Ko tetahi o nga waahanga matua otaputapu MOCVD, Ko te turanga graphite te kaikawe me te tinana whakawera o te tïpako, e whakatau tika ana i te rite me te ma o te rauemi kiriata, na tona kounga e pa tika ana ki te whakarite i te pepa epitaxial, me te wa ano, me te piki haere o te maha Ko nga whakamahinga me te whakarereketanga o nga tikanga mahi, he tino ngawari ki te kakahu, no nga mea pau.
Ahakoa he pai te kawe wera me te pumau o te kauwhata, he painga pai hei waahanga turanga otaputapu MOCVD, engari i roto i te tukanga whakaputa, ka pakaruhia e te graphite te paura na te toenga o nga hau kino me nga miihini whakarewa, a ka tino heke te oranga o te turanga graphite.I te wa ano, ko te paura kauwhata e hinga ana ka poke te maramara.
Ko te putanga o te hangarau whakakikorua ka taea te whakatika i te paura o te mata, te whakarei ake i te kawe werawera, me te whakaorite i te tohatoha wera, kua waiho hei hangarau matua hei whakaoti i tenei raru.Te turanga kauwhata kei rototaputapu MOCVDwhakamahi taiao, graphite paninga mata turanga me tutuki nga ahuatanga e whai ake nei:
(1) Ka taea te tino takai i te turanga kauwhata, a he pai te kiato, ki te kore he ngawari te pakaru o te turanga kauwhata i roto i te hau hau.
(2) Ko te kaha o te whakakotahitanga me te turanga kauwhata he teitei kia kore ai e ngawari te taka o te paninga i muri i te maha o nga huringa pāmahana teitei me te iti o te pāmahana.
(3) He pai te pumau matū hei karo i te kore o te paninga i roto i te pāmahana teitei me te hau kino.
Kei a SiC nga painga o te parenga waikura, te kawe waiariki teitei, te parenga waiariki me te pumau matū nui, ka pai te mahi i roto i te hau epitaxial GaN.I tua atu, he iti rawa te rereke o te whakarea whakareatanga wera o te SiC ki tera o te kauwhata, na reira ko te SiC te mea pai mo te paninga mata o te turanga kauwhata.
I tenei wa, ko te SiC noa te nuinga o te momo 3C, 4H me te 6H, a he rereke nga whakamahinga SiC o nga momo karaihe rereke.Hei tauira, ka taea e 4H-SiC te hanga i nga taputapu hiko teitei;Ko te 6H-SiC te tino pumau, ka taea te hanga i nga taputapu whakaahua hiko;Na tona hanganga rite ki a GaN, ka taea te whakamahi 3C-SiC ki te whakaputa i te paparanga epitaxial GaN me te hanga taputapu SiC-GaN RF.Ko te 3C-SiC e mohiotia ana koβ-SiC, me te whakamahi nui oβKo te SiC he kiriata me te papanga paninga, naβ-Ko SiC te mea matua mo te paninga.
Wā tuku: Noema-06-2023