Semicerawhakahīhī ana e whakaatu ana i tana tapahangaGaN Epitaxynga ratonga, i hangaia hei whakatutuki i nga hiahia e tipu haere tonu ana o te ahumahi semiconductor. Ko te Gallium nitride (GaN) he rauemi e mohiotia ana mo ona ahuatanga motuhake, a ko o maatau tikanga tipu epitaxial e whakarite kia tino kitea enei painga ki o taputapu.
Nga Paparanga GaN Tino Mahi Semicerahe tohunga ki te hanga o te kounga teiteiGaN Epitaxynga paparanga, e tuku ana i te parakore o nga rawa me te tika o te hanganga. He mea nui enei paparanga mo nga momo tono, mai i te hiko hiko ki te optoelectronics, he mea nui te mahi pai me te pono. Ko a maatau tikanga whakatipu tika kia tutuki ia paparanga GaN ki nga paerewa tika e hiahiatia ana mo nga taputapu tapahi.
Kua Arotauhia mo te KakamaKo teGaN Epitaxye whakaratohia ana e Semicera he mea hanga motuhake hei whakarei ake i te pai o o waahanga hiko. Na roto i te tuku i nga paparanga GaN iti-koha, tino parakore, ka taea e maatau te mahi i nga taputapu ki nga iarere teitei ake me nga ngaohiko, me te iti o te mate hiko. Ko tenei arotautanga he mea matua mo nga tono penei i nga transistors hiko-hiko-hiko (HEMTs) me nga diodes marama-emitting (LED), he mea nui te mahi.
Pumanawa Taupānga Whanui SemicerasGaN Epitaxyhe maha nga mahi, e whakatutuki ana i te whānuitanga o nga umanga me nga tono. Ahakoa kei te whakawhanake koe i nga whakakaha hiko, nga waahanga RF, nga diodes laser ranei, ko o maatau paparanga epitaxial GaN te turanga e hiahiatia ana mo nga taputapu mahi-nui, pono. Ka taea te whakarite i a maatau mahi ki te whakatutuki i nga whakaritenga motuhake, me te whakarite kia tutuki nga hua tino pai.
Pumau ki te KoungaKo te kounga te kohatu kokonga oSemicerate huarahi kiGaN Epitaxy. Ka whakamahia e matou nga hangarau tipu epitaxial matatau me nga tikanga whakahaere kounga hei whakaputa i nga paparanga GaN e whakaatu ana i te tino rite, te iti o nga koha, me nga rawa rawa. Ma tenei piripono ki te kounga ka kore e tutuki noa o taputapu engari ka nui ake i nga paerewa ahumahi.
Nga Tikanga Tipu Hou Semicerakei mua i nga mahi auaha i roto i te mara oGaN Epitaxy. Ka torotoro haere tonu ta matou roopu i nga tikanga me nga hangarau hou hei whakapai ake i te tipu o te tipu, me te tuku i nga paparanga GaN me nga ahuatanga hiko me te wera. Ka whakamaoritia enei mahi hou ki nga taputapu pai ake te mahi, e kaha ana ki te whakatutuki i nga hiahia o nga tono whakatipuranga.
Rongonga Whakaritea mo o KaupapaMa te mohio kei ia kaupapa nga whakaritenga motuhake,Semiceratuku whakariteaGaN Epitaxyrongoā. Ahakoa e hiahia ana koe ki nga tuhinga doping motuhake, te matotoru paparanga, te whakaoti mata ranei, ka mahi tata matou ki a koe ki te whakawhanake i tetahi tikanga e tutuki ai o hiahia. Ko ta matou whainga ko te whakarato ki a koe nga paparanga GaN he mea hanga tika hei tautoko i te mahi me te pono o to taputapu.
| Nga taonga | Whakaputa | Rangahau | Porekau |
| Tawhā Kiriata | |||
| Polytype | 4H | ||
| Hapa takotoranga mata | <11-20 >4±0.15° | ||
| Tawhā Hiko | |||
| Dopant | n-momo Nitrogen | ||
| Te ātete | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Tawhā Hangarau | |||
| Diamita | 150.0±0.2mm | ||
| Mātotoru | 350±25 μm | ||
| Te takotoranga papa tuatahi | [1-100]±5° | ||
| Te roa papatahi tuatahi | 47.5±1.5mm | ||
| Papatahi tuarua | Karekau | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Kopere | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Mua (Si-mata) taratara (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Hanganga | |||
| Kiato paipa moroiti | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Nga poke whakarewa | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kounga o mua | |||
| Mua | Si | ||
| Whakamutu mata | Si-mata CMP | ||
| Matūriki | ≤60ea/wafer (rahi≥0.3μm) | NA | |
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm. Roa whakaemi ≤Diameter | Roa whakahiato≤2*Diameter | NA |
| Te kiri karaka/rua/wauwau/wauwau/kapiti/parahanga | Karekau | NA | |
| Nga kongakonga taha/nuo/whawhati/papa hex | Karekau | ||
| Nga waahi polytype | Karekau | Horahanga whakahiato≤20% | Horahanga whakahiato≤30% |
| Tohu taiaho o mua | Karekau | ||
| Kounga Whakamuri | |||
| Mutunga tuara | C-kanohi CMP | ||
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm, Roa whakahiato≤2* Diameter | NA | |
| He koha ki muri (nga maramara tapa) | Karekau | ||
| Te taratara o muri | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Te tohu taiaho tuara | 1 mm (mai i te taha o runga) | ||
| Tapa | |||
| Tapa | Chamfer | ||
| Te takai | |||
| Te takai | Epi-reri me te takai korehau Takai rīpene angiangi maha | ||
| *Tuhipoka: "NA" te tikanga karekau he tono Ko nga taonga kaore i whakahuahia ka pa ki te SEMI-STD. | |||
