I roto i te mekameka ahumahi semiconductor, ina koa i te tuatoru-whakatupuranga semiconductor (whanui bandgap semiconductor) mekameka ahumahi, kei reira nga taputapu meepitaxialpaparanga. He aha te hiranga o teepitaxialpaparanga? He aha te rereketanga i waenga i te taputapu me te taputapu?
Ko te tïpako he aangiangihanga o semiconductor rauemi karaihe kotahi. Ka taea e te tïpako te uru tika ki teangiangihononga hangahanga ki te whakaputa i nga taputapu semiconductor, ka taea ranei te tukatuka ma teepitaxialte tukanga ki te hanga angiangi epitaxial. Ko te tïpako ko te raro o teangiangi(tapahia te angiangi, ka taea e koe te mate kotahi i muri i tetahi, ka kohia hei maramara rongonui) (te tikanga, ko te raro o te maramara ka whakakikoruatia ki te paparanga koura o muri, ka whakamahia hei hononga "whenua", engari he mea hanga i roto i te tukanga o muri), me te turanga e mau ana i te mahi tautoko katoa (ko te skyscraper i roto i te maramara ka hangaia ki runga i te taputapu).
Ko te Epitaxy e pa ana ki te tukanga o te whakatipu karaihe kotahi hou i runga i te taputapu karaihe kotahi kua ata tukatukahia e te tapahi, te huri, te whakakorikori, me etahi atu. (homoepitaxial or heteroepitaxial).
I te mea ka tipu te paparanga karaihe kotahi hou i te taha o te wahanga karaihe tïpako, ka kiia he paparanga epitaxial (te nuinga he maha nga microns te matotoru. Tangohia te hiraka hei tauira: ko te tikanga o te tipu epitaxial silicon ko te whakatipu i tetahi paparanga karaihe me te tika o te hanganga lattice. i runga i te takai kirikiri karaihe kotahi me te ahua o te karaihe me te rerekee o te parenga me te matotoru rite te tïpako), a ko te tïpako me te paparanga epitaxial e kiia ana he angiangi epitaxial (epitaxial wafer = paparanga epitaxial + tïpako). Ka mahia te hanga taputapu i runga i te paparanga epitaxial.
Kua wehea te epitaxiality ki te homoepitaxiality me te heteroepitaxiality. Ko te Homoepitaxiality he whakatipu i tetahi paparanga epitaxial o te mea rite ki te tïpako i runga i te tïpako. He aha te hiranga o te homoepitaxiality? - Whakapai ake i te pumau me te pono o nga hua. Ahakoa ko te homoepitaxiality ko te whakatipu i tetahi paparanga epitaxial o te mea rite ki te tïpako, ahakoa he rite te rauemi, ka taea e ia te whakapai ake i te maa me te riterite o te mata angiangi. Ka whakatauritea ki nga angiangi orohia i mahia e te miihini miihini, ko te tïpako i tukatukahia e te epitaxiality he teitei te papatahi o te mata, te ma, te iti o nga koha moroiti, me te iti o nga poke o te mata. Na reira, he rite ake te parenga, a he maamaa ake te whakahaere i nga koha o te mata penei i nga matūriki mata, nga hapa o te tapapa, me nga wehenga. Ko te Epitaxy kaore i te whakapai ake i nga mahi hua, engari ka whakarite hoki i te pumau me te pono o te hua.
He aha nga painga o te hanga i tetahi atu paparanga o nga ngota silicon epitaxial ki runga i te tïpako angiangi silicon? I roto i te tukanga silicon CMOS, ko te tipu o te epitaxial (EPI, epitaxial) i runga i te taputapu angiangi he mahi tino nui.
1. Whakapai ake i te kounga tioata
Nga koha me nga poke o te tïpako tuatahi: He koha me te poke o te tïpako angiangi i te wa o te hangahanga. Ka taea e te tipu o te paparanga epitaxial te whakaputa i tetahi paparanga kirikiri kirikiri-kiriata-kounga-kounga-kounga-nui, iti-kohakore me te poke-kotahi i runga i te tïpako, he mea tino nui mo te hanga taputapu o muri mai. Hanganga karaihe rite: Ka taea e te tipu o te Epitaxial te whakarite kia pai ake te ahua o te hanganga karaihe, te whakaiti i te awe o nga rohe o te witi me nga hapa i roto i te rauemi tïpako, me te whakapai ake i te kounga karaihe o te angiangi katoa.
2. Whakapai ake i te mahi hiko
Arotauhia nga ahuatanga o te taputapu: Ma te whakatipu i te paparanga epitaxial i runga i te tïpako, ka taea te whakahaere i te kukū o te doping me te momo silicon ki te arotau i te mahi hiko o te taputapu. Hei tauira, ka taea e te doping o te paparanga epitaxial te whakatika tika i te ngaohiko paepae me etahi atu tawhā hiko o te MOSFET. Whakaitihia te rerenga o naianei: Ko nga paparanga epitaxial-kounga teitei he iti ake te kiato koha, e awhina ana ki te whakaheke i te rerenga rerenga o te taputapu, na reira ka pai ake te mahi me te pono o te taputapu.
3. Tautoko i nga pona tukanga matatau
Te whakaiti i te rahi o te ahua: I roto i nga pona tukanga iti ake (penei i te 7nm, 5nm), kei te heke haere tonu te rahi o te ahua o te taputapu, e hiahia ana kia pai ake nga rauemi parakore me te kounga teitei. Ka taea e te hangarau tipu epitaxial te whakatutuki i enei whakaritenga me te tautoko i nga mahi-nui me te whakahiato-tiketike ki te hanga iahiko whakauru. Whakapai ake te ngaohiko pakaru: Ka taea te hoahoa te paparanga epitaxial kia teitei ake te ngaohiko pakaru, he mea tino nui mo te hanga i nga taputapu hiko teitei me te ngaohiko teitei. Hei tauira, i roto i nga taputapu hiko, ka taea e te paparanga epitaxial te whakanui ake i te ngaohiko pakaru o te taputapu me te whakanui ake i te awhe whakahaere haumaru.
4. Tukatuka hototahi me te hanganga papa-maha
Hanganga-papa-maha: Ko te hangarau tipu epitaxial ka taea e nga hanganga paparanga-maha te whakatipu i runga i te tïpako, me nga paparanga rereke ka rereke nga momo doping me nga momo. He tino awhina tenei mo te hanga taputapu CMOS matatini me te whakatutuki i te whakaurunga-toru. Hototahi: Ko te tukanga tipu epitaxial he tino hototahi ki nga tikanga hangahanga CMOS o naianei, a ka taea te whakauru ngawari ki roto i nga mahi hangahanga o naianei me te kore e whakarereke i nga raina mahi.
Wā tuku: Hūrae-16-2024