ana i te rite me te kounga o te hua whakamutunga.
Ko te kaikawe paraharaha epi, e mohiotia ana ano ko te kaikawe paraharaha epitaxy, he paepae i hangaia i roto i te tukanga tipu epitaxial. Kei te pupuri me te tautoko i nga wafers semiconductor i te wa e tuku ana nga paparanga epitaxial. Ko enei kaikawe he mea hangai ki te tu ki te teitei o te pāmahana me nga taiao kino e rite ana ki nga mahi epitaxial, e whakarato ana i te papaa pumau mo te tipu o nga paparanga kirikiri kotahi.
Rauemi me te Hanga:
Ko nga kaikawe paraharaha Epi i te nuinga o te wa ka mahia mai i nga rawa ka taea te mau i te wera nui me te atete ki nga tauhohenga matū. Ko nga rauemi noa ko:
•Silicon Carbide (SiC): E mohiotia ana mo te kaha o te waiariki me te atete ki te kakahu me te waikura, ko te SiC he whiringa rongonui mo nga kaikawe epi pan.
• Graphite: I te nuinga o te wa ka whakamahia na te pai o ona ahuatanga waiariki me te kaha ki te pupuri i te tika o te hanganga i nga wera teitei. Ko te nuinga o nga wa ka whakakikoruatia nga kaikawe kaitapa ki te SiC hei whakarei ake i to ratau mauroa me te aukati ki te pirau.
Mahi i roto i te Tukatuka Tupuranga Epitaxial:
Ko te tukanga tipu epitaxial ko te tukunga o te paparanga angiangi o nga mea tioata ki runga i te tïpako angiangi ranei. He mea nui tenei tukanga ki te hanga i nga taputapu semiconductor me nga waahanga hiko tika. Ka tautokohia e te kaikawe paraharaha epi te angiangi i roto i te ruuma tauhohenga me te whakarite kia mau tonu i te wa o te tukunga.
Ko nga mahi matua o te kaikawe epi pan ko:
• Te Tohatoha Wera Taurite: Ma te kaikawe e whakarite te tohatoha wera puta noa i te angiangi, he mea nui kia tutuki te matotoru me te kounga o te paparanga epitaxial.
• Wehenga matū: Ma te whakarato i te mata pumau me te koretake, ka aukati te kaikawe i nga tauhohenga matū e kore e hiahiatia ka whakaheke i te kounga o te paparanga epitaxial.
Nga Painga o te Kounga-TeiteiEpi Pan Carriers:
• Whakapai ake i te Mahinga Pūrere: Ka whai hua nga paparanga epitaxial rite ki te mahi pai ake o nga taputapu hikohiko, ka pai ake te pai me te pono.
• Whakanuia te Hua: Ma te whakaiti i nga hapa me te whakapumau i te whakatakotoranga o te paparanga orite, ka whakapai ake nga kaikawe kounga teitei i te hua o nga wafers semiconductor ka taea te whakamahi.
• Whakaitihia nga Utu Tiaki: Ko nga rauemi roa me te miihini tika ka whakaitihia te hiahia mo te whakakapi me te tiaki i nga wa katoa, ka whakaheke i nga utu whakaputa.
Ko te kaikawe epi pan he waahanga nui i roto i te tukanga tipu epitaxial, e awe tika ana i te kounga me te rite o nga taputapu semiconductor. Ma te kowhiri i nga rauemi tika me te hoahoa, ka taea e nga kaihanga te arotau i te mahi epitaxial, ka pai ake te mahi o te taputapu me te whakaheke i nga utu whakaputa. I te piki haere o te hiahia mo nga taputapu hiko, ko te hiranga o te kounga teiteikaikawe epi pani roto i te ahumahi semiconductor kei te piki haere tonu.
Te wa tuku: Akuhata-13-2024