Ka whakaratohia e Semicera nga paninga tantalum carbide (TaC) motuhake mo nga momo waahanga me nga kaikawe.Ko te tukanga whakakikorua a Semicera ka taea e te tantalum carbide (TaC) nga paninga ki te whakatutuki i te parakore teitei, te pumau o te pāmahana teitei me te pai o te matū matū, te whakapai ake i te kounga hua o nga kiripiri SIC/GAN me nga paparanga EPI (Ko te kawhata whakakikorua TaC susceptor), me te whakaroa i te ora o nga waahanga reactor matua. Ko te whakamahinga o te tantalum carbide TaC paninga ko te whakaoti i te raru o te taha me te whakapai ake i te kounga o te tipu o te karaihe, a kua tutuki a Semicera i te hangarau whakakikorua tantalum carbide (CVD), ka eke ki te taumata matatau o te ao.
I muri i nga tau o te whanaketanga, kua wikitoria e Semicera te hangarau oCVD TaCme nga mahi tahi a te tari R&D. Ko nga hapa he ngawari ki te puta i roto i te tipu o nga wafers SiC, engari i muri i te whakamahiTaC, he nui te rereketanga. Kei raro nei te whakataurite o nga wafers me te TaC me te kore, me nga waahanga Semicera mo te tipu karaihe kotahi
me te kore TaC
Whai muri i te whakamahi i te TaC (matau)
I tua atu, ko te oranga ratonga o nga hua whakakikorua TaC a Semicera he roa ake, he kaha ake te atete ki te wera nui atu i to te paninga SiC. I muri i te wa roa o nga raraunga ine taiwhanga, ka taea e taatau TaC te mahi mo te wa roa i te teitei o te 2300 nga nekehanga Celsius. E whai ake nei etahi o a maatau tauira:
(a) Hoahoa hoahoa o te taputapu whakatipu ingot karaihe kotahi a SiC ma te tikanga PVT (b) Te taiapa kakano whakakikoruatia o runga TaC (tae atu ki te kakano SiC) (c) mowhiti kaiarahi kauwhata whakakikoruatia a TAC
