He kupu whakataki ki te whakakikorua o Silicon Carbide
Ko ta tatou whakakikorua Maama Kohu (CVD) Silicon Carbide (SiC) he paparanga tino roa me te kakahu-aukati, he pai mo nga taiao e kii ana i te waikura nui me te waiariki.paninga Silicon Carbideka whakamahia i roto i nga papa angiangi i runga i nga momo taputapu na roto i te tukanga CVD, he pai ake nga ahuatanga mahi.
Nga waahanga matua
● -Te Tino Maamaa: Te whakanui i te titonga tino parakore o99.99995%, to tatoupaninga SiCka whakaiti i nga tupono whakakinotanga i roto i nga mahinga semiconductor tairongo.
● -Atete Nui: E whakaatu ana i te tino parenga ki te kakahu me te waikura, ka tino pai mo te wero matū me te plasma.
● -Ko te Kawenga Ngaaahu Teitei: Ka whakapumau i te mahi pono i raro i te wera nui na runga i ona ahuatanga waiariki.
● -Ahu Pumau: Ka mau tonu te hanganga o te hanganga puta noa i te whānuitanga o te pāmahana, na te iti o te whakarea whakareatanga whakareatanga wera.
● -Maamaa Whakarei: Ki te whakatauranga pakeke o40GPa, ko to tatou paninga SiC ka mau i te paanga nui me te abrasion.
● -Maneine Mata Mutu: Ka whakarato i te whakaata-rite te whakaoti, te whakaiti i te hanga matūriki me te whakarei ake i te pai o te whakahaere.
Nga tono
Semicera Nga paninga SiCKa whakamahia i roto i nga waahanga rereke o te hanga semiconductor, tae atu ki:
● -Hangahanga maramara LED
● -Te whakaputanga Polysilicon
● -Te tipu o te karaihe Semiconductor
● -Silicon me SiC Epitaxy
● -Te Haakawa me te Whakawera (TO&D)
Ka tukuna e matou nga waahanga kua whakakikoruatia ki te SiC i hangaia mai i te kauwhata isostatic kaha teitei, te waro whakakaha i te muka waro me te carbide silicon rerystallized 4N, he mea whakarite mo nga reactors-moenga,Kaihuri STC-TCS, whakaata wae CZ, poti angiangi SiC, hoe SiCwafer, ngongo angiangi SiC, me nga kawe kawe angiangi i roto i te PECVD, epitaxy silicon, nga tukanga MOCVD.
Nga painga
● -Whakaroa te Ora: He tino whakaiti i nga utu mo nga taputapu me nga utu tiaki, me te whakanui ake i te pai o te whakaputa.
● -Whakapai ake te Kounga: Ka tutuki i nga mata parakore teitei e tika ana mo te tukatuka semiconductor, na reira ka piki ake te kounga o nga hua.
● -Whakanuia te Pai: Ka whakapai ake i nga tukanga waiariki me te CVD, na te mea ka poto ake nga waa huringa me nga hua teitei ake.
Whakatakotoranga Hangarau
● -Hanga: FCC β wāhanga polycrystaline, te nuinga (111) hāngai
● -Tototanga: 3.21 g/cm³
● -Maamaa: 2500 Vickes pakeke (500g kawenga)
● -Maamaa Whati: 3.0 MPa·m1/2
● -Waariki Roha Whakarea (100–600 °C): 4.3 x 10-6k-1
● -Kowae Elastic(1300 ℃):435 GPa
● -Matotoru Kiriata Angamaheni:100 µm
● -Takarere Mata:2-10 µm
Raraunga Parakore (Ka Inehia e te Tirohanga Mass Discharge)
| Huānga | ppm | Huānga | ppm |
| Li | <0.001 | Cu | <0.01 |
| Be | <0.001 | Zn | <0.05 |
| Ko Al | <0.04 | Ga | <0.01 |
| P | <0.01 | Ge | <0.05 |
| S | <0.04 | As | <0.005 |
| K | <0.05 | In | <0.01 |
| Ca | <0.05 | Sn | <0.01 |
| Ti | <0.005 | Sb | <0.01 |
| V | <0.001 | W | <0.05 |
| Cr | <0.05 | Te | <0.01 |
| Mn | <0.005 | Pb | <0.01 |
| Fe | <0.05 | Bi | <0.05 |
| Ni | <0.01 |
|
