Ko nga Kaikawe Wafer Wafer Silicon Carbide kua whakakikoruatia

1. Tino Pumautanga Ngaaariki me te KaweHe pai a maatau kaikawe angiangi whakakikoruatia ki te SiC ki te pupuri i te mahana me te rite tonu, he mea nui mo nga mahi CVD. Ma tenei ka whakarite te tohatoha wera rite, e arahi ana ki te kiriata kikokore me te kounga whakakikorua.

2. Te Hanga TikaKo ia kaikawe angiangi ka hangaia ki nga paerewa tika, me te whakarite kia rite te matotoru me te maeneene o te mata. He mea nui tenei tino tika mo te whakatutuki i nga reiti tukunga me nga taonga kiriata puta noa i nga wafers maha, hei whakanui ake i te kounga o te hanga.

3. Parenga pokeKo te paninga SiC te mahi hei arai koretake, hei aukati i te tiraratanga o nga poke mai i te susceptor ki roto i te angiangi. Ma tenei ka whakaiti i nga tupono whakakino, he mea tino nui mo te hanga taputapu semiconductor tino parakore.

4. Maamaa me te Utu UtuKo te hanga pakari me te paninga SiC ka whakarei ake i te mauroa o nga kaikawe angiangi, ka whakaiti i te auau o nga whakakapinga susceptor. Ma tenei ka iti ake nga utu tiaki me te whakaiti i te wa heke, ka piki ake te pai o nga mahi hangahanga semiconductor.

5. Kōwhiringa WhakaritengaKa taea te whakarite i nga Wafer Carriers Semicorex me te SiC Coating ki te whakatutuki i nga whakaritenga tukanga motuhake, tae atu ki nga rereketanga o te rahi, te ahua, me te matotoru paninga. Ma tenei whakangawari ka taea te arotautanga o te susceptor ki te rite ki nga tono ahurei o nga momo momo hangahanga semiconductor. Ko nga whiringa whakaritenga e taea ai te whakawhanaketanga o nga hoahoa susceptor he mea whakarite mo nga tono motuhake, penei i te hanga pukapuka-nui, te rangahau me te whakawhanaketanga, e whakarite ana i nga mahi tino pai mo nga keehi whakamahi motuhake.