Semiconductor SiC pania monocrystalline silicon epitaxial kōpae

Whakaahuatanga Poto:

Ko Semicera Energy Technology Co., Ltd. he kaiwhakarato matua e whai hua ana ki te angiangi me nga taputapu semiconductor matatau.Kei te whakatapua matou ki te whakarato i nga hua-kounga teitei, pono, me nga hua hou ki te hanga semiconductor,ahumahi photovoltaicme etahi atu mara e pa ana.

Kei roto i ta maatau rarangi hua nga hua graphite whakakikoruatia SiC/TaC me nga hua uku, kei roto i nga momo taonga penei i te carbide silicon, silicon nitride, me te konumohe waikura me etahi atu.

Hei kaiwhakarato pono, e mohio ana matou ki te hiranga o nga kai pau i roto i nga mahi whakangao, a ka whakapau kaha matou ki te tuku hua e tutuki ana ki nga paerewa kounga teitei hei whakatutuki i nga hiahia o o taatau kaihoko.

Tukuna he imeera ki a matou

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Whakaahuatanga

Ka whakaratohia e to maatau kamupenepaninga SiCnga ratonga tukatuka ma te tikanga CVD i runga i te mata o te kauwhata, te karamu me etahi atu rawa, kia tauhohe ai nga hau motuhake kei roto i te waro me te silicon i te pāmahana teitei kia whiwhi i nga ngota ngota SiC parakore teitei, nga ngota ngota ka waiho ki runga i te mata o nga mea pani, ka hangaPaparanga tiaki SIC.

Nga waahanga matua

1. Te teitei o te wera o te waikura:
he tino pai tonu te parenga waiora i te wa e teitei ana te pāmahana ki te 1600 C.
2. Te parakore teitei: i hangaia e te waipara matū matū i raro i te ahua o te maota o te pāmahana teitei.
3. Atete te horo: te pakeke teitei, te mata kiato, nga matūriki pai.
4. Te aukati waikura: te waikawa, te kawakore, te tote me nga reagents waro.

Nga Whakatakotoranga Matua o te Whakakikorua CVD-SIC

Nga Taonga SiC-CVD
Hanganga Kiriata	FCC β wāhanga
Kiato	g/cm³	3.21
Te pakeke	Vickers pakeke	2500
Rahi witi	μm	2~10
Te Maamaa	%	99.99995
Raukaha Wera	J·kg-1 ·K-1	640
Te Mahana Whakararo	℃	2700
Te Kaha Felexural	MPa (RT 4-point)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt piko, 1300℃)	430
Roha Ngawha (CTE)	10-6K-1	4.5
Te kawe werawera	(W/mK)	300