Ko te Si Substrate na Semicera tetahi waahanga nui ki te hanga i nga taputapu semiconductor tino mahi. He mea hanga mai i te Silicon (Si) parakore-nui, ka whakawhiwhia e tenei taputapu te riterite, te pumau, me te pai o te kawe, e pai ana mo te whānuitanga o nga tono matatau i roto i te umanga semiconductor. Ahakoa ka whakamahia i roto i te Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate ranei te whakaputa, ka tukuna e te Semicera Si Substrate te kounga rite me te mahi pai ake hei whakatutuki i nga hiahia o te hikohiko hou me te putaiao rawa.
Mahinga Whakatauritea me te Maamaa me te Tino Tika
Ka hangaia te Si Substrate a Semicera ma te whakamahi i nga tikanga matatau hei whakarite i te maatanga teitei me te mana whakahaere inenga. Ka noho te tïpako hei turanga mo te hanga i nga momo taonga tino mahi, tae atu ki nga Epi-Wafers me nga Wafers AlN. Ko te tika me te riterite o te Si Substrate he mea tino pai mo te hanga i nga paparanga epitaxial-kiriata angiangi me etahi atu waahanga nui e whakamahia ana i roto i te hanga o nga semiconductors-whakatupuranga. Ahakoa kei te mahi koe me te Gallium Oxide (Ga2O3) me etahi atu rauemi matatau ranei, ma te Semicera's Si Substrate e whakarite nga taumata teitei o te pono me te mahi.
Nga tono mo te Hanga Semiconductor
I roto i te ahumahi semiconductor, ka whakamahia te Si Substrate mai i Semicera i roto i te whanuitanga o nga tono, tae atu ki te Si Wafer me te SiC Substrate hanga, kei reira he turanga pumau, pono mo te tukunga o nga paparanga kaha. He mahi nui te tïpako ki te hanga i nga Wafers SOI (Silicon On Insulator), he mea nui mo nga miihini miihini matatau me nga iahiko whakauru. I tua atu, ko nga Epi-Wafers (epitaxial wafers) i hangaia i runga i te Si Substrates he mea nui ki te whakaputa i nga taputapu semiconductor tino mahi penei i nga transistors hiko, diodes, me nga iahiko whakauru.
Kei te tautoko hoki te Si Substrate ki te hanga taputapu ma te whakamahi i te Gallium Oxide (Ga2O3), he rauemi whaanui-a-whaanui kua whakamahia mo nga tono hiko teitei i roto i te hikohiko hiko. I tua atu, ko te hototahitanga o Semicera's Si Substrate me AlN Wafers me etahi atu taputapu matatau ka taea e ia te whakatutuki i nga whakaritenga kanorau o nga umanga hangarau-nui, ka waiho hei otinga pai mo te hanga taputapu tapahi-mata i roto i nga waahanga waea, miihini, me nga waahanga ahumahi. .
Te Kounga Whakapono me te Taurite mo nga tono Hangarau Rawa
Ko te Si Substrate na Semicera i ata hangaia hei whakatutuki i nga hiahia o te hanga semiconductor. Ko tana hanganga tino tika me nga taonga o te mata o te kounga teitei ka waiho hei rauemi pai mo te whakamahi i roto i nga punaha rīpene mo te kawe angiangi, me te hanga paparanga tino tika i roto i nga taputapu semiconductor. Ko te kaha o te tïpako ki te pupuri i te kounga orite i raro i nga tikanga tukanga rereke ka whakarite kia iti noa nga hapa, te whakanui ake i te hua me te mahi o te hua whakamutunga.
Na te kaha o te wera o te waiariki, te kaha miihini, me te tino parakore, ko te Semicera's Si Substrate te rauemi whiriwhiri ma nga kaihanga e whai ana ki te whakatutuki i nga paerewa teitei o te tika, te pono, me te mahi i roto i te hanga semiconductor.
Whiriwhiria te Si substrate a Semicera mo nga otinga tino ma, tino pai
Mo nga kaihanga i roto i te ahumahi semiconductor, ko te Si Substrate mai i Semicera e tuku ana i tetahi otinga pakari, kounga teitei mo te whānuitanga o nga tono, mai i te Si Wafer hanga ki te hanga o Epi-Wafers me SOI Wafers. Ma te kore e rite te ma, te tika, me te pono, ka taea e tenei taputapu te hanga o nga taputapu semiconductor tapahi-mata, e whakarite ana i te mahi mo te wa roa me te tino pai. Whiriwhiria a Semicera mo o hiahia taputapu Si, ka whakawhirinaki ki tetahi hua i hangaia hei whakatutuki i nga hiahia o nga hangarau apopo.
Nga taonga | Whakaputa | Rangahau | Porekau |
Tawhā Kiriata | |||
Polytype | 4H | ||
Hapa takotoranga mata | <11-20 >4±0.15° | ||
Tawhā Hiko | |||
Dopant | n-momo Nitrogen | ||
Te ātete | 0.015-0.025ohm·cm | ||
Tawhā Hangarau | |||
Diamita | 150.0±0.2mm | ||
Mātotoru | 350±25 μm | ||
Te takotoranga papa tuatahi | [1-100]±5° | ||
Te roa papatahi tuatahi | 47.5±1.5mm | ||
Papatahi tuarua | Karekau | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
Kopere | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Mua (Si-mata) taratara (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Hanganga | |||
Kiato paipa moroiti | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Nga poke whakarewa | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Kounga o mua | |||
Mua | Si | ||
Whakaoti mata | Si-mata CMP | ||
Matūriki | ≤60ea/wafer (rahi≥0.3μm) | NA | |
Nga karawarawa | ≤5ea/mm. Roa whakaemi ≤Diameter | Roa whakahiato≤2*Diameter | NA |
Te kiri karaka/rua/wauwau/wauwau/kapiti/parahanga | Karekau | NA | |
Nga kongakonga taha/nuo/whawhati/papa hex | Karekau | ||
Nga waahi polytype | Karekau | Horahanga whakahiato≤20% | Horahanga whakahiato≤30% |
Tohu taiaho o mua | Karekau | ||
Kounga Whakamuri | |||
Mutunga tuara | C-kanohi CMP | ||
Nga karawarawa | ≤5ea/mm, Roa whakahiato≤2* Diameter | NA | |
He koha ki muri (nga maramara tapa) | Karekau | ||
Te taratara o muri | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Te tohu taiaho tuara | 1 mm (mai i te taha o runga) | ||
Tapa | |||
Tapa | Chamfer | ||
Te takai | |||
Te takai | Epi-reri me te takai korehau Takai rīpene angiangi maha | ||
*Tuhipoka: "NA" te tikanga kaore he tono Ko nga taonga kaore i whakahuahia ka pa ki te SEMI-STD. |