I roto i nga mahi hangarau hiko o enei ra, he mea tino nui nga rauemi semiconductor.I roto i a raatau, ko te carbide silicon (SiC) hei rauemi semiconductor mokowhiti whanui, me ona painga pai rawa atu, penei i te waahi hiko pakaru teitei, te tere o te waiariki, te kawe waiariki teitei, me era atu, kei te kaha haere te aro o nga kairangahau me nga miihini.Ko te kopae epitaxial silicon carbide, hei waahanga nui o taua mea, kua whakaatuhia te kaha o te tono.
一, mahi kōpae epitaxial: tino painga
1. Ultra-tiketike breakdown mara hiko: whakaritea ki ngā rauemi silicon tuku iho, te mara hiko breaking o silicon carbide he neke atu i te 10 wa.Ko te tikanga, i raro i nga ahuatanga ngaohiko kotahi, ka taea e nga taputapu hiko e whakamahi ana i nga kopae epitaxial silicon carbide epitaxial te tu atu i nga oma teitei, na reira ka hanga ngaohiko teitei, ngaohiko teitei, nga taputapu hiko teitei.
2. Ko te tere tere tere: ko te tere o te tere o te carbide silicon he nui ake i te 2 nga wa o te silicon.Ko te mahi i te pāmahana teitei me te tere tere, he pai ake te mahi a te silicon carbide epitaxial disk, e tino pai ake ai te pumau me te pono o nga taputapu hiko.
3. He pai te kaha o te kawe wera: ko te kawe wera o te carbide silicon he nui ake i te 3 nga wa o te silicon.Ma tenei ahuatanga ka taea e nga taputapu hiko te whakakore i te wera i te wa e mahi tonu ana te mana kaha, na reira ka kore te wera me te whakapai ake i te haumaru o te taputapu.
4. He pai te pumau matū: i roto i nga taiao tino nui penei i te teitei o te pāmahana, te pehanga teitei me te rauropi kaha, kei te mau tonu te mahi o te carbide silicon i mua.Ma tenei ahuatanga ka taea e te kopae epitaxial silicon carbide te pupuri i nga mahi pai i mua i nga taiao uaua.
二, tukanga hanga: āta whakairo
Ko nga mahinga matua mo te hanga SIC epitaxial kōpae ko te whakaheke kohu tinana (PVD), ko te whakaheke matū (CVD) me te tipu epitaxial.Kei ia o enei mahinga ona ake ahuatanga, me te whakahaere tika i nga momo tawhā hei whakatutuki i nga hua pai.
1. Te tukanga PVD: Ma te whakaetonga, te pupuhi ranei me etahi atu tikanga, ka tukuna te taumata SiC ki runga i te taputapu hei hanga kiriata.Ko te kiriata i whakaritea e tenei tikanga he tino parakore me te tioata pai, engari he puhoi te tere o te whakaputa.
2. Te tukanga CVD: Ma te pakaru i te hau puna carbide silicon i te wera nui, ka tukuna ki runga i te taputapu hei hanga i tetahi kiriata kikokore.Ko te matotoru me te riterite o te kiriata kua whakaritea e tenei tikanga ka taea te whakahaere, engari he kino te ma me te tioata.
3. Te tipu o te epitaxial: te tipu o te paparanga epitaxial SiC i runga i te silicon monocrystalline, i etahi atu rauemi monocrystalline ranei ma te tikanga whakaheke matū kohu.Ko te paparanga epitaxial kua whakaritea e tenei tikanga he pai te rite me te pai o te mahi ki te papanga taputapu, engari he nui te utu.
三、Tono tono: Whakamarama te heke mai
Na te whanaketanga tonu o te hangarau hiko hiko me te piki haere o te tono mo nga mahi teitei me nga taputapu hiko tino pono, ko te kopae epitaxial silicon carbide he whanui te tono mo te hanga taputapu semiconductor.Kei te whakamahia nuitia i roto i te hanga o nga taputapu semiconductor teitei-nui, penei i te hiko hiko hiko, inverters, rectifiers, me etahi atu, he mea nui ano te whakamahi i roto i nga ruma o te ra, te LED me etahi atu mara.
Na ona painga mahi ahurei me te whakapai tonu o te mahi whakangao, ko te kopae epitaxial silicon carbide e whakaatu ana i tona kaha nui ki te mara semiconductor.He take to tatou ki te whakapono i nga wa kei te heke mai o te aoiao me te hangarau, ka whai waahi nui ake.
Te wa tuku: Noema-28-2023