Silicon carbide (SiC)Ko nga taonga he painga o te whanui whanui, te kaha o te waiariki, te kaha o te waahi pakaru tino nui, me te tere tere tere o te irahiko kukū, e tino pai ana i roto i te mara whakangao semiconductor. Ko nga kiripiri kotahi SiC ka mahia ma te tikanga kawe kohu tinana (PVT). Ko nga hikoinga motuhake o tenei tikanga ko te whakatakoto i te paura SiC ki raro o te graphite crucible me te whakatakoto i tetahi karaihe kakano SiC ki runga ake o te ipu. Ko te kauwhatawharikika whakamahana ki te pāmahana whakararo o SiC, ka pirau te paura SiC ki nga matū wahanga kohu penei i te kohu Si, Si2C, me te SiC2. I raro i te awe o te rōnaki pāmahana axial, ka whakahekehia enei matū ngohe ki te tihi o te parapara ka whakamatao ki runga i te mata o te karaihe kakano SiC, ka whakatioata ki te kiripiri kotahi SiC.
I tenei wa, ko te diameter o te karaihe kakano e whakamahia ana i rotoSiC tupu karaihe kotahime taurite ki te diameter o te karaihe kua whakaritea. I te wa e tipu ana, ka mauhia te karaihe kakano ki runga i te kakano pupuri i te tihi o te parapara ma te whakamahi i te whakapiri. Heoi, ko tenei tikanga whakatika i te karaihe kakano ka arai i nga take penei i te koretake i roto i te paparanga whakapiri na nga mea penei i te tika o te mata o te kaipupuri kakano me te riterite o te paninga piri, ka puta he kohakore hexagonal. Ko etahi o enei ko te whakapai ake i te papatahi o te pereti kauwhata, te whakanui ake i te riterite o te matotoru o te paparanga whakapiri, me te taapiri i te paparanga papaa ngawari. Ahakoa enei mahi, he take ano mo te kiato o te paparanga whakapiri, a he tupono kei te wehea te karaihe kakano. Ma te tango i te tikanga o te here i teangiangiki te pepa kauwhata me te inaki ki te tihi o te parapara, ka taea te whakapai ake te kiato o te paparanga whakapiri, ka taea te aukati i te wehenga o te angiangi.
1. Kaupapa Whakamatau:
Ko nga angiangi e whakamahia ana i roto i te whakamatautau kei te waatea ki te hokohoko6-inihi N-momo SiC angiangi. Ka tonohia te Photoresist ma te whakamahi i te paninga miro. Ka tutuki te whakapiringa ma te whakamahi i te oumu wera-wera purapura i whakawhanakehia e ia ano.
1.1 Te Kaupapa Whakatikatika Kiriata Kakano:
I tenei wa, ka taea te wehewehe i nga kaupapa taapiri kiripiri kakano SiC ki nga waahanga e rua: te momo whakapiri me te momo whakatara.
Mahinga Momo Whakapiri (Whakaahua 1): Ka uru tenei ki te hono i teAngiangi SiCki te pereti kauwhata me te paparanga o te pepa kauwhata hei paparanga parepare hei whakakore i nga waahi i waenga i ngaAngiangi SiCme te pereti kauwhata. I roto i te hanga tūturu, he ngoikore te kaha hononga i waenga i te pepa kauwhata me te pereti kauwhata, e arai atu ana ki te wehenga o te karaihe kakano i te wa o te tipu o te pāmahana teitei, ka hua te kore o te tipu.
Kaupapa Momo Whakatarewa (Whakaahua 2): Ko te tikanga, ka hangaia he kiriata waro mato ki runga i te mata hono o te angiangi SiC ma te whakamahi i te waro waro kapia me nga tikanga whakakikorua. Ko teAngiangi SiCka rawhi i waenganui i nga papa kauwhata e rua ka tuu ki te tihi o te ipu kawhata, kia mau tonu i te wa e tiakina ana e te kiriata waro te angiangi. Heoi, ko te hanga i te kiriata waro na roto i te paninga he utu nui, kaore e pai mo te hanga ahumahi. Ko te tikanga waro kapia ka puta te kounga o te kiriata waro, he uaua ki te tiki i tetahi kiriata waro tino mato me te piri kaha. Hei taapiri, ko te awhi i nga papa kauwhata ka whakaiti i te waahi tipu whai hua o te angiangi ma te aukati i tetahi waahanga o tona mata.
I runga i nga kaupapa e rua i runga ake nei, ka whakaarohia he kaupapa whakapiri me te inaki (Whakaahua 3):
Ka hangaia he kiriata waro ahua ki runga i te mata hono o te angiangi SiC ma te whakamahi i te tikanga whakangao kapia, kia kore ai e rere te rama i raro i te whakamarama.
Ko te angiangi SiC kua hipokina ki te kiriata waro ka herea ki te pepa kauwhata, ko te mata hono ko te taha kiriata waro. Ko te paparanga whakapiri kia pango rite i raro i te marama.
Ko te pepa kauwhata ka awhihia e nga papa kauwhata ka whakairihia ki runga ake o te ipu kawhata mo te tipu karaihe.
1.2 Whakapiri:
Ko te pokey o te photoresist ka tino pa ki te ahua o te matotoru o te kiriata. I te rite tonu te tere o te miro, ka hua te iti o te pokey ki nga kiriata whakapiri angiangi me te riterite. Na reira, ka tohua he photoresist iti-viscosity i roto i nga whakaritenga tono.
I te wa o te whakamatautau, i kitea ko te pokey o te whakapiri waro ka pa ki te kaha hononga i waenga i te kiriata waro me te angiangi. Ko te pokey teitei he uaua ki te tono orite ma te whakamahi i te kaitahuri hurihuri, engari ko te iti o te pokey ka hua te ngoikore o te kaha hononga, ka pakaru te kiriata waro i roto i nga tukanga honohono o muri mai na te rere o te piri me te pehanga o waho. Na roto i nga rangahau whakamatautau, i whakatauhia te viscosity o te whakapiri waro ki te 100 mPa·s, me te viscosity adhesive hono ki te 25 mPa·s.
1.3 Korehau Mahi:
Ko te tukanga o te hanga i te kiriata waro i runga i te angiangi SiC ka uru ki te waro i te paparanga piri ki runga i te mata angiangi SiC, me mahi i roto i te waahi korehau, arai-argon ranei. Ko nga hua whakamatautau e whakaatu ana he pai ake te ahua o te taiao tiaki argon ki te hanga kiriata waro i te taiao korehau teitei. Mena ka whakamahia he taiao korehau, me ≤1 Pa te taumata korehau.
Ko te tukanga o te hono i te karaihe kakano SiC ko te hono i te angiangi SiC ki te pereti kauwhata/pepa kauwhata. Ma te whakaaro ki te paheketanga o te hāora ki runga i nga rawa kauwhata i te wera nui, me whakahaere tenei mahi i raro i nga tikanga korehau. I akohia te paanga o nga taumata korehau rereke ki te paparanga whakapiri. Ko nga hua whakamatautau e whakaatuhia ana i te Ripanga 1. Ka kitea i raro i nga tikanga korehau iti, karekau i tino tangohia nga ngota ngota hāora i roto i te rangi, e arai ana ki nga paparanga piri kore oti. I te mea kei raro iho te taumata korehau i te 10 Pa, ka tino heke te paanga o nga ngota ngota hāora ki runga i te paparanga piri. I te mea kei raro iho te taumata o te korehau i te 1 Pa, ka tino whakakorea te paanga o te erosive.
Wā whakairinga: Hune-11-2024