I roto i te tukanga whakarite angiangi, e rua nga hononga matua: ko tetahi ko te whakarite i te taputapu, ko tetahi ko te whakatinanatanga o te tukanga epitaxial. Ko te tïpako, he angiangi i ata mahia mai i nga rawa kiriata kotahi semiconductor, ka taea te whakauru tika ki roto i te mahi hanga angiangi hei putake ki te whakaputa i nga taputapu semiconductor, ka taea ranei te whakarei ake ma nga tikanga epitaxial.
Na, he aha te denotation? I te poto, ko te epitaxy te tipu o te paparanga hou o te karaihe kotahi i runga i te taputapu karaihe kotahi kua oti te tukatuka pai (te tapahi, te huri, te whakakoi, me etahi atu). Ko tenei paparanga karaihe kotahi hou me te tïpako ka taea te hanga mai i nga mea kotahi, i nga mea rereke ranei, kia tutuki ai te tipu riterite, heteroepitaxial ranei ina hiahiatia. Na te mea ka tipu ake te paparanga karaihe kotahi hou i runga i te waahanga karaihe o te tïpako, ka kiia he paparanga epitaxial. Ko tona matotoru he iti noa nga microns. Hei tauira, ko te tipu o te silicon epitaxial ko te whakatipu i tetahi paparanga o te silicon me te ahua o te karaihe rite ki te tïpako, te parenga me te matotoru ka taea te whakahaere, i runga i te tïpako karaihe kotahi me te whakatakotoranga karaihe motuhake. He paparanga karaihe kirikiri kotahi me te hanganga kupenga tino pai. Ka tipu te paparanga epitaxial ki runga i te tïpako, ka kiia te katoa he angiangi epitaxial.
Mo te ahumahi hiko hikohiko tuku iho, ko te hanga i nga taputapu tere-tere me te hiko-hiko tika i runga i nga angiangi silicon ka pa ki etahi uauatanga hangarau. Hei tauira, he uaua ki te whakatutuki i nga whakaritenga o te ngaohiko pakaru teitei, te aukati raupapa iti me te iti o te ngaohiko whakaheke i roto i te rohe kohikohi. Ko te whakaurunga o te hangarau epitaxy ma te mohio ki te whakaoti i enei raru. Ko te otinga ko te whakatipu i tetahi paparanga epitaxial kaha-kaha ki runga i te taputapu hika-a-te-iti, katahi ka hanga taputapu ki runga i te paparanga epitaxial teitei. I tenei ara, ko te paparanga epitaxial teitei e whakarato ana i te ngaohiko pakaru teitei mo te taputapu, i te wa e whakaitihia ana e te taputapu iti te aukati i te parenga o te taputapu, na reira ka whakaiti i te heke o te ngaohiko, na reira ka eke ki te ngaohiko pakaru teitei me te iti Taurite i waenga i te parenga me iti ngaohiko maturuturu.
I tua atu, ko nga hangarau epitaxy penei i te epitaxy wahanga kohu me te epitaxy wahanga wai o GaAs me etahi atu III-V, II-VI me etahi atu rauemi semiconductor pūhui rāpoi kua tino whakawhanakehia, kua noho hei turanga mo te nuinga o nga taputapu ngaruiti, nga taputapu optoelectronic me te hiko. nga taputapu. Ko nga hangarau tukanga tino nui mo te whakaputa, ina koa ko te tono angitu o te kurupae ngota me te hangarau epitaxy wahanga kohu whakarewa-organic i roto i nga papa angiangi, superlattices, puna quantum, superlattices riaka, me te epitaxy papa angiangi taumata ngota kua noho hei mara hou mo te rangahau semiconductor. Ko te whakawhanaketanga o "Energy Belt Project" kua whakatakoto he turanga pakari.
Mo nga taputapu semiconductor tuatoru-whakatupuranga, tata katoa ka mahia enei taputapu semiconductor ki runga i te paparanga epitaxial, a ko te wafer carbide silicon ano te mahi hei tïpako. Ko te matotoru o te rauemi epitaxial SiC, te kukū kawe papamuri me etahi atu tawhā ka whakatau tika i nga momo hiko o nga taputapu SiC. Ko nga taputapu carbide Silicon mo nga tono ngaohiko teitei e whakatakoto ana i nga whakaritenga hou mo nga tawhā penei i te matotoru o nga rawa epitaxial me te kukū kawe papamuri. Na reira, ko te hangarau epitaxial silicon carbide e whai waahi nui ana ki te whakamahi katoa i nga mahi o nga taputapu carbide silicon. Ko te whakaritenga o te tata katoa o nga taputapu hiko SiC e ahu mai ana i runga i te kounga teitei o te SiC epitaxial wafers. Ko te hanga o nga paparanga epitaxial he waahanga nui o te umanga semiconductor bandgap whanui.
Te wa tuku: Mei-06-2024