2. Tukanga Whakamatau
2.1 Whakaorangia o te Kiriata Whakapiri
I kitea ko te hanga tika i te kiriata waro, te hono ranei ki te pepa kauwhataNga angiangi SiCi whakakikoruatia ki te whakapiri i puta he maha nga take:
1. I raro i nga tikanga korehau, te kiriata whakapiri i rungaNga angiangi SiChe ahua rite ki te unahi na te nui o te tukunga o te hau, ka puta te porosity o te mata. Na tenei i aukati i nga papa whakapiri kia pai te hono i muri i te warohanga.
2. I te wa e hono ana, teangiangime tuu ki runga i te pepa kauwhata i te wa kotahi. Mena ka puta ano te tuunga, ka taea e te pehanga koretake te whakaiti i te riterite o te whakapiri, ka pa kino ki te kounga hononga.
3. I roto i nga mahi korehau, na te tukunga o te hau mai i te paparanga piri ka tihorea me te hanga o nga kohao maha i roto i te kiriata whakapiri, ka puta he koha herenga. Hei whakatika i enei take, whakamaroke i mua i te whakapiri i runga i tete angiangiKa tūtohuhia te whakapiri i te mata ma te whakamahi i te pereti wera i muri i te paninga miro.
2.2 Tukanga Waowao
Te tukanga o te hanga kiriata waro i runga i teSiC kakano angiangime te hono ki te pepa kauwhata me whakamaarama te paparanga piri ki te pāmahana motuhake kia pai ai te piri. Ko te warohanga kore o te paparanga piri ka taea te pirau i te wa e tipu ana, ka tuku i nga poke e pa ana ki te kounga o te tipu o te karaihe. Na reira, ko te whakarite kia oti te warohanga o te paparanga whakapiri he mea tino nui mo te hononga kiato tiketike. Ka tirohia e tenei rangahau te paanga o te pāmahana ki te warohanga whakapiri. He paparanga taurite o te photoresist i hoatu ki teangiangimata ka tuu ki roto i te oumu ngongo i raro i te korehau (<10 Pa). I whakaarahia te pāmahana ki nga taumata tatūkē (400 ℃, 500 ℃, me te 600 ℃) ka pupurihia mo te 3-5 haora ki te whakatutuki i te waro.
Kua tohua nga whakamatautau:
I te 400 ℃, i muri i te 3 haora, karekau te kiriata piri i te waro ka puta he whero pouri; karekau he huringa nui i kitea i muri i nga haora 4.
I te 500 ℃, i muri i nga haora 3, ka pango te kiriata engari ka tukuna tonu te marama; kaore he huringa nui i muri i te 4 haora.
I te 600 ℃, i muri i nga haora 3, ka pango te kiriata me te kore e marama te tuku, e tohu ana i te warohanga kua oti.
No reira, me ≥600 ℃ te pāmahana hononga pai.
2.3 Tukanga Tono Whakapiri
Ko te riterite o te kiriata whakapiri he tohu tino nui mo te arotake i te tukanga tono whakapiri me te whakarite i tetahi paparanga honohono rite. Ka tirotirohia e tenei waahanga te tere miro tino pai me te wa whakakikorua mo nga momo matotoru o te kiriata whakapiri. Te ōritetanga
Ko te u o te matotoru kiriata kua tautuhia ko te ōwehenga o te matotoru kiriata iti Lmin ki te matotoru kiriata teitei Lmax i runga i te waahi whaihua. E rima nga tohu i runga i te angiangi i tohua hei ine i te matotoru o te kiriata, a ka tatauhia te riterite. Ko te Whakaahua 4 e whakaatu ana i nga tohu ine.
Mo te hononga kiato teitei i waenga i te angiangi SiC me nga waahanga kauwhata, ko te 1-5 µm te matotoru o te kiriata whakapiri. I whiriwhiria he 2 µm te matotoru o te kiriata, e tika ana mo te whakarite kiriata waro me nga tukanga here pepa angiangi/graphite. Ko nga tawhā whakakikorua pai rawa atu mo te whakapiri waro he 15 s i te 2500 r/min, a mo te whakapiri hono, 15 s i te 2000 r/min.
2.4 Te Tukatuka Hononga
I te wa e hono ana te angiangi SiC ki te pepa graphite/graphite, he mea nui ki te whakakore rawa i nga hau me nga hau pararopi i puta i te wa whakangao mai i te paparanga hononga. Ko te whakakore i te hau ka puta he korekore, ka puta he paparanga hononga kore-matotoru. Ka taea te whakakore i te hau me te hau ma te whakamahi i te papu hinu miihini. I te timatanga, ko te mahi tonu o te papu miihini ka whakarite kia tae te ruma korehau ki tona rohe, ka taea te tango hau katoa mai i te paparanga hononga. Ka taea e te pikinga tere o te pāmahana te aukati i te whakakorenga hau i te waa i te wa o te warohanga wera-nui, ka puta he kore i roto i te paparanga hononga. Ko nga ahuatanga whakapiri e tohu ana i te hauhautanga nui i te ≤120 ℃, ka noho i runga ake i tenei pāmahana.
Ka whakamahia te pehanga o waho i te wa e hono ana hei whakarei ake i te kiato o te kiriata whakapiri, e pai ai te peia o te hau me te hau pararopi, ka puta he paparanga hononga teitei.
Hei whakarāpopototanga, i whakawhanakehia te ānau hātepe hononga e whakaatuhia ana i te Whakaahua 5. I raro i te pehanga motuhake, ka whakanuia te paohana ki te wera o te hau (~ 120 ℃) ka pupuri kia oti ra ano te whakakore. Na, ka whakanuia te pāmahana ki te pāmahana warohanga, ka mau tonu mo te roanga e hiahiatia ana, ka whai i te whakamatao taiao ki te pāmahana rūma, te tuku pehanga, me te tango i te angiangi here.
E ai ki te waahanga 2.2, me warohia te kiriata whakapiri ki te 600 ℃ mo te 3 haora neke atu. Na reira, i roto i te ānau tukanga hononga, kua whakaritea te T2 ki te 600 ℃ me te t2 ki te 3 haora. Ko nga uara tino pai mo te anau tukanga honohono, i whakatauhia ma nga whakamatautau orthogonal e ako ana i nga paanga o te pehanga hononga, te wa whakamahana tuatahi t1, me te wa whakamahana tuarua t2 ki nga putanga hononga, e whakaatuhia ana i nga Ripanga 2-4.
Kua tohua nga hua:
I te pehanga hononga o te 5 kN, he iti noa te paanga o te wa whakawera ki te hononga.
I te 10 kN, ka heke te waahi kore i roto i te paparanga hononga me te roa o te whakamahana tuatahi.
I te 15 kN, ko te whakaroa i te whakamahana tuatahi ka tino whakaitihia nga koretake, ka mutu ka whakakorea.
Ko te paanga o te wa whakamahana tuarua ki te honohono kaore i kitea i roto i nga whakamatautau orthogonal. Ko te whakatika i te pehanga hononga i te 15 kN me te wa whakamahana tuatahi i te 90 min, ko nga wa whakamahana tuarua o te 30, 60, me te 90 min ka puta katoa nga papahanga honohono kore-kore, e tohu ana i te wa whakamahana tuarua. he iti te paanga ki te hononga.
Ko nga uara tino pai mo te arai tukanga honohono ko: te pehanga hononga 15 kN, te wa whakamahana tuatahi 90 min, te waahi tuatahi 120 ℃, te wa whakamahana tuarua 30 min, te waahi tuarua 600 ℃, me te wa pupuri tuarua. 3 haora.
Wā whakairinga: Hune-11-2024