Ko Semicera's 6 Inihi N-momo SiC Wafer e tu ana ki mua o te hangarau semiconductor. He mea hanga mo te mahi tino pai, he pai rawa atu tenei angiangi i roto i nga tono hiko teitei, te auau teitei, me te pāmahana teitei, he mea nui mo nga taputapu hiko matatau.
Ko ta tatou 6 Inihi N-momo SiC wafer e whakaatu ana i te nekehanga irahiko teitei me te iti o te aukati, he tohu tino nui mo nga taputapu hiko penei i nga MOSFET, nga diodes, me etahi atu waahanga. Ko enei taonga ka whakarite kia pai te huri o te hiko me te whakaheke i te whakangao wera, te whakanui ake i te mahi me te roanga o nga punaha hiko.
Ko nga tukanga whakahaere kounga kaha a Semicera ka whakarite kia mau tonu ia wafer SiC i te papatahi o te mata me te iti o nga koha. Ma tenei aro nui ki nga korero e whakarite ana ka tutuki a tatou wafers ki nga whakaritenga kaha o nga umanga penei i te miihini, te aerospace, me te waea.
I tua atu i ona taonga hiko pai ake, ko te momo N-momo SiC wafer e tuku ana i te pakari o te waiariki me te atete ki te pāmahana teitei, e pai ana mo nga taiao e ngaro ai nga taonga tikanga. He mea tino nui tenei kaha ki nga tono e pa ana ki nga mahi auau-nui me nga mahi-hiko.
Ma te kowhiri i te SiC Wafer 6 Inihi N-momo a Semicera, kei te whakangao koe ki tetahi hua e tohu ana i te tihi o te auahatanga semiconductor. Ka whakapau kaha matou ki te whakarato i nga poraka hanga whare mo nga taputapu tapahi, me te whakarite kia uru atu o maatau hoa o nga momo ahumahi ki nga rawa pai mo o raatau hangarau.
| Nga taonga | Whakaputa | Rangahau | Porekau |
| Tawhā Kiriata | |||
| Polytype | 4H | ||
| Hapa takotoranga mata | <11-20 >4±0.15° | ||
| Tawhā Hiko | |||
| Dopant | n-momo Nitrogen | ||
| Te ātete | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Tawhā Hangarau | |||
| Diamita | 150.0±0.2mm | ||
| Mātotoru | 350±25 μm | ||
| Te takotoranga papa tuatahi | [1-100]±5° | ||
| Te roa papatahi tuatahi | 47.5±1.5mm | ||
| Papatahi tuarua | Karekau | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Kopere | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Mua (Si-mata) taratara (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Hanganga | |||
| Kiato paipa moroiti | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Nga poke whakarewa | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kounga o mua | |||
| Mua | Si | ||
| Whakaoti mata | Si-mata CMP | ||
| Matūriki | ≤60ea/wafer (rahi≥0.3μm) | NA | |
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm. Roa whakaemi ≤Diameter | Roa whakahiato≤2*Diameter | NA |
| Te kiri karaka/rua/wauwau/wauwau/kapiti/parahanga | Karekau | NA | |
| Nga kongakonga taha/nuo/whawhati/papa hex | Karekau | ||
| Nga waahi polytype | Karekau | Horahanga whakahiato≤20% | Horahanga whakahiato≤30% |
| Tohu taiaho o mua | Karekau | ||
| Kounga Whakamuri | |||
| Mutunga tuara | C-kanohi CMP | ||
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm, Roa whakahiato≤2* Diameter | NA | |
| He koha ki muri (nga maramara tapa) | Karekau | ||
| Te taratara o muri | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Te tohu taiaho tuara | 1 mm (mai i te taha o runga) | ||
| Tapa | |||
| Tapa | Chamfer | ||
| Te takai | |||
| Te takai | Epi-reri me te takai korehau Takai rīpene angiangi maha | ||
| *Tuhipoka: "NA" te tikanga kaore he tono Ko nga taonga kaore i whakahuahia ka pa ki te SEMI-STD. | |||
