Si Substrate

Whakaahuatanga Poto:

Ma te tino tika me te tino parakore, ko te Semicera's Si Substrate e whakarite ana i nga mahi pono me te riterite i roto i nga tono whakahirahira, tae atu ki te hanga Epi-Wafer me te Gallium Oxide (Ga2O3). I hoahoatia hei tautoko i te hanga o nga microelectronics matatau, ka whakawhiwhia e tenei taputapu te hototahi me te pumau, he mea tino nui mo nga hangarau hou i roto i nga waahanga waea, miihini me nga waahanga ahumahi.


Taipitopito Hua

Tohu Hua

Ko te Si Substrate na Semicera tetahi waahanga nui ki te hanga i nga taputapu semiconductor tino mahi. He mea hanga mai i te Silicon (Si) parakore-nui, ka whakawhiwhia e tenei taputapu te riterite, te pumau, me te pai o te kawe, e pai ana mo te whānuitanga o nga tono matatau i roto i te umanga semiconductor. Ahakoa ka whakamahia i roto i te Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate ranei te whakaputa, ka tukuna e te Semicera Si Substrate te kounga rite me te mahi pai ake hei whakatutuki i nga hiahia o te hikohiko hou me te putaiao rawa.

Mahinga Whakatauritea me te Maamaa me te Tino Tika

Ka hangaia te Si Substrate a Semicera ma te whakamahi i nga tikanga matatau hei whakarite i te maatanga teitei me te mana whakahaere inenga. Ka noho te tïpako hei turanga mo te hanga i nga momo taonga tino mahi, tae atu ki nga Epi-Wafers me nga Wafers AlN. Ko te tika me te riterite o te Si Substrate he mea tino pai mo te hanga i nga paparanga epitaxial-kiriata angiangi me etahi atu waahanga nui e whakamahia ana i roto i te hanga o nga semiconductors-whakatupuranga. Ahakoa kei te mahi koe me te Gallium Oxide (Ga2O3) me etahi atu rauemi matatau ranei, ma te Semicera's Si Substrate e whakarite nga taumata teitei o te pono me te mahi.

Nga tono mo te Hanga Semiconductor

I roto i te ahumahi semiconductor, ka whakamahia te Si Substrate mai i Semicera i roto i te whanuitanga o nga tono, tae atu ki te Si Wafer me te SiC Substrate hanga, kei reira he turanga pumau, pono mo te tukunga o nga paparanga kaha. He mahi nui te tïpako ki te hanga i nga Wafers SOI (Silicon On Insulator), he mea nui mo nga miihini miihini matatau me nga iahiko whakauru. I tua atu, ko nga Epi-Wafers (epitaxial wafers) i hangaia i runga i te Si Substrates he mea nui ki te whakaputa i nga taputapu semiconductor tino mahi penei i nga transistors hiko, diodes, me nga iahiko whakauru.

Kei te tautoko hoki te Si Substrate ki te hanga taputapu ma te whakamahi i te Gallium Oxide (Ga2O3), he rauemi whaanui-a-whaanui kua whakamahia mo nga tono hiko teitei i roto i te hikohiko hiko. I tua atu, ko te hototahitanga o Semicera's Si Substrate me AlN Wafers me etahi atu taputapu matatau ka taea e ia te whakatutuki i nga whakaritenga kanorau o nga umanga hangarau-nui, ka waiho hei otinga pai mo te hanga taputapu tapahi-mata i roto i nga waahanga waea, miihini, me nga waahanga ahumahi. .

Te Kounga Whakapono me te Taurite mo nga tono Hangarau Rawa

Ko te Si Substrate na Semicera i ata hangaia hei whakatutuki i nga hiahia o te hanga semiconductor. Ko tana hanganga tino tika me nga taonga o te mata o te kounga teitei ka waiho hei rauemi pai mo te whakamahi i roto i nga punaha rīpene mo te kawe angiangi, me te hanga paparanga tino tika i roto i nga taputapu semiconductor. Ko te kaha o te tïpako ki te pupuri i te kounga orite i raro i nga tikanga tukanga rereke ka whakarite kia iti noa nga hapa, te whakanui ake i te hua me te mahi o te hua whakamutunga.

Na te kaha o te wera o te waiariki, te kaha miihini, me te tino parakore, ko te Semicera's Si Substrate te rauemi whiriwhiri ma nga kaihanga e whai ana ki te whakatutuki i nga paerewa teitei o te tika, te pono, me te mahi i roto i te hanga semiconductor.

Whiriwhiria te Si substrate a Semicera mo nga otinga tino ma, tino pai

Mo nga kaihanga i roto i te ahumahi semiconductor, ko te Si Substrate mai i Semicera e tuku ana i tetahi otinga pakari, kounga teitei mo te whānuitanga o nga tono, mai i te Si Wafer hanga ki te hanga o Epi-Wafers me SOI Wafers. Ma te kore e rite te ma, te tika, me te pono, ka taea e tenei taputapu te hanga o nga taputapu semiconductor tapahi-mata, e whakarite ana i te mahi mo te wa roa me te tino pai. Whiriwhiria a Semicera mo o hiahia taputapu Si, ka whakawhirinaki ki tetahi hua i hangaia hei whakatutuki i nga hiahia o nga hangarau apopo.

Nga taonga

Whakaputa

Rangahau

Porekau

Tawhā Kiriata

Polytype

4H

Hapa takotoranga mata

<11-20 >4±0.15°

Tawhā Hiko

Dopant

n-momo Nitrogen

Te ātete

0.015-0.025ohm·cm

Tawhā Hangarau

Diamita

150.0±0.2mm

Mātotoru

350±25 μm

Te takotoranga papa tuatahi

[1-100]±5°

Te roa papatahi tuatahi

47.5±1.5mm

Papatahi tuarua

Karekau

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm(5mm*5mm)

≤5 μm(5mm*5mm)

≤10 μm(5mm*5mm)

Kopere

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Mua (Si-mata) taratara (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Hanganga

Kiato paipa moroiti

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Nga poke whakarewa

≤5E10atoms/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Kounga o mua

Mua

Si

Whakaoti mata

Si-mata CMP

Matūriki

≤60ea/wafer (rahi≥0.3μm)

NA

Nga karawarawa

≤5ea/mm. Roa whakaemi ≤Diameter

Roa whakahiato≤2*Diameter

NA

Te kiri karaka/rua/wauwau/wauwau/kapiti/parahanga

Karekau

NA

Nga kongakonga taha/nuo/whawhati/papa hex

Karekau

Nga waahi polytype

Karekau

Horahanga whakahiato≤20%

Horahanga whakahiato≤30%

Tohu taiaho o mua

Karekau

Kounga Whakamuri

Mutunga tuara

C-kanohi CMP

Nga karawarawa

≤5ea/mm, Roa whakahiato≤2* Diameter

NA

He koha ki muri (nga maramara tapa)

Karekau

Te taratara o muri

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Te tohu taiaho tuara

1 mm (mai i te taha o runga)

Tapa

Tapa

Chamfer

Te takai

Te takai

Epi-reri me te takai korehau

Takai rīpene angiangi maha

*Tuhipoka: "NA" te tikanga kaore he tono Ko nga taonga kaore i whakahuahia ka pa ki te SEMI-STD.

hangarau_1_2_rahi
Nga angiangi SiC

  • Tōmua:
  • Panuku: