Ko Semicera's 4", 6", me te 8" N-type SiC Ingots e tohu ana i te pakaruhanga i roto i nga rauemi semiconductor, i hangaia ki te whakatutuki i nga hiahia piki ake o nga punaha hiko me te mana hiko hou. mahi me te roa.
Ka hangaia a maatau momo N-momo SiC ma te whakamahi i nga tikanga whakangao matatau e whakarei ana i o raatau hiko me te pumau o te waiariki. Ma tenei ka tino pai mo nga tono hiko-nui me te tere-nui, penei i nga hurihuri, transistors, me etahi atu taputapu hiko hiko he mea nui te pai me te pono.
Ko te doping tika o enei ingots e whakarite ana ka tukuna e ratou nga mahi rite me te tukurua. He mea nui tenei rite mo nga kaiwhakawhanake me nga kaihanga e pana ana i nga rohe o te hangarau i roto i nga mara penei i te aerospace, automotive, me te waea. Ko nga ingots SiC a Semicera ka taea te hanga o nga taputapu e mahi pai ana i raro i nga ahuatanga tino kino.
Ko te whiriwhiri i nga N-momo SiC Ingots a Semicera ko te whakauru i nga rawa ka taea te hapai i nga wera teitei me nga uta hiko teitei me te ngawari. Ko enei ingots e tino pai ana mo te hanga i nga waahanga e hiahia ana ki te whakahaere i te waiariki pai me te mahi tere-tere, penei i nga whakakaha RF me nga waahanga hiko.
Ma te whiriwhiri mo Semicera's 4", 6", me te 8" N-momo SiC Ingots, kei te haumi koe ki tetahi hua e whakakotahi ana i nga rawa rawa me te tino tika me te pono e hiahiatia ana e nga hangarau semiconductor tapahi-mata. Kei te arahi tonu a Semicera i te ahumahi ma te whakarato otinga auaha e akiaki ana i te ahu whakamua o te hanga taputapu hiko.
| Nga taonga | Whakaputa | Rangahau | Porekau |
| Tawhā Kiriata | |||
| Polytype | 4H | ||
| Hapa takotoranga mata | <11-20 >4±0.15° | ||
| Tawhā Hiko | |||
| Dopant | n-momo Nitrogen | ||
| Te ātete | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Tawhā Hangarau | |||
| Diamita | 150.0±0.2mm | ||
| Mātotoru | 350±25 μm | ||
| Te takotoranga papa tuatahi | [1-100]±5° | ||
| Te roa papatahi tuatahi | 47.5±1.5mm | ||
| Papatahi tuarua | Karekau | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Kopere | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Mua (Si-mata) taratara (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Hanganga | |||
| Kiato paipa moroiti | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Nga poke whakarewa | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kounga o mua | |||
| Mua | Si | ||
| Whakamutu mata | Si-mata CMP | ||
| Matūriki | ≤60ea/wafer (rahi≥0.3μm) | NA | |
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm. Roa whakaemi ≤Diameter | Roa whakahiato≤2*Diameter | NA |
| Te kiri karaka/rua/wauwau/wauwau/kapiti/parahanga | Karekau | NA | |
| Nga kongakonga taha/nuo/whawhati/papa hex | Karekau | ||
| Nga waahi polytype | Karekau | Horahanga whakahiato≤20% | Horahanga whakahiato≤30% |
| Tohu taiaho o mua | Karekau | ||
| Kounga Whakamuri | |||
| Mutunga tuara | C-kanohi CMP | ||
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm, Roa whakahiato≤2* Diameter | NA | |
| He koha ki muri (nga maramara tapa) | Karekau | ||
| Te taratara o muri | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Te tohu taiaho tuara | 1 mm (mai i te taha o runga) | ||
| Tapa | |||
| Tapa | Chamfer | ||
| Te takai | |||
| Te takai | Epi-reri me te takai korehau Takai rīpene angiangi maha | ||
| *Tuhipoka: "NA" te tikanga karekau he tono Ko nga taonga kaore i whakahuahia ka pa ki te SEMI-STD. | |||
