Puha Silicon carbidewhai wāhi nui ki te hanga hiko hikohiko.He taputapu e whakamahia ana ki te rehu wai, haurehu ranei, he maha nga wa e whakamahia ana mo te maimoatanga matū maku i roto i te hanga semiconductor.Ko te puha Sic nga painga o te parenga teitei o te pāmahana, te aukati i te waikura me te aukati kakahu, na reira kua whakamahia nuitia i roto i te umanga whakangao hiko hiko.
I roto i te hanga hiko hiko,nozzles carbide siliconhe maha nga wa e whakamahia ana i roto i nga mahi whakakikorua me te horoi.Hei tauira, i roto i te tukanga photolithography, ka whakamahia he puha carbide silicon ki te rehu i te otinga photoresist ki runga i te angiangi kirikiri hei hanga tauira pai.Na te mea ko te puha carbide silicon nga ahuatanga o te rehu rite, ka taea e ia te whakarite i te tohatoha o te photoresist i runga i te mata o te angiangi silicon, na reira ka pai ake te whakaputa me te kounga o te hua.
I tua atu,nozzles carbide siliconhe maha nga wa e whakamahia ana i roto i nga tikanga horoi.I te wa o te hangahanga semiconductor, me horoi nga angiangi silicon ki te tango i nga poke o te mata me nga poke.Ka taea e nga puha Silicon carbide te horoi i te mata o nga angiangi silicon ma te pupuhi i te hau tere-tere, i nga rongoa matū ranei, ka pai te tango i nga parahanga me te whakapai ake i te pono me te pumau o te mahi whakangao.
Mo nga umanga whakangao hiko hiko, he mea nui ki te whiriwhiri i te puha carbide silicon tika.Tuatahi, ko tepupuha carbide siliconme tino kaha te parenga o te pāmahana ki te whakatutuki i te taiao teitei o te pāmahana i roto i te mahi whakangao.Tuarua, he mea nui ano te aukati i te waikura, na te mea ka whakamahia etahi matū penei i te waikawa kaha me te turanga i roto i te hangahanga.I tua atu, he mea whakaaro ano te aukati kakahu, na te mea ka tau te puha ki te waku me te kakahu i te wa e whakamahia ana.
Hei whakapai ake i te mahi o nga puha carbide silicon, ka whakamahia e nga kaihanga etahi tikanga hanga matatau.Hei tauira, he mea hanga nga puha mai i nga rawa carbide silicon parakore kia pai ai te pumau o o raatau ahuatanga tinana me te matū.I tua atu, na roto i te tukatuka tika me te maimoatanga o te mata, ka taea te whakapai ake i te painga o te rehu me te oranga ratonga o te nozzle carbide silicon.
I roto i te poto, he mahi nui nga puha carbide silicon ki te hanga hiko hiko.Kei a ratou nga painga o te teitei o te pāmahana, te waikura me te whakakakahu ka taea te whakamahi i roto i te rehu wai, maimoatanga hau ranei.Ko nga umanga whakangao hiko hiko me whiriwhiri i te nozzle carbide silicon tika me te whakamahi i nga hangarau whakangao matatau hei whakapai ake i te pai o te mahi whakangao me te kounga hua.
He nui te mahi a te Silicon carbide nozzles ki te hanga hiko hiko.Kei a ratou nga painga o te teitei o te pāmahana, te waikura me te whakakakahu ka taea te whakamahi i roto i te rehu wai, maimoatanga hau ranei.I roto i te tukanga photolithography, ka taea e te nozzle carbide silicon te rehu i te otinga photoresist ki runga i te wafer silicon, te whakapai ake i te pai o te whakaputa me te kounga o te hua.I roto i te tukanga horoi, ka taea e te carbide nozzle te horoi i te mata o te wafer silicon ma te pupuhi i te rere o te hau tere tere, te rehu ranei i te otinga matū, te tango i nga mea poke, me te whakapai ake i te pono me te pumau o te tukanga hangahanga.Ko nga umanga whakangao hiko hiko me whiriwhiri i te nozzle carbide silicon tika me te whakamahi i nga hangarau whakangao matatau hei whakapai ake i te pai o te mahi whakangao me te kounga hua.
Wā tuku: Tihema-26-2023