Ko te hurihanga e pa ana ki te mahi huri i te diameter o waho o te rakau karaihe kirikiri kotahi ki roto ki te rakau karaihe kotahi o te diameter e hiahiatia ana ma te whakamahi i te wira huri taimana, me te huri i tetahi mata tohutoro papatahi, te riu tuunga ranei o te rakau karaihe kotahi.
Ko te mata diameter o waho o te rakau karaihe kotahi i mahia e te oumu karaihe kotahi kaore i te maeneene me te papatahi, a he nui atu tona diameter i te diameter o te wafer silicon i whakamahia i te tono whakamutunga. Ko te diameter o te rakau e hiahiatia ana ka taea ma te huri i te diameter o waho.
Ko te mira okeoke te mahi ki te huri i te mata tohutoro tapatahi papatahi, ki te tuunga ranei i te riu o te rakau karaihe kirikiri kotahi, ara, ki te mahi i nga whakamatautau aronga ki te rakau karaihe kotahi me te diameter e hiahiatia ana. I runga ano i nga taputapu mira hurihuri, ko te mata tohutoro tapatahi papatahi, te riu tuunga ranei o te rakau karaihe kotahi ka kuia. Ko te tikanga, ko nga rakau karaihe kotahi he iti iho i te 200mm te diameter e whakamahi ana i nga mata tohutoro tapatahi, me nga rakau karaihe kotahi te diameter o te 200mm me runga ake ka whakamahi i nga awaawa tuunga. Ka taea hoki te hanga i nga rakau karaihe kotahi me te diameter o te 200mm me nga papa tohutoro tapatahi ina hiahiatia. Ko te kaupapa o te mata tohutoro tohutoro toka karaihe kotahi ko te whakatutuki i nga hiahia o te mahi tuunga aunoa o nga taputapu tukatuka i roto i te whakangao iahiko whakauru; ki te tohu i te ahua o te karaihe me te momo kawe o te angiangi silicon, me etahi atu, hei whakahaere i te whakahaere whakaputa; ko te tapa tuunga matua, te riu tuunga ranei e tika ana ki te ahunga <110>. I te wa o te mahi whakangao maramara, ka taea e te mahi werohanga te pakaru o te angiangi, ka taea hoki e te tuunga te aukati i te whakatipuranga o nga kongakonga.
Ko nga kaupapa matua o te tukanga whakaawhiwhi ko: Te whakapai ake i te kounga o te mata: Ka taea e te whakaawhiwhi te tango i nga pupuhi me te koretake i runga i te mata o nga angiangi silicon me te whakapai ake i te maeneene o te mata o nga angiangi silicon, he mea tino nui mo te whakaahua whakaahua me nga tukanga tarai. Te whakaiti i te ahotea: Ka puta te ahotea i te wa e tapahi ana me te tukatuka o nga wafers silicon. Ka taea e te whakaawhiwhi te awhina i enei taumahatanga me te aukati i nga angiangi silicon kia pakaru i roto i nga mahi ka whai ake. Te whakapai ake i te kaha miihini o nga wafers silicon: I te wa o te mahi porowhita, ka maeneene nga taha o nga wafers silicon, e awhina ana ki te whakapai ake i te kaha miihini o nga wafer silicon me te whakaiti i te kino i te wa e kawe ana me te whakamahi. Te whakarite i te tika o te ahu: Ma te whakaawhiwhi, ka taea te whakarite i te tika o te ahu o nga angiangi silicon, he mea tino nui mo te hanga taputapu semiconductor. Te whakapai ake i nga ahuatanga hiko o nga angiangi silicon: Ko te tukatuka mata o nga angiangi silicon he awe nui ki o raatau taonga hiko. Ka taea e te whakaawhiwhi te whakapai ake i nga ahuatanga hiko o nga angiangi silicon, penei i te whakaheke i te rerenga rerenga. Ataahua: Ko nga taha o nga wafers silicon he maeneene me te ataahua ake i muri i te whakaawhiwhi, he mea tika hoki mo etahi ahuatanga tono.
Wā tuku: Hūrae-30-2024