SiC paninga kawhata Wafer Susceptor

SiC paninga Graphite Wafer Susceptor Atahanga Whakaatu

Whakaahuatanga Poto:

Ko te SiC Coating Graphite Wafer Susceptor a Semicera Semiconductor e whakarato ana i nga mahi wera me te mauroa mo te tukatuka angiangi. Whakawhirinaki ki a Semicera mo nga kaitarai whakakikorua SiC matatau i hangaia hei whakarei ake i te pai me te pono i roto i nga tono semiconductor.

Tukuna he imeera ki a matou

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Whakaahuatanga

Ko nga SiC Wafer Susceptors a Semicorex mo te MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) he mea hanga ki te whakatutuki i nga hiahia nui o nga tikanga whakaheke epitaxial. Ma te whakamahi i te Silicon Carbide (SiC) kounga teitei, ka tukuna e enei hunga whakaraerae te mauroa me te mahi i roto i nga taiao-nui me te haukino, e whakarite ana i te tipu tika me te pai o nga rauemi semiconductor.

Āhuatanga matua:

1. Tino Rawa RawaHe mea hanga mai i te SiC taumata teitei, ka whakaatuhia e o tatou kaitarai wafer te kaha o te waiariki me te aukati matū. Ko enei taonga ka taea e ratou te tu atu ki nga ahuatanga tino kino o nga tikanga MOCVD, tae atu ki te teitei o te pāmahana me te hau hau kino, me te whakapumau i te roa me te mahi pono.

2. Tika i roto i te Epitaxial DepositionKo te miihini tika o a maatau SiC Wafer Susceptors ka whakarite kia rite te tohatoha o te pāmahana puta noa i te mata angiangi, kia pai ai te tipu o te paparanga epitaxial kounga teitei. He mea nui tenei tino tika mo te whakaputa semiconductors me nga taonga hiko tino pai.

3. Whakanuia te MaamaaKo te rauemi SiC pakari e whakarato ana i te atete pai ki te kakahu me te paheketanga, ahakoa i raro i te rongo tonu ki nga taiao mahi kino. Ko tenei mauroa ka whakaiti i te maha o nga whakakapinga susceptor, te whakaiti i te wa heke me nga utu whakahaere.