Ko te tipu epitaxial he hangarau e tipu ana i te paparanga karaihe kotahi ki runga i te taputapu karaihe kotahi (substrate) me te ahua o te karaihe rite ki te taputapu, me te mea kua toro atu te karaihe taketake ki waho. Ka taea te rereke o tenei paparanga karaihe kotahi hou i te tïpako i runga i te momo kawe, te parenga, me etahi atu, ka taea te whakatipu i nga kiripiri kotahi papa-maha me nga momo matotoru me nga whakaritenga rereke, na reira ka pai ake te ngawari o te hoahoa taputapu me te mahi taputapu. I tua atu, ko te tukanga epitaxial e whakamahia nuitia ana i roto i te hangarau wehewehe PN junction i roto i nga waahanga whakauru me te whakapai ake i te kounga o nga rauemi i roto i nga waahanga whakauru nui.
Ko te whakarōpūtanga o te epitaxy te nuinga i runga i nga momo matū tito o te tïpako me te paparanga epitaxial me nga tikanga tipu rereke.
E ai ki nga hanganga matū rereke, ka wehewehea te tipu epitaxial ki nga momo e rua:
1. Homoepitaxial:
I tenei ahuatanga, he rite tonu te hanganga matū o te paparanga epitaxial ki te tïpako. Hei tauira, ka whakatipuhia nga paparanga epitaxial silicon ki runga i nga taputapu silicon.
2. Heteroepitaxy:
I konei, he rereke te hanganga matū o te paparanga epitaxial ki tera o te tïpako. Hei tauira, ka whakatipuhia he paparanga epitaxial gallium nitride ki runga i te taputapu hapira.
E ai ki nga tikanga tipu rereke, ka taea te wehea te hangarau tipu epitaxial ki nga momo momo:
1. Epitaxy kurupae kurupae (MBE):
He hangarau tenei mo te whakatipu kiriata angiangi karaihe kotahi i runga i nga taputapu karaihe kotahi, ka tutuki ma te whakahaere tika i te rerenga rerenga rapoi ngota me te kiato kurupae i roto i te korehau ultra-tiketike.
2. Korehu matū matū pararopi (MOCVD):
Ka whakamahia e tenei hangarau nga pūhui whakarewa-organic me nga reagents hau-waahanga ki te mahi i nga tauhohenga matū i nga pāmahana teitei hei whakaputa i nga rawa kiriata kikokore e hiahiatia ana. He maha nga tono mo te whakarite i nga rawa me nga taputapu semiconductor pūhui.
3. Wāhanga wai epitaxy (LPE):
Ma te taapiri i nga rauemi wai ki te taputapu karaihe kotahi me te mahi maimoatanga wera i tetahi pāmahana, ka tioata te wai hei hanga i tetahi kiriata karaihe kotahi. Ko nga kiriata i mahia e tenei hangarau he reeti-whakaritea ki te tïpako, ka whakamahia ki te whakareri i nga rawa me nga taputapu semiconductor.
4. Wāhanga epitaxy (VPE):
Ka whakamahi i nga tauhohenga hau ki te mahi i nga tauhohenga matū i te pāmahana teitei hei whakaputa i nga rawa kiriata angiangi e hiahiatia ana. He pai tenei hangarau mo te whakarite i nga waahi nui, i nga kiriata karaihe kotahi te kounga teitei, he mea tino pai ki te whakarite i nga rawa me nga taputapu semiconductor.
5. Epitaxy kurupae matū (CBE):
Ka whakamahia e tenei hangarau nga kurupae matū hei whakatipu i nga kiriata karaihe kotahi ki runga i nga taputapu karaihe kotahi, ka tutuki ma te whakahaere tika i te rerenga rerenga matū me te kiato kurupae. He maha nga tono mo te whakarite i nga kiriata angiangi karaihe kotahi te kounga teitei.
6. Epitaxy apa ngota (ALE):
Ma te whakamahi i te hangarau whakangao paparanga ngota, ko nga rauemi kiriata angiangi e hiahiatia ana ka tukuna he paparanga ma ia paparanga ki runga i te tïpako karaihe kotahi. Ka taea e tenei hangarau te whakarite i nga waahi nui, i te kounga teitei o nga kiriata karaihe kotahi, a he maha nga wa ka whakamahia hei whakarite i nga rawa me nga taputapu semiconductor.
7. Epitaxy taiepa wera (HWE):
Na roto i te whakamahana teitei, ka tuuhia nga tauhohenga hau ki runga i te tïpako karaihe kotahi hei hanga i te kiriata karaihe kotahi. He pai hoki tenei hangarau mo te whakarite i nga waahi-nui, te kounga teitei o nga kiriata karaihe kotahi, a he mea tino whakamahia ki te whakarite i nga rauemi me nga taputapu semiconductor pūhui.
Te wa tuku: Mei-06-2024