Ko Semicera's P-momo SiC Substrate Wafer he waahanga matua mo te whakawhanake i nga taputapu hiko me te optoelectronic matatau. Ko enei wafers he mea hanga motuhake ki te whakarato i nga mahi whakarei ake i roto i nga taiao teitei me te teitei-te wera, e tautoko ana i te tipu haere o te hiahia mo nga waahanga pai me te roa.
Ko te momo P-momo doping i roto i a maatau wafers SiC e whakarite kia pai ake te kawe hiko me te nekeneke utu. Na tenei ka tino pai mo nga tono i roto i te hikohiko hiko, LED, me nga pūtau photovoltaic, he mea tino nui te ngaronga hiko iti me te kaha nui.
I hangaia me nga paerewa teitei o te tika me te kounga, ko nga momo angiangi SiC momo-P a Semicera he pai te rite o te mata me te iti o nga reeti koha. He mea nui enei ahuatanga mo nga umanga he mea nui te rite me te pono, penei i te aerospace, miihini, me nga waahanga hiko whakahou.
Ka kitea te whakapumautanga o Semicera ki te auaha me te hiranga i roto i ta maatau momo-P SiC Substrate Wafer. Ma te whakauru i enei angiangi ki roto i to mahi whakangao, ka whakarite koe ka whai hua o taputapu mai i nga ahuatanga motuhake o te waiariki me te hiko o te SiC, kia pai ai te mahi i raro i nga ahuatanga uaua.
Ko te whakangao ki te momo P-momo SiC Wafer Wafer te tikanga ko te kowhiri i tetahi hua e hono ana i te puiao maataa me nga mahi miihini. Kei te whakatapua a Semicera ki te tautoko i nga reanga o muri mai o nga hangarau hiko me te optoelectronic, e whakarato ana i nga waahanga e hiahiatia ana mo to angitu i roto i te ahumahi semiconductor.
| Nga taonga | Whakaputa | Rangahau | Porekau |
| Tawhā Kiriata | |||
| Polytype | 4H | ||
| Hapa takotoranga mata | <11-20 >4±0.15° | ||
| Tawhā Hiko | |||
| Dopant | n-momo Nitrogen | ||
| Te ātete | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Tawhā Hangarau | |||
| Diamita | 150.0±0.2mm | ||
| Mātotoru | 350±25 μm | ||
| Te takotoranga papa tuatahi | [1-100]±5° | ||
| Te roa papatahi tuatahi | 47.5±1.5mm | ||
| Papatahi tuarua | Karekau | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Kopere | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Mua (Si-mata) taratara (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Hanganga | |||
| Kiato paipa moroiti | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Nga poke whakarewa | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kounga o mua | |||
| Mua | Si | ||
| Whakaoti mata | Si-mata CMP | ||
| Matūriki | ≤60ea/wafer (rahi≥0.3μm) | NA | |
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm. Roa whakaemi ≤Diameter | Roa whakahiato≤2*Diameter | NA |
| Te kiri karaka/rua/wauwau/wauwau/kapiti/parahanga | Karekau | NA | |
| Nga kongakonga taha/nuo/whawhati/papa hex | Karekau | ||
| Nga waahi polytype | Karekau | Horahanga whakahiato≤20% | Horahanga whakahiato≤30% |
| Tohu taiaho o mua | Karekau | ||
| Kounga Whakamuri | |||
| Mutunga tuara | C-kanohi CMP | ||
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm, Roa whakahiato≤2* Diameter | NA | |
| He koha ki muri (nga maramara tapa) | Karekau | ||
| Te taratara o muri | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Te tohu taiaho tuara | 1 mm (mai i te taha o runga) | ||
| Tapa | |||
| Tapa | Chamfer | ||
| Te takai | |||
| Te takai | Epi-reri me te takai korehau Takai rīpene angiangi maha | ||
| *Tuhipoka: "NA" te tikanga kaore he tono Ko nga taonga kaore i whakahuahia ka pa ki te SEMI-STD. | |||
