Ko te waipara o te paparanga ngota (ALD) he hangarau whakangao kohu matū e whakatipu ana i nga paparanga kiriata angiangi ma ia paparanga ma te werohia e rua, neke atu ranei nga ngota ngota. Ko te ALD nga painga o te mana whakahaere me te riterite, ka taea te whakamahi whanui i roto i nga taputapu semiconductor, nga taputapu optoelectronic, nga taputapu rokiroki hiko me etahi atu mara. Ko nga maataapono taketake o te ALD ko te whakauru o mua, te tauhohenga o te mata me te tango i nga hua, ka taea te hanga i nga rawa paparanga maha ma te tukurua i enei mahi i roto i te huringa. Kei a ALD nga ahuatanga me nga painga o te mana whakahaere teitei, te rite, me te hanganga kore-porous, a ka taea te whakamahi mo te tukunga o nga momo taputapu tïpako me nga momo rauemi.
Kei a ALD nga ahuatanga me nga painga e whai ake nei:
1. Te mana whakahaere:I te mea ko te ALD he tukanga tipu-a-papa, ka taea te whakahaere tika i te matotoru me te hanganga o ia paparanga rauemi.
2. Tauritenga:Ka taea e te ALD te whakatakoto i nga rawa ki runga i te mata katoa o te tïpako, kia kore ai e taurite te ahua o etahi atu hangarau waipara.
3. Hanga kore-porous:I te mea ka whakatakotohia te ALD ki roto i nga waeine ngota kotahi, ngota ngota kotahi ranei, i te nuinga o te waa he hanga mato, kore-poroporo te hanga o te kiriata.
4. He pai te mahi kapinga:Ka taea e te ALD te kapi i nga hanganga owehenga teitei, penei i nga raupapa nanopore, nga rauemi porosity teitei, etc.
5. Tauineine:Ka taea te whakamahi i te ALD mo nga momo taputapu taputapu, tae atu ki nga konganuku, semiconductors, karaihe, aha atu.
6. Te maha o nga mahi:Na roto i te kowhiri i nga ngota ngota o mua, he maha nga momo rauemi ka taea te whakatakoto ki roto i te tukanga ALD, penei i te waikura whakarewa, te sulfides, te nitride, aha atu.
