I roto i nga mahi hangarau hiko o enei ra, he mea tino nui nga rauemi semiconductor. I roto ia ratou,carbide silicon (SiC)hei rauemi semiconductor mokowhiti whanui, me ona painga pai o te mahi, penei i te waahi hiko pakaru nui, te tere waiwai, te kawe waiariki teitei, me etahi atu, kei te kaha haere te aro o nga kairangahau me nga miihini. Ko tekopae epitaxial silicon carbide, hei waahanga nui o taua mea, kua whakaatuhia te kaha tono nui.
一, mahi kōpae epitaxial: tino painga
1. Ultra-tiketike breakdown mara hiko: whakaritea ki ngā rauemi silicon tuku iho, te mara hiko pakaru ocarbide siliconneke atu i te 10 nga wa. Tenei te tikanga i raro i te taua ngaohiko tikanga, whakaaro hiko te whakamahikopae epitaxial silicon carbideKa taea e ia te tu atu i nga oma teitei, na reira ka hanga ngaohiko teitei, ngaohiko teitei, nga taputapu hiko teitei.
2. High-tere waiwai tere: te tere waiwai ocarbide siliconneke atu i te 2 nga wa o te silicon. Mahi i te pāmahana tiketike, me te tere tiketike, tekopae epitaxial silicon carbidehe pai ake te mahi, ka tino pai ake te pumau me te pono o nga taputapu hiko.
3. He pai te kaha o te kawe wera: ko te kawe wera o te carbide silicon he nui ake i te 3 nga wa o te silicon. Ma tenei ahuatanga ka taea e nga taputapu hiko te whakakore i te wera i te wa e mahi tonu ana te mana kaha, na reira ka aukati i te wera me te whakapai ake i te haumaru o te taputapu.
4. He pai te pumau matū: i roto i nga taiao tino nui penei i te teitei o te pāmahana, te pehanga teitei me te rauropi kaha, kei te mau tonu te mahi o te carbide silicon i mua. Ma tenei ahuatanga ka taea e te kopae epitaxial silicon carbide te pupuri i nga mahi pai i mua i nga taiao uaua.
二, tukanga hanga: āta whakairo
Ko nga mahinga matua mo te hanga SIC epitaxial kōpae ko te whakaheke kohu tinana (PVD), ko te whakaheke matū (CVD) me te tipu epitaxial. Kei ia o enei mahinga ona ake ahuatanga, me te whakahaere tika i nga momo tawhā hei whakatutuki i nga hua pai.
1. Te tukanga PVD: Ma te whakaetonga, te pupuhi ranei me etahi atu tikanga, ka tukuna te taumata SiC ki runga i te taputapu hei hanga kiriata. Ko te kiriata i whakaritea e tenei tikanga he tino parakore me te tioata pai, engari he puhoi te tere o te whakaputa.
2. Te tukanga CVD: Ma te pakaru i te hau puna carbide silicon i te wera nui, ka tukuna ki runga i te taputapu hei hanga i tetahi kiriata kikokore. Ko te matotoru me te riterite o te kiriata kua whakaritea e tenei tikanga ka taea te whakahaere, engari he kino te ma me te tioata.
3. Te tipu o te epitaxial: te tipu o te paparanga epitaxial SiC i runga i te silicon monocrystalline, i etahi atu rauemi monocrystalline ranei ma te tikanga whakaheke matū kohu. Ko te paparanga epitaxial kua whakaritea e tenei tikanga he pai te rite me te pai o te mahi ki te papanga taputapu, engari he nui te utu.
三、Tono tono: Whakamarama te heke mai
Na te whanaketanga tonu o te hangarau hiko hiko me te piki haere o te tono mo nga mahi teitei me nga taputapu hiko tino pono, ko te kopae epitaxial silicon carbide he whanui te tono mo te hanga taputapu semiconductor. Kei te whakamahia nuitia i roto i te hanga o nga taputapu semiconductor teitei-nui, penei i te hiko hiko hiko, inverters, rectifiers, me etahi atu, he mea nui ano te whakamahi i roto i nga ruma o te ra, te LED me etahi atu mara.
Na ona painga mahi ahurei me te whakapai tonu o te mahi whakangao, ko te kopae epitaxial silicon carbide e whakaatu ana i tona kaha nui ki te mara semiconductor. E whai take ana matou ki te whakapono i te wa kei te heke mai o te aoiao me te hangarau, ka whai waahi nui ake.
Te wa tuku: Noema-28-2023