Semicerahe pai ki te tuku i teRīpene PFA, he kowhiringa moni mo te mahi angiangi i nga taiao e tino nui ana te aukati matū me te mauroa. He mea hanga mai i nga rauemi Perfluoroalkoxy (PFA) tino parakore, i hangaia tenei rīpene ki te tu atu ki nga ahuatanga tino uaua i roto i te hanga semiconductor, me te whakarite i te haumaru me te pono o o wafers.
Te Taurite Matū AteteKo teRīpene PFAhe mea hangai kia pai ake te atete ki te maha o nga matū, na te mea ko te whiriwhiri tino pai mo nga tukanga e uru ana ki nga waikawa pukuriri, whakarewa, me etahi atu matū kino. Ko tenei parenga matū pakari e whakarite kia mau tonu te rīpene me te mahi ahakoa i roto i nga taiao tino kino, na reira ka roa ake tona oranga me te whakaiti i te hiahia ki te whakakapi auau.
Hanganga Maamaa NuiKo SemiceraRīpene PFAhe mea hanga mai i nga rawa PFA ultra-parakore, he mea nui ki te aukati i te poke i te wa e tukatuka ana te angiangi. Ko tenei hanga tino parakore ka whakaiti i te tupono o te whakatipu matūriki me te rewa matū, me te whakarite kia tiakina o wafers mai i nga poke ka whakararu i te kounga.
Whakarei ake te Maamaa me te MahiI hangaia mo te mauroa, teRīpene PFAka mau tonu tona hanganga i raro i nga wera nui me nga tikanga tukatuka kaha. Ahakoa e pa ana ki te wera nui, ki te whakahaere tonu ranei, ka mau tonu te ahua me te mahi o tenei rīpene, e tuku ana i te pono mo te wa roa ki nga taiao whakangao.
Hangarau Tika mo te Whakahaere HaumaruKo teRipene PFA Semicerae whakaatu ana i nga mahi miihini tika hei whakarite kia mau te whakahaere angiangi. I āta hangaia ia mokowhiti hei pupuri mau i nga angiangi ki te waahi, hei aukati i nga nekehanga, i nga nekehanga ranei ka puta he kino. Ka tautokohia e tenei miihini tino tika te tuunga angiangi rite tonu me te tika, e whai hua ana ki te pai o te tukanga.
Taupānga Whanui puta noa i nga TukatukaHe mihi ki ona rawa taonga, teRīpene PFAhe tino pai ki te whakamahi puta noa i nga waahanga rereke o te hanga semiconductor. He tino pai mo te tarai makuku, te whakapohehe matū matū (CVD), me etahi atu tukanga e pa ana ki nga taiao matū kino. Ko tana urutau ka waiho hei taputapu nui hei pupuri i te pono o te tukanga me te kounga angiangi.
Te Pumau ki te Kounga me te WhakahoutangaI Semicera, ka whakapau kaha matou ki te whakarato i nga hua e tutuki ana i nga paerewa ahumahi teitei. Ko teRīpene PFAe whakaatu ana i tenei whakapumautanga, e tuku ana i tetahi otinga pono e tuitui pai ana ki o mahi whakangao. Kei ia rīpene te mana o te kounga hei whakarite kia tutuki i a maatau paearu mahi kaha, e tuku ana i te hiranga e tumanakohia ana e koe mai i a Semicera.
| Nga taonga | Whakaputa | Rangahau | Porekau |
| Tawhā Kiriata | |||
| Polytype | 4H | ||
| Hapa takotoranga mata | <11-20 >4±0.15° | ||
| Tawhā Hiko | |||
| Dopant | n-momo Nitrogen | ||
| Te ātete | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Tawhā Hangarau | |||
| Diamita | 150.0±0.2mm | ||
| Mātotoru | 350±25 μm | ||
| Te takotoranga papa tuatahi | [1-100]±5° | ||
| Te roa papatahi tuatahi | 47.5±1.5mm | ||
| Papatahi tuarua | Karekau | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Kopere | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Mua (Si-mata) taratara (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Hanganga | |||
| Kiato paipa moroiti | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Nga poke whakarewa | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kounga o mua | |||
| Mua | Si | ||
| Whakaoti mata | Si-mata CMP | ||
| Matūriki | ≤60ea/wafer (rahi≥0.3μm) | NA | |
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm. Roa whakaemi ≤Diameter | Roa whakahiato≤2*Diameter | NA |
| Te kiri karaka/rua/wauwau/wauwau/kapiti/parahanga | Karekau | NA | |
| Nga kongakonga taha/nuo/whawhati/papa hex | Karekau | ||
| Nga waahi polytype | Karekau | Horahanga whakahiato≤20% | Horahanga whakahiato≤30% |
| Tohu taiaho o mua | Karekau | ||
| Kounga Whakamuri | |||
| Mutunga tuara | C-kanohi CMP | ||
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm, Roa whakahiato≤2* Diameter | NA | |
| He koha ki muri (nga maramara tapa) | Karekau | ||
| Te taratara o muri | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Te tohu taiaho tuara | 1 mm (mai i te taha o runga) | ||
| Tapa | |||
| Tapa | Chamfer | ||
| Te takai | |||
| Te takai | Epi-reri me te takai korehau Takai rīpene angiangi maha | ||
| *Tuhipoka: "NA" te tikanga kaore he tono Ko nga taonga kaore i whakahuahia ka pa ki te SEMI-STD. | |||
