Ka whakaratohia e Semicera nga paninga tantalum carbide (TaC) motuhake mo nga momo waahanga me nga kaikawe.Ko te tukanga whakakikorua a Semicera ka taea e te tantalum carbide (TaC) nga paninga ki te whakatutuki i te parakore teitei, te pumau o te pāmahana teitei me te pai o te matū matū, te whakapai ake i te kounga hua o nga kiripiri SIC/GAN me nga paparanga EPI (Ko te kawhata whakakikorua TaC susceptor), me te whakaroa i te ora o nga waahanga reactor matua. Ko te whakamahinga o te tantalum carbide TaC paninga ko te whakaoti i te raru o te taha me te whakapai ake i te kounga o te tipu o te karaihe, a kua tutuki a Semicera i te hangarau whakakikorua tantalum carbide (CVD), ka eke ki te taumata matatau o te ao.
I te taenga mai o nga wafers 8-inihi silicon carbide (SiC), kua kaha haere nga whakaritenga mo nga momo tikanga semiconductor, ina koa mo nga tukanga epitaxy ka nui ake te mahana ki te 2000 nga nekehanga Celsius. Ko nga taonga whakaraerae o mua, penei i te kauwhata kua whakakikoruatia ki te carbide silicon, ka kaha ki te whakaheke i enei pāmahana teitei, ka whakararu i te mahi epitaxy. Heoi ano, ko te CVD tantalum carbide (TaC) he pai ki te whakatika i tenei take, me te pupuri i nga mahana ki te 2300 nga nekehanga Celsius me te tuku i te oranga roa. Whakapā Semicera's Ko te CVD Tantalum Carbide kua whakakikoruatia i te wahanga Halfmoonki te torotoro atu mo o maatau otinga matatau.
I muri i nga tau o te whanaketanga, kua wikitoria e Semicera te hangarau oCVD TaCme nga mahi tahi a te tari R&D. Ko nga hapa he ngawari ki te puta i roto i te tipu o nga wafers SiC, engari i muri i te whakamahiTaC, he nui te rereketanga. Kei raro nei te whakataurite o nga angiangi me te TaC me te kore, me nga wahanga Simicera mo te tipu karaihe kotahi.
me te kore TaC
Whai muri i te whakamahi i te TaC (matau)
Ano, ko Semicera'sNga hua kua pania ki te TaCwhakaatu i te ora ratonga roa ake, me te nui atu te ātete pāmahana-teitei whakaritea kiNga paninga SiC.Kua whakaatuhia e nga inenga taiwhanga to maatauTaC paningaKa taea te mahi i nga wa roa ki te 2300 nga nekehanga Celsius mo nga wa roa. Kei raro nei etahi tauira o a maatau tauira:
TaC paninga susceptor
Kawhata me te reactor pania TaC
