Anti-oxidation parakore teitei SiC pani MOCVD paepae

Whakaahuatanga Poto:

Ko Semicera Energy Technology Co., Ltd. he kaiwhakarato matua e whai hua ana ki te angiangi me nga taputapu semiconductor matatau.Kei te whakatapua matou ki te whakarato i nga hua-kounga teitei, pono, me nga hua hou ki te hanga semiconductor,ahumahi photovoltaicme etahi atu mara e pa ana.

Kei roto i ta maatau rarangi hua nga hua graphite whakakikoruatia SiC/TaC me nga hua uku, kei roto i nga momo taonga penei i te carbide silicon, silicon nitride, me te konumohe waikura me etahi atu.

Hei kaiwhakarato pono, e mohio ana matou ki te hiranga o nga kai pau i roto i nga mahi whakangao, a ka whakapau kaha matou ki te tuku hua e tutuki ana ki nga paerewa kounga teitei hei whakatutuki i nga hiahia o o taatau kaihoko.

 

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Whakaahuatanga

Ka whakaratohia e to maatau kamupenepaninga SiCnga ratonga tukatuka ma te tikanga CVD i runga i te mata o te kauwhata, te karamu me etahi atu rawa, kia tauhohe ai nga hau motuhake kei roto i te waro me te silicon i te teitei o te pāmahana ki te whiwhi i nga ngota ngota SiC parakore teitei, nga ngota ngota ka waiho ki runga i te mata o nga mea pani, ka hanga hePaparanga tiaki SiC.

 

Nga waahanga matua

1. Te teitei o te pāmahana aukati waiora:
he tino pai tonu te parenga waiora i te wa e teitei ana te pāmahana ki te 1600 C.
2. Te parakore teitei: i hangaia e te waipara matū matū i raro i te ahua o te maota o te pāmahana teitei.
3. Atete te horo: te pakeke teitei, te mata kiato, nga matūriki pai.
4. Te aukati waikura: te waikawa, te kawakore, te tote me nga reagents waro.

Nga Whakatakotoranga Matua o te Whakakikorua CVD-SIC

Nga Taonga SiC-CVD
Hanganga Kiriata FCC β wāhanga
Kiato g/cm³ 3.21
Te pakeke Vickers pakeke 2500
Rahi witi μm 2~10
Te Maamaa % 99.99995
Raukaha Wera J·kg-1 ·K-1 640
Te Mahana Whakararo 2700
Te Kaha Felexural MPa (RT 4-point) 415
Young's Modulus Gpa (4pt piko, 1300℃) 430
Roha Ngawha (CTE) 10-6K-1 4.5
Te kawe werawera (W/mK) 300
MOCVD EPITAXIAL PARTS
Kopae MOCVD

Kōtaha Kamupene

Ko Semicera Energy tetahi o nga kaihanga me nga kaiwhakarato o nga paera pepa epitaxial silicon carbide i Haina. Ko o maatau hua matua ko: Pereti riki carbide silicon, riipene waka carbide silicon,poti angiangi silicon carbide(PV & Semiconductor), ngongo oumu carbide silicon,nga hoe carbide cantilever, chucks carbide silicon, kurupae carbide silicon, as well asKo nga paninga CVD SiCme nga paninga TaC.

Ko te nuinga o nga hua e whakamahia ana i roto i nga ahumahi semiconductor me te photovoltaic, penei i te tipu o te karaihe, te epitaxy, te etching, te kapi, te paninga me te taputapu oumu diffusion. Hokona nga paera pepa epitaxial pania SIC me nga utu iti mai i ta maatau wheketere. Kei a maatau ake te waitohu me te tautoko hoki i te nuinga. Mena kei te pirangi koe ki a maatau hua, ka hoatu e matou he utu iti. Nau mai ki a maatau hua utu utu kounga teitei.

Kei a taatau kamupene nga taputapu whakaputa katoa penei i te whakakikorua, te sintering, te tukatuka, nga taputapu whakakikorua, me etahi atu, ka taea te whakaoti i nga hononga katoa e tika ana mo te whakaputa hua me te kaha ake o te mana whakahaere o te kounga o te hua; Ko te mahere whakaputa tino pai ka taea te whiriwhiri i runga i nga hiahia o te hua, ka iti ake te utu me te whakarato i nga kaihoko ki nga hua whakataetae; Ka taea e taatau te whakarite i nga mahi hangai i runga i nga whakaritenga tuku ota me te hono atu ki nga punaha whakahaere ota ipurangi, ka tere ake te wa tuku ki nga kaihoko.
mo (2)

Taputapu

mō


  • Tōmua:
  • Panuku: