He tukanga whakakikoruatia SiC mo te turanga kauwhata SiC Whakakikoruatia Kaikawe Kawe

Ka mau tonu matou i nga kaaetanga tata ina tono tepaninga SiC, ma te whakamahi i nga miihini tino-tika ki te whakarite i te ahua o te kaitarai. Ka whakaputahia hoki e matou nga taonga me nga waahanga aukati hiko pai mo te whakamahi i nga punaha whakamahana inductively. Ko nga waahanga kua oti katoa ka tae mai me te tiwhikete parakore me te rahi.

Ka whakaratohia e ta maatau kamupenepaninga SiCratonga tukanga i te tikanga CVD i runga i te mata o te graphite, uku me ētahi atu rauemi, kia hau motuhake kei roto waro me te silicon tauhohe i te pāmahana tiketike ki te whiwhi purenga tiketike SiC rāpoi ngota, ngā rāpoi ngota i whakatakoto i runga i te mata o te rauemi pani, hanga SIC paparanga tiaki. Ko te SIC i hangaia he tino herea ki te turanga kauwhata, ka hoatu ki te turanga kauwhata nga ahuatanga motuhake, na reira ka hangai te mata o te kauwhata kiato, Porosity-kore, teitei te pāmahana, te aukati waikura me te aukati waikura.

Ko te tukanga CVD e whakarato ana i te tino parakore me te kiato aria opaninga SiCme te kore porosity. He aha atu, i te mea he tino uaua te carbide silicon, ka taea te whakakoi ki te mata whakaata.Ko te paninga carbide silicon CVD (SiC).he maha nga painga tae atu ki te mata ma te tino teitei me te mau tonu o te kakahu. I te mea he pai te mahi o nga hua whakakikorua i roto i te korehau teitei me te pāmahana teitei, he pai mo nga tono i roto i te umanga semiconductor me etahi atu taiao ultra-ma. Ka whakaratohia hoki e matou nga hua kauwhata pyrolytic (PG).