Ko te 4 Inihi N-momo SiC Substrates a Semicera he mea hanga kia tutuki nga paerewa tika o te umanga hikohiko. Ka whakaratohia e enei taputapu he turanga tino mahi mo te whānuitanga o nga tono hiko, e tuku ana i te kawe me te waiariki.
Ko te momo N-momo doping o enei taputapu SiC ka whakanui ake i o raatau hiko hiko, ka tino pai mo nga tono kaha-nui me te tere-tere. Ka taea e tenei taonga te mahi pai o nga taputapu penei i nga diodes, transistors, me nga amplifiers, he mea nui te whakaiti i te ngaronga hiko.
Ka whakamahi a Semicera i nga tikanga whakangao hou-a-toi kia pai ai te whakaatu o ia tïpako i te kounga o te mata me te riterite. He mea nui tenei tika mo nga tono i roto i te hikohiko hiko, nga taputapu ngaruiti, me etahi atu hangarau e kii ana i nga mahi pono i raro i nga ahuatanga tino kino.
Ko te whakauru i nga taputapu SiC momo-N a Semicera ki roto i to raina whakaputa ko te whai hua mai i nga rawa e tuku ana i te wera wera me te pumau hiko. He pai enei taputapu mo te hanga i nga waahanga e hiahia ana kia mau tonu me te kaha, penei i nga punaha hurihanga hiko me nga whakakaha RF.
Ma te whiriwhiri i te 4 Inihi N-momo SiC Substrates a Semicera, kei te whakangao koe ki tetahi hua e whakakotahi ana i te puiao rauemi auaha me nga mahi toi. Kei te haere tonu a Semicera ki te arahi i te ahumahi ma te whakarato i nga otinga e tautoko ana i te whakawhanaketanga o nga hangarau hiko hikoi, me te whakarite i nga mahi teitei me te pono.
| Nga taonga | Whakaputa | Rangahau | Porekau |
| Tawhā Kiriata | |||
| Polytype | 4H | ||
| Hapa takotoranga mata | <11-20 >4±0.15° | ||
| Tawhā Hiko | |||
| Dopant | n-momo Nitrogen | ||
| Te ātete | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Tawhā Hangarau | |||
| Diamita | 150.0±0.2mm | ||
| Mātotoru | 350±25 μm | ||
| Te takotoranga papa tuatahi | [1-100]±5° | ||
| Te roa papatahi tuatahi | 47.5±1.5mm | ||
| Papatahi tuarua | Karekau | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Kopere | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Mua (Si-mata) taratara (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Hanganga | |||
| Kiato paipa moroiti | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Nga poke whakarewa | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kounga o mua | |||
| Mua | Si | ||
| Whakamutu mata | Si-mata CMP | ||
| Matūriki | ≤60ea/wafer (rahi≥0.3μm) | NA | |
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm. Roa whakaemi ≤Diameter | Roa whakahiato≤2*Diameter | NA |
| Te kiri karaka/rua/wauwau/wauwau/kapiti/parahanga | Karekau | NA | |
| Nga kongakonga taha/nuo/whawhati/papa hex | Karekau | ||
| Nga waahi polytype | Karekau | Horahanga whakahiato≤20% | Horahanga whakahiato≤30% |
| Tohu taiaho o mua | Karekau | ||
| Kounga Whakamuri | |||
| Mutunga tuara | C-kanohi CMP | ||
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm, Roa whakahiato≤2* Diameter | NA | |
| He koha ki muri (nga maramara tapa) | Karekau | ||
| Te taratara o muri | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Te tohu taiaho tuara | 1 mm (mai i te taha o runga) | ||
| Tapa | |||
| Tapa | Chamfer | ||
| Te takai | |||
| Te takai | Epi-reri me te takai korehau Takai rīpene angiangi maha | ||
| *Tuhipoka: "NA" te tikanga kaore he tono Ko nga taonga kaore i whakahuahia ka pa ki te SEMI-STD. | |||
