Ko teMOCVDKo te tikanga ko tetahi o nga tikanga tino pumau e whakamahia ana i tenei wa i roto i te umanga ki te whakatipu i nga kiriata angiangi karaihe kotahi te kounga teitei, penei i nga wahanga kotahi InGaN epilayers, nga rauemi III-N, me nga kiriata semiconductor me te maha o nga hanganga puna quantum, a he mea nui ki te te hanga i nga taputapu semiconductor me te optoelectronic.
Ko teSiC paninga MOCVD susceptorhe putunga angiangi motuhake kua whakakikoruatia ki te carbide silicon (SiC) moepitaxial te tipu i roto i te tukanga whakarewa matū kohu matū (MOCVD).
Ko te paninga SiC he tino pai te parenga matū me te pumau o te waiariki, na te mea he pai te whiriwhiri mo nga kaitukino MOCVD e whakamahia ana ki te tono i nga tikanga tipu epitaxial.
Ko tetahi waahanga nui o te tukanga MOCVD ko te susceptor, he huānga matua hei whakarite i te taurite me te kounga o nga kiriata kikokore i mahia.
He aha te susceptor? Ko te susceptor he waahanga motuhake e whakamahia ana i roto i te tukanga MOCVD hei tautoko me te whakamahana i te taputapu kei reira te kiriata kikokore. He maha nga mahi, tae atu ki te tango i te hiko hiko, te huri ki te wera, me te tohatoha i te wera ki runga i te taputapu. He mea nui tenei whakamahana whakamahana mo te tipu o nga kiriata kikokore rite te matotoru me te hanganga.
Momo o te hunga whakaraerae:
1. Nga kaitapa karepe: He maha nga wa ka whakakikoruatia nga kaitapaa ki te paparanga whakamarumaru penei i tecarbide silicon (SiC), e mohiotia ana mo te kaha o te wera me te pumau. Ko tepaninga SiCka whakarato i te mata pakeke, whakamarumaru e atete ana i te waikura me te paheketanga i te pāmahana teitei.
2. Ko nga kaitarai Silicon carbide (SiC): He mea hanga katoa enei whakangao ki te SiC, he pai rawa atu te whakamaaramatanga o te waiariki me te whakaahuru kakahu. He pai rawa atu nga kaitapahi SiC mo nga tukanga pāmahana teitei me nga taiao pirau.
Me pehea te mahi a te hunga whakaraerae i MOCVD:
I roto i te tukanga MOCVD, ka whakauruhia nga tohu ki roto i te ruma tauhohenga i reira ka pirau, ka tauhohe ki te hanga i tetahi kiriata kikokore i runga i te tïpako. He mahi nui te kaitaunaki ma te whakarite kia taurite te whakamahana o te tïpako, he mea nui ki te whakatutuki i nga ahuatanga kiriata riterite puta noa i te mata tïpako katoa. Ko te rauemi me te hoahoa o te susceptor ka ata whiriwhiria kia tutuki nga whakaritenga motuhake o te tukanga tuku, penei i te awhe pāmahana me te hototahi matū.
Nga painga o te whakamahi i nga kaitarai kounga teitei:
• Whakanuia te kounga o te kiriata: Ma te whakarato i te tohatoha wera rite, ka awhina te kaitautoko ki te whakatutuki i nga kiriata e rite ana te matotoru me te hanganga, he mea nui ki te mahi o nga taputapu semiconductor.
• Te pai ake o te tukanga: Ko nga kaitautoko o te kounga teitei ka whakanui ake i te kaha o te tukanga MOCVD ma te whakaiti i te tupono o nga hapa me te whakanui ake i nga hua o nga kiriata ka taea te whakamahi.
• Te roa o te oranga me te pono: Ko nga kaitautoko i hangaia mai i nga taonga roa penei i te SiC ka whakarite i te pono mo te wa roa me te whakaiti i nga utu tiaki.
Ko te susceptor tetahi waahanga nui i roto i te tukanga MOCVD me te pa tika ki te kounga me te pai o te whakahekenga kiriata angiangi. Mo etahi atu korero mo nga rahi e waatea ana, MOCVD susceptors me nga utu, kaua koe e mangere ki te whakapiri mai ki a maatau. Ka harikoa o maatau miihini ki te tohutohu ki a koe mo nga rauemi tika me te whakautu i o patai katoa.
Waea: +86-13373889683
WhatsApp: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Wā tuku: Akuhata-12-2024