Ko te 4 Inihi High Purity Semi-Insulating (HPSI) SiC Taarua-Taha Orohia Taapapa Wafera kua hangaia ki te whakatutuki i nga hiahia o te umanga semiconductor. Ko enei taputapu i hangaia me te tino maamaa me te ma, e tuku ana i te papaaho tino pai mo nga taputapu hiko tapahi.
Ko enei momo angiangi HPSI SiC e tohuhia ana e o raatau whakangao wera me nga taonga whakamaarama hiko, he mea pai rawa atu mo nga tono tere-tere me te mana kaha. Ko te mahi whakakoi taha-rua ka whakarite kia iti te taratara o te mata, he mea tino nui ki te whakarei ake i te mahi o te taputapu me te roa.
Ko te tino ma o nga angiangi SiC a Semicera ka whakaiti i nga koha me nga poke, ka piki ake te reiti hua me te pono o te taputapu. He pai enei taputapu mo te maha o nga tono, tae atu ki nga taputapu ngaruiti, hikohiko hiko, me nga hangarau LED, he mea nui te tika me te mauroa.
Ma te aro ki te auahatanga me te kounga, ka whakamahi a Semicera i nga tikanga whakangao matatau ki te whakaputa i nga angiangi e tutuki ana i nga whakaritenga o te hikohiko hou. Ko te whakakorikori taha-rua kaore i te whakapai noa i te kaha miihini engari he pai ake te whakauru ki etahi atu rauemi semiconductor.
Ma te whiriwhiri i te 4 Inihi High Purity Semi-Insulating HPSI SiC Taarua-Taha Whakakoia Wafer Substrates a Semicera, ka taea e nga kaihanga te whakamahi i nga painga o te whakarei ake i te whakahaere waiariki me te whakamaarama hiko, te para i te huarahi mo te whanaketanga o nga taputapu hiko kaha ake. Kei te arahi tonu a Semicera i te umanga me tana pono ki te kounga me te ahu whakamua hangarau.
| Nga taonga | Whakaputa | Rangahau | Porekau |
| Tawhā Kiriata | |||
| Polytype | 4H | ||
| Hapa takotoranga mata | <11-20 >4±0.15° | ||
| Tawhā Hiko | |||
| Dopant | n-momo Nitrogen | ||
| Te ātete | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Tawhā Hangarau | |||
| Diamita | 150.0±0.2mm | ||
| Mātotoru | 350±25 μm | ||
| Te takotoranga papa tuatahi | [1-100]±5° | ||
| Te roa papatahi tuatahi | 47.5±1.5mm | ||
| Papatahi tuarua | Karekau | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Kopere | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Mua (Si-mata) taratara (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Hanganga | |||
| Kiato paipa moroiti | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Nga poke whakarewa | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kounga o mua | |||
| Mua | Si | ||
| Whakaoti mata | Si-mata CMP | ||
| Matūriki | ≤60ea/wafer (rahi≥0.3μm) | NA | |
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm. Roa whakaemi ≤Diameter | Roa whakahiato≤2*Diameter | NA |
| Te kiri karaka/rua/wauwau/wauwau/kapiti/parahanga | Karekau | NA | |
| Nga kongakonga taha/nuo/whawhati/papa hex | Karekau | ||
| Nga waahi polytype | Karekau | Horahanga whakahiato≤20% | Horahanga whakahiato≤30% |
| Tohu taiaho o mua | Karekau | ||
| Kounga Whakamuri | |||
| Mutunga tuara | C-kanohi CMP | ||
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm, Roa whakahiato≤2* Diameter | NA | |
| He koha ki muri (nga maramara tapa) | Karekau | ||
| Te taratara o muri | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Te tohu taiaho tuara | 1 mm (mai i te taha o runga) | ||
| Tapa | |||
| Tapa | Chamfer | ||
| Te takai | |||
| Te takai | Epi-reri me te takai korehau Takai rīpene angiangi maha | ||
| *Tuhipoka: "NA" te tikanga kaore he tono Ko nga taonga kaore i whakahuahia ka pa ki te SEMI-STD. | |||
