Semiceraka whakaatu i tona kounga teiteiKo Epitaxyratonga, i hangaia hei whakatutuki i nga paerewa tika o te umanga semiconductor o enei ra. He mea nui nga paparanga silicon Epitaxial mo te mahi me te pono o nga taputapu hiko, a ko o maatau otinga Si Epitaxy ka whakarite kia tutuki i o waahanga nga mahi tino pai.
Nga Paparanga Silika Whakatipu Tika Semicerae mohio ana ko te turanga o nga taputapu mahi teitei kei te kounga o nga rauemi e whakamahia ana. To tatouKo EpitaxyKa tino whakahaerehia te tukanga ki te whakaputa i nga paparanga silicon me te tino rite me te pono o te karaihe. He mea nui enei paparanga mo nga tono mai i te microelectronics ki nga taputapu hiko teitei, he mea nui te rite me te pono.
Kua Arotauhia mo te Mahinga PūrereKo teKo EpitaxyKo nga ratonga e tukuna ana e Semicera he mea whakarite kia pai ake nga ahuatanga hiko o o taputapu. Ma te whakatipu i nga paparanga silicon parakore me te iti o nga kohakore, ka whakarite maatau kia pai te mahi o o waahanga, me te pai ake o te kawe kawe me te whakaiti i te aukati hiko. He mea nui tenei arotautanga mo te whakatutuki i nga ahuatanga tere-tere me te tino kaha e hiahiatia ana e te hangarau hou.
Te whai kiko i roto i nga tono SemicerasKo Epitaxyhe pai mo te maha o nga tono, tae atu ki te hanga o nga transistors CMOS, nga MOSFET mana, me nga transistors junction bipolar. Ko ta maatau mahi ngawari ka taea te whakarite i runga i nga whakaritenga motuhake o to kaupapa, ahakoa ka hiahia koe ki nga papa angiangi mo nga tono auau teitei, paparanga matotoru ranei mo nga taputapu hiko.
Kounga Rawa RawaKo te kounga kei te ngakau o nga mea katoa e mahia ana e matou i Semicera. To tatouKo EpitaxyKa whakamahi te tukanga i nga taputapu me nga tikanga hou hei whakarite kia tutuki ia paparanga silicon ki nga paerewa teitei o te ma me te tika o te hanganga. Ma tenei aro ki nga korero ka whakaitihia te puta mai o nga hapa ka pa ki te mahi o te taputapu, ka hua ake nga waahanga pono me te roa ake.
Te Pumau ki te Whakahoutanga Semicerakei te kaha ki te noho ki mua o te hangarau semiconductor. To tatouKo EpitaxyKo nga ratonga e whakaatu ana i tenei pono, me te whakauru i nga ahunga whakamua hou i roto i nga tikanga whakatipu epitaxial. Ka whakamahine tonu matou i a matou mahi ki te tuku i nga paparanga silicon e tutuki ana i nga hiahia tipu o te umanga, me te whakarite kia whakataetae tonu o hua ki te maakete.
Rongoa Whakaritea mo o hiahiaMa te mohio he ahurei ia kaupapa,Semiceratuku whakariteaKo Epitaxyrongoā kia rite ki o hiahia motuhake. Ahakoa e hiahia ana koe ki nga tuhinga doping, te matotoru paparanga, te whakaoti mata ranei, ka mahi tata to taatau roopu ki a koe ki te tuku hua e tutuki ana ki o whakaritenga.
| Nga taonga | Whakaputa | Rangahau | Porekau |
| Tawhā Kiriata | |||
| Polytype | 4H | ||
| Hapa takotoranga mata | <11-20 >4±0.15° | ||
| Tawhā Hiko | |||
| Dopant | n-momo Nitrogen | ||
| Te ātete | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Tawhā Hangarau | |||
| Diamita | 150.0±0.2mm | ||
| Mātotoru | 350±25 μm | ||
| Te takotoranga papa tuatahi | [1-100]±5° | ||
| Te roa papatahi tuatahi | 47.5±1.5mm | ||
| Papatahi tuarua | Karekau | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Kopere | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Mua (Si-mata) taratara (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Hanganga | |||
| Kiato paipa moroiti | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Nga poke whakarewa | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kounga o mua | |||
| Mua | Si | ||
| Whakamutu mata | Si-mata CMP | ||
| Matūriki | ≤60ea/wafer (rahi≥0.3μm) | NA | |
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm. Roa whakaemi ≤Diameter | Roa whakahiato≤2*Diameter | NA |
| Te kiri karaka/rua/wauwau/wauwau/kapiti/parahanga | Karekau | NA | |
| Nga kongakonga taha/nuo/whawhati/papa hex | Karekau | ||
| Nga waahi polytype | Karekau | Horahanga whakahiato≤20% | Horahanga whakahiato≤30% |
| Tohu taiaho o mua | Karekau | ||
| Kounga Whakamuri | |||
| Mutunga tuara | C-kanohi CMP | ||
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm, Roa whakahiato≤2* Diameter | NA | |
| He koha ki muri (nga maramara tapa) | Karekau | ||
| Te taratara o muri | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Te tohu taiaho tuara | 1 mm (mai i te taha o runga) | ||
| Tapa | |||
| Tapa | Chamfer | ||
| Te takai | |||
| Te takai | Epi-reri me te takai korehau Takai rīpene angiangi maha | ||
| *Tuhipoka: "NA" te tikanga karekau he tono Ko nga taonga kaore i whakahuahia ka pa ki te SEMI-STD. | |||
