Ko te nuinga o nga miihini kaore i te mohioepitaxy, e whai waahi nui ana ki te hanga taputapu semiconductor.EpitaxyKa taea te whakamahi i roto i nga hua maramara rereke, me nga hua rereke he rereke nga momo epitaxy, tae atu kiKo te epitaxy, SiC epitaxy, GaN epitaxy, etc.
He aha te epitaxy?
Ko te Epitaxy e kiia ana ko "Epitaxy" i te reo Ingarihi. No roto mai te ta‘o i te mau ta‘o Heleni ra “epi” (oia hoi “i nia”) e “taxi” (oia hoi “te faanahoraa”). E ai ki te ingoa, ko te tikanga he whakarite marie ki runga o tetahi mea. Ko te tukanga epitaxy ko te whakatakoto i tetahi paparanga karaihe angiangi ki runga i te taputapu karaihe kotahi. Ko tenei paparanga karaihe kotahi katahi ano ka tuuhia ka kiia he paparanga epitaxial.
E rua nga momo matua o te epitaxy: homoepitaxial me te heteroepitaxial. Ko te Homoepitaxial e pa ana ki te whakatipu i nga rawa kotahi ki runga i te momo taputapu. Ko te paparanga epitaxial me te tïpako he rite tonu te hanganga kupenga. Ko te Heteroepitaxy te tipu o tetahi atu rawa i runga i te tïpako o tetahi rawa. I tenei keehi, ka rereke pea te hanganga o te paparanga karaihe epitaxially me te tïpako. He aha nga tioata kotahi me te polycrystalline?
I roto i te semiconductors, he maha nga wa ka rongo tatou i nga kupu kirika karaihe kotahi me te hiraka polycrystalline. He aha te take i kiia ai etahi kirikiri he kiriata kotahi me etahi kirikiri i kiia ko te polycrystalline?
Kiriata kotahi: Ko te whakatakotoranga kurupae kei te haere tonu me te kore e rereke, kaore he rohe o te witi, ara, ko te karaihe katoa he mea tito he mahanga kotahi me te ahua o te karaihe rite. Polycrystalline: Ko te Polycrystalline he maha nga kakano iti, he karaihe kotahi ia, a he matapōkeretia o ratou whakatakotoranga ki tetahi ki tetahi. Ka wehea enei kakano e nga rohe o te witi. He iti ake te utu hanga o nga rauemi polycrystalline i tera o nga tioata kotahi, na reira ka whai hua tonu i etahi tono. Kei hea te mahi epitaxial?
I roto i te hanga o nga hikoi whakauru-a-silicon, ka whakamahia nuitia te tukanga epitaxial. Hei tauira, ka whakamahia te epitaxy silicon ki te whakatipu i tetahi paparanga silicon parakore me te tino whakahaere i runga i te tïpako silicon, he mea tino nui mo te hanga iahiko whakauru matatau. I tua atu, i roto i nga taputapu hiko, ko SiC me te GaN e rua nga taputapu semiconductor whanui whanui me te kaha ki te whakahaere mana. Ko enei rawa ka tipuhia ki runga silika, etahi atu taputapu ranei ma te epitaxy. I roto i te whakawhitiwhiti inenga, ka whakamahia e nga paraka rahinga-a-waahanga i nga hanganga epitaxial silicon germanium. He aha atu.
Nga tikanga o te tipu epitaxial?
E toru nga tikanga epitaxy semiconductor e whakamahia nuitia ana:
Epitaxy kurupae kurupae (MBE): Epitaxy kurupae kurupae) he hangarau tipu epitaxial semiconductor i mahia i raro i nga tikanga korehau teitei. I roto i tenei hangarau, ka whakaeto te rauemi puna i roto i te ahua o te ngota, kurupae ngota ranei, katahi ka tuu ki runga ki te tïpako tioata. Ko te MBE he tino tika me te whakahaere i te hangarau tipu kiriata angiangi semiconductor ka taea te whakahaere tika i te matotoru o nga mea kua penapena ki te taumata ngota.
Metal organic CVD (MOCVD): I roto i te tukanga MOCVD, ko nga konganuku waro me nga hauwai waiu kei roto nga huānga e hiahiatia ana ka tukuna ki te tïpako i te pāmahana e tika ana, a ka hangaia nga rauemi semiconductor e hiahiatia ana na roto i nga tauhohenga matū ka tuu ki runga i te tïpako, ko te toenga. ka tukuna nga pūhui me nga hua tauhohenga.
Vapor Phase Epitaxy (VPE): Vapor Phase Epitaxy he hangarau nui e whakamahia ana i roto i te hanga o nga taputapu semiconductor. Ko tana kaupapa matua ko te kawe i te kohu o te matū kotahi, te pūhui ranei i roto i te hau kawe me te whakatakoto tioata ki runga tïpako ma te tauhohenga matū.
Wā tuku: Akuhata-06-2024