Utauta Kawhata Whakakikorua Silicon Carbide, mo te Toi Epitaxy

Whakaahuatanga Poto:

Kei te tuku a Semicera i te whānuitanga matawhānui o te susceptors me nga waahanga graphite i hangaia mo nga momo reactors epitaxy.

Na roto i nga hononga rautaki me nga OEM arataki-ahumahi, nga tohungatanga rawa nui, me nga kaha whakangao matatau, ka tukuna e Semicera nga hoahoa kua whakaingoatia ki te whakatutuki i nga whakaritenga motuhake o to tono. Ko ta matou piripono ki te hiranga ka whakarite kia whiwhi koe i nga otinga tino pai mo o hiahia reactor epitaxy.

 


Taipitopito Hua

Tohu Hua

Whakaahuatanga

Ka whakaratohia e to taatau kamupene nga ratonga tukanga whakakikorua SiC ma te tikanga CVD i runga i te mata o te kauwhata, nga karamu me etahi atu taonga, kia tauhohe nga hau motuhake kei roto i te waro me te silicon i te teitei o te pāmahana ki te whiwhi i nga ngota ngota SiC parakore teitei, nga ngota ngota ka waiho ki runga i te mata o nga mea pani, hanga paparanga tiaki SIC.

mō (1)

mo (2)

Nga waahanga matua

1 .High pure SiC pani kauwhata

2. He pai ake te parenga wera me te riterite o te waiariki

3. He karaihe SiC pai kua pania mo te mata maeneene

4. Te mauroa teitei ki te horoi matū

Nga Whakatakotoranga Matua o te Whakakikorua CVD-SIC

Nga Taonga SiC-CVD
Hanganga Kiriata FCC β wāhanga
Kiato g/cm³ 3.21
Te pakeke Vickers pakeke 2500
Rahi witi μm 2~10
Te Maamaa % 99.99995
Raukaha Wera J·kg-1 ·K-1 640
Te Mahana Whakararo 2700
Te Kaha Felexural MPa (RT 4-point) 415
Young's Modulus Gpa (4pt piko, 1300℃) 430
Roha Ngawha (CTE) 10-6K-1 4.5
Te kawe werawera (W/mK) 300
Te waahi mahi a Semicera
Te waahi mahi Semicera 2
Miihini taputapu
Te tukatuka CNN, te horoi matū, te paninga CVD
Ta tatou ratonga

  • Tōmua:
  • Panuku: