He aha te epitaxy?

Ko te nuinga o nga miihini kaore i te mohioepitaxy, e whai waahi nui ana ki te hanga taputapu semiconductor.EpitaxyKa taea te whakamahi i roto i nga hua maramara rereke, me nga hua rereke he rereke nga momo epitaxy, tae atu kiKo te epitaxy, SiC epitaxy, GaN epitaxy, etc.

He aha te Epitaxis (6)

He aha te epitaxy?


Ko te Epitaxy e kiia ana ko "Epitaxy" i te reo Ingarihi. No roto mai te ta‘o i te mau ta‘o Heleni ra “epi” (oia hoi “i nia”) e “taxi” (oia hoi “te faanahoraa”). E ai ki te ingoa, ko te tikanga he whakarite marie ki runga o tetahi mea. Ko te tukanga epitaxy ko te whakatakoto i tetahi paparanga karaihe angiangi ki runga i te taputapu karaihe kotahi. Ko tenei paparanga karaihe kotahi katahi ano ka tuuhia ka kiia he paparanga epitaxial.

He aha te Epitaxis (4)

E rua nga momo matua o te epitaxy: homoepitaxial me te heteroepitaxial. Ko te Homoepitaxial e pa ana ki te whakatipu i nga rawa kotahi ki runga i te momo taputapu. Ko te paparanga epitaxial me te tïpako he rite tonu te hanganga kupenga. Ko te Heteroepitaxy te tipu o tetahi atu rawa i runga i te tïpako o tetahi rawa. I tenei keehi, ka rereke pea te hanganga o te paparanga karaihe epitaxially me te tïpako. He aha nga tioata kotahi me te polycrystalline?
I roto i te semiconductors, he maha nga wa ka rongo tatou i nga kupu kirika karaihe kotahi me te hiraka polycrystalline. He aha te take i kiia ai etahi kirikiri he kiriata kotahi me etahi kirikiri i kiia ko te polycrystalline?

He aha te Epitaxis (1)

Ko te karaihe kotahi: Ko te whakatakotoranga o te kurupae e mau tonu ana, e kore e rereke, kaore he rohe o te witi, ara, ko te karaihe katoa he mea tito he mahanga kotahi me te ahua o te karaihe rite. Polycrystalline: Ko te Polycrystalline he maha nga kakano iti, he karaihe kotahi ia, a he matapōkeretia o raatau tuunga ki tetahi ki tetahi. Ka wehea enei kakano e nga rohe o te witi. He iti ake te utu hanga o nga rauemi polycrystalline i tera o nga tioata kotahi, na reira ka whai hua tonu i etahi tono. Kei hea te mahi epitaxial?
I roto i te hanga o nga hikoi whakauru-a-silicon, ka whakamahia nuitia te tukanga epitaxial. Hei tauira, ka whakamahia te epitaxy silicon ki te whakatipu i tetahi paparanga silicon parakore me te pai te whakahaere i runga i te tïpako silicon, he mea tino nui mo te hanga iahiko whakauru matatau. I tua atu, i roto i nga taputapu hiko, ko SiC me te GaN nga taonga e rua e whakamahia nuitia ana i te whanui bandgap semiconductor me nga mana whakahaere mana pai. Ko enei rawa ka tipuhia ki runga silika, etahi atu taputapu ranei ma te epitaxy. I roto i te whakawhitiwhiti inenga, ka whakamahia e nga paraka rahinga-a-waahanga i nga hanganga epitaxial silicon germanium. etc.

He aha te Epitaxis (3)

Nga tikanga o te tipu epitaxial?

E toru nga tikanga epitaxy semiconductor e whakamahia nuitia ana:

Epitaxy kurupae kurupae (MBE): Epitaxy kurupae kurupae) he hangarau tipu epitaxial semiconductor i mahia i raro i nga tikanga korehau teitei. I roto i tenei hangarau, ka whakaeto te rauemi puna i roto i te ahua o te ngota, kurupae ngota ranei, katahi ka tuu ki runga i te tïpako tioata. Ko te MBE he tino tika me te whakahaere i te hangarau tipu kiriata angiangi semiconductor ka taea te whakahaere tika i te matotoru o nga mea kua penapena ki te taumata ngota.

He aha te Epitaxis (5)

Metal organic CVD (MOCVD): I roto i te tukanga MOCVD, ko nga konganuku waro me nga hauwai waiu kei roto nga huānga e hiahiatia ana ka tukuna ki te tïpako i te pāmahana e tika ana, a ka hangaia nga rauemi semiconductor e hiahiatia ana na roto i nga tauhohenga matū ka tuu ki runga i te tïpako, ko te toenga. ka tukuna nga pūhui me nga hua tauhohenga.

He aha te Epitaxis (2)

Vapor Phase Epitaxy (VPE): Vapor Phase Epitaxy he hangarau nui e whakamahia ana i roto i te hanga o nga taputapu semiconductor. Ko tana kaupapa matua ko te kawe i te kohu o te matū kotahi, te pūhui ranei i roto i te hau kawe me te whakatakoto tioata ki runga tïpako ma te tauhohenga matū.


Wā tuku: Akuhata-06-2024