6 Inihi t-momo tïpako sic

Whakaahuatanga Poto:

6-inihi n-momo SiC substrate‌ he rauemi semiconductor e tohuhia ana e te whakamahi i te rahi o te wafer 6-inihi, e whakanui ana i te maha o nga taputapu ka taea te hanga i runga i te angiangi kotahi ki runga ake i te waahanga mata nui ake, na reira ka whakaiti i nga utu taumata-whakaaro. . Ko te whakawhanaketanga me te tono o nga taputapu SiC momo-n 6-inihi i whai hua mai i te ahu whakamua o nga hangarau penei i te tikanga whakatipu RAF, e whakaiti ana i nga wehenga ma te tapahi kiripiri i te taha o nga wehenga me nga tohu whakarara me te tipu ano nga tioata, na reira ka pai ake te kounga o te taputapu. Ko te tono o tenei taputapu he mea nui ki te whakapai ake i te pai o te whakaputa me te whakaheke i nga utu o nga taputapu hiko SiC.

 


Taipitopito Hua

Tohu Hua

Silicon carbide (SiC) rauemi karaihe kotahi he nui te whanui aputa ropu (~ Si 3 wa), te kawe waiariki tiketike (~ Si 3.3 wa GaAs 10 wa ranei), tiketike irahiko waiwai auau hekenga (~ Si 2.5 wa), hiko pakaru tiketike mara (~Si 10 wa ranei GaAs 5 wa) me etahi atu ahuatanga tino pai.

Ko nga reanga tuatoru o nga rauemi semiconductor ko te nuinga ko te SiC, GaN, taimana, me etahi atu, na te mea he nui ake te whanui aputa roopu (Eg) i te rite ranei ki te 2.3 volts electron (eV), e mohiotia ana ano he rauemi semiconductor aputa roopu whanui. Ka whakatauritea ki nga rauemi semiconductor reanga tuatahi me te tuarua, ko nga rauemi semiconductor reanga tuatoru he painga o te kawe werawera teitei, te waahi hiko pakaru teitei, te tere o te heke o te irahiko kukū me te kaha honohono teitei, ka taea te whakatutuki i nga whakaritenga hou o te hangarau hiko hou mo te teitei. te pāmahana, te kaha nui, te pehanga teitei, te auau teitei me te aukati iraruraru me etahi atu tikanga kino. He nui nga tumanakohanga tono i roto i nga mara o te arai o te motu, te rererangi, te aerospace, te torotoro hinu, te rokiroki whatu, me etahi atu, ka taea te whakaiti i te ngaronga o te kaha ki te neke atu i te 50% i roto i te maha o nga umanga rautaki penei i te whakawhitiwhiti whanui, te hiko o te ra, te hanga motuka, rama semiconductor, me te matiti atamai, a ka taea te whakaiti i te rōrahi taputapu neke atu i te 75%, he mea tino nui mo te whakawhanaketanga o te aoiao me te hangarau tangata.

Ka taea e te kaha Semicera te whakarato i nga kaihoko ki te Conductive (Conductive), Semi-insulating (Semi-insulating), HPSI (High Purity semi-insulating) silicon carbide substrate; I tua atu, ka taea e matou te whakarato i nga kaihoko ki nga pepa epitaxial silicon carbide homogeneous me te heterogeneous; Ka taea hoki e matou te whakarite i te pepa epitaxial kia rite ki nga hiahia motuhake o nga kaihoko, a kaore he iti rawa o te tono.

NGA WHAKAMAHI KAUPAPA KAUPAPA

Rahi

 6-inihi
Diamita 150.0mm+0mm/-0.2mm
Takotoranga Mata tuaka-atu: 4° ki<1120>±0.5°
Te Roa Papatahi Tuatahi 47.5mm1.5mm
Kaupapa Papatahi Tuatahi <1120>±1.0°
Papatahi Tuarua Karekau
Mātotoru 350.0um±25.0um
Polytype 4H
Momo Conductive momo-n

NGĀ WHAKAMAHI KORERO

6-inihi
Tūemi Koeke P-MOS Koeke P-SBD
Te ātete 0.015Ω·cm-0.025Ω·cm
Polytype Kaore i whakaaetia
Kiatotanga Micropipe ≤0.2/cm2 ≤0.5/cm2
EPD ≤4000/cm2 ≤8000/cm2
TED ≤3000/cm2 ≤6000/cm2
BPD ≤1000/cm2 ≤2000/cm2
TSD ≤300/cm2 ≤1000/cm2
SF(I inehia eUV-PL-355nm) ≤0.5% rohe ≤1% rohe
Pereti Hex na te rama kaha teitei Kaore i whakaaetia
Ko nga Wao Matakitenga ma te rama tino kaha Rohe Huihuinga≤0.05%
微信截图_20240822105943

Te ātete

Polytype

6 lnch t-momo tïpako sic (3)
6 lnch t-momo tïpako sic (4)

BPD&TSD

6 lnch t-momo tïpako sic (5)
Nga angiangi SiC

  • Tōmua:
  • Panuku: