Whakaahuatanga
Ka whakaratohia e to maatau kamupenepaninga SiCnga ratonga tukatuka ma te tikanga CVD i runga i te mata o te kauwhata, te karamu me etahi atu rawa, kia tauhohe ai nga hau motuhake kei roto i te waro me te silicon i te teitei o te pāmahana ki te whiwhi i nga ngota ngota SiC parakore teitei, nga ngota ngota ka waiho ki runga i te mata o nga mea pani, ka hanga hePaparanga tiaki SiC.
Nga waahanga matua
1. Te teitei o te pāmahana aukati waiora:
he tino pai tonu te parenga waiora i te wa e teitei ana te pāmahana ki te 1600 C.
2. Te parakore teitei: i hangaia e te waipara matū matū i raro i te ahua o te maota o te pāmahana teitei.
3. Atete te horo: te pakeke teitei, te mata kiato, nga matūriki pai.
4. Te aukati waikura: te waikawa, te kawakore, te tote me nga reagents waro.
Nga Whakatakotoranga Matua o te Whakakikorua CVD-SIC
Nga Taonga SiC-CVD | ||
Hanganga Kiriata | FCC β wāhanga | |
Kiato | g/cm³ | 3.21 |
Te pakeke | Vickers pakeke | 2500 |
Rahi witi | μm | 2~10 |
Te Maamaa | % | 99.99995 |
Raukaha Wera | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
Te Mahana Whakararo | ℃ | 2700 |
Te Kaha Felexural | MPa (RT 4-point) | 415 |
Young's Modulus | Gpa (4pt piko, 1300℃) | 430 |
Roha Ngawha (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
Te kawe werawera | (W/mK) | 300 |
Kōtaha Kamupene
Ko Semicera Energy tetahi o nga kaihanga me nga kaiwhakarato o nga paera pepa epitaxial silicon carbide i Haina. Ko o maatau hua matua ko: Pereti riki carbide silicon, riipene waka carbide silicon,poti angiangi silicon carbide(PV & Semiconductor), ngongo oumu carbide silicon,nga hoe carbide cantilever, chucks carbide silicon, kurupae carbide silicon, as well asKo nga paninga CVD SiCme nga paninga TaC.
Ko te nuinga o nga hua e whakamahia ana i roto i nga ahumahi semiconductor me te photovoltaic, penei i te tipu o te karaihe, te epitaxy, te etching, te kapi, te paninga me te taputapu oumu diffusion. Hokona nga paera pepa epitaxial pania SIC me nga utu iti mai i ta maatau wheketere. Kei a maatau ake te waitohu me te tautoko hoki i te nuinga. Mena kei te pirangi koe ki a maatau hua, ka hoatu e matou he utu iti. Nau mai ki a maatau hua utu utu kounga teitei.
Kei a taatau kamupene nga taputapu whakaputa katoa penei i te whakakikorua, te sintering, te tukatuka, nga taputapu whakakikorua, me etahi atu, ka taea te whakaoti i nga hononga katoa e tika ana mo te whakaputa hua me te kaha ake o te mana whakahaere o te kounga o te hua; Ko te mahere whakaputa tino pai ka taea te whiriwhiri i runga i nga hiahia o te hua, ka iti ake te utu me te whakarato i nga kaihoko ki nga hua whakataetae; Ka taea e taatau te whakarite i nga mahi hangai i runga i nga whakaritenga tuku ota me te hono atu ki nga punaha whakahaere ota ipurangi, ka tere ake te wa tuku ki nga kaihoko.